LTCC制作工藝過(guò)程中線條、圖案、電阻等關(guān)鍵部分都是通過(guò)絲網(wǎng)印刷的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)，其優(yōu)點(diǎn)是生產(chǎn)效率高、生產(chǎn)成本低?？梢哉f(shuō)絲網(wǎng)印刷工藝是LTCC精密布線的基礎(chǔ)。
在LTCC微波組件中，其對(duì)絲印線條的狀態(tài)要求更高，其中微帶線、帶狀線的邊緣狀態(tài)和光潔度對(duì)微波電路的插入損耗都有直接關(guān)系，可以說(shuō)微帶線、帶狀線的精細(xì)制作，是微波性能的保證。
印刷用網(wǎng)版的網(wǎng)布規(guī)格、張力大小和感光膜厚度可以說(shuō)是絲印線條分辨率和解析度的基礎(chǔ)，其“先天性” 地決定了LTCC絲印線路的狀態(tài)。因此網(wǎng)版質(zhì)量的好壞直接影響著印刷的質(zhì)量。
LTCC用印刷網(wǎng)版制作工藝流程
繃網(wǎng)質(zhì)量指標(biāo)主要有張力的大小、均勻性。張力大小合適且分布均勻的網(wǎng)版是精確地再現(xiàn)印刷圖形的最基本條件。
（1）選擇合適規(guī)格的絲網(wǎng)材料。目前，在微電子封裝厚膜電路印刷中應(yīng)用的絲網(wǎng)主要是聚酯網(wǎng)和不銹鋼絲網(wǎng)。隨著電子封裝高集成度、高封裝密度的趨勢(shì)，要求印刷線條和線間距越來(lái)越小，圖形的分辨率越來(lái)越高。當(dāng)前，LTCC印刷圖形線條已達(dá)到50～100μm，有的產(chǎn)品甚至更小。
（2）網(wǎng)版從拉網(wǎng)機(jī)上裁下后張力都會(huì)下降，所以粘網(wǎng)前網(wǎng)布張力要比設(shè)定值大一些；
（3）繃網(wǎng)過(guò)程中要避免一次性繃網(wǎng)拉力過(guò)大，否則容易出現(xiàn)崩網(wǎng)情況或者影響網(wǎng)版的耐用性；
（4）制作聚酯-不銹鋼絲網(wǎng)復(fù)合網(wǎng)版時(shí)，聚酯網(wǎng)伸縮率大，繃網(wǎng)時(shí)四角及中心區(qū)域拉伸率偏差較大，影響整個(gè)網(wǎng)版張力的均勻性，甚至在四角容易出現(xiàn)崩網(wǎng)現(xiàn)象，可在繃網(wǎng)前可在四角進(jìn)行留邊措施。
涂感光膠工藝是采用涂布機(jī)或手工刮刀在網(wǎng)布上涂覆一定厚度的感光材料以便后道工序在網(wǎng)版上制作出所需要的圖形。一個(gè)好的網(wǎng)版要求感光膠首先在印刷面有一定的厚度并且表面平整光滑，這樣漿料在印刷時(shí)不會(huì)從底部凹陷處漏出形成“鋸齒” ，其次感光膠還能夠把絲網(wǎng)網(wǎng)格填滿，這樣可以減少印刷刮膠與網(wǎng)版的摩擦力。
（1）采用“2+2” 雙面涂布法，即網(wǎng)布前后面各用一個(gè)刮刀同時(shí)涂布2次，這樣能夠有效地填滿絲網(wǎng)網(wǎng)格；
（2）干燥后，改用“0+4” 涂布法，即僅在印刷面加涂感光膠4次，主要增加網(wǎng)版膜厚并使其表面平整光滑；
（3）干燥后，測(cè)量膜厚，繼續(xù)用“0+4” 涂布法；
（4）重復(fù)（2）、（ 3）步過(guò)程直到膜厚達(dá)到指定要求。
曝光、顯影過(guò)程是用紫外光透過(guò)菲林片的空白區(qū)域照射涂覆感光膠的網(wǎng)版，使得乳膠分子與敏化劑（感光劑）分子發(fā)生化學(xué)交聯(lián)反應(yīng)生成空間網(wǎng)狀或鏈狀大分子結(jié)構(gòu)的膜層。
而對(duì)于菲林片中黑色線條擋住沒(méi)有照射紫外線的感光膠膜在顯影過(guò)程中則會(huì)溶解于顯影劑顯露出網(wǎng)絲間隔。
影響曝光、顯影的幾點(diǎn)關(guān)鍵工藝因素：
（1）菲林片質(zhì)量：黑白對(duì)比強(qiáng)烈，邊緣銳利，圖形清晰、完整，沒(méi)有砂眼等缺陷，另外曝光時(shí)菲林片要注意正反面，并緊貼著網(wǎng)版；
（2）曝光機(jī)光源：要優(yōu)選平行光曝光機(jī)，這樣能有效減少曝光時(shí)的側(cè)侵蝕。曝光機(jī)光源功率越高，可以減少曝光時(shí)間，減少側(cè)侵蝕；
（3）曝光時(shí)間：沒(méi)有完全理想的平行光曝光機(jī)，所以曝光時(shí)間越長(zhǎng)側(cè)侵蝕越嚴(yán)重，后續(xù)顯影后線條會(huì)有一定的坡邊，影響線條寬度；曝光時(shí)間短，感光膠膜與網(wǎng)布的附著強(qiáng)度差，所以高精度網(wǎng)版制作時(shí)要在滿足強(qiáng)度的條件下選用最短的曝光時(shí)間。
（4）顯影水壓和時(shí)間：顯影沖洗時(shí)要均勻，一般水壓越大，圖形邊緣銳利性會(huì)越好，顯影時(shí)間則要在顯影完全的條件下選擇最短的顯影時(shí)間。圖4是采用不同的顯影時(shí)間制作的網(wǎng)版線條顯微形貌照片，從圖上可以看出顯影時(shí)間太長(zhǎng)時(shí)，圖形邊緣的棱角便開(kāi)始出現(xiàn)部分溶解鈍化， 影響線條的銳利性。
網(wǎng)版制作完畢，需仔細(xì)檢查是否存在砂眼，圖形是否完整，然后可用高倍數(shù)影像測(cè)量?jī)x和精密張力計(jì)檢測(cè)網(wǎng)版線條寬度以及最終的網(wǎng)版張力，最后在網(wǎng)版四周涂覆封網(wǎng)膠并粘貼銀龍膠帶， 這樣能夠避免在使用過(guò)程中的酒精、丙酮等化學(xué)試劑腐蝕粘網(wǎng)膠，提高網(wǎng)版的使用壽命。
LTCC技術(shù)對(duì)原材料、設(shè)備及零件的精度要求非常高，隨著微型化產(chǎn)品的需求增加，網(wǎng)版的線寬規(guī)格也將變得越來(lái)越小。制作高精度的網(wǎng)版，是保障做好完美產(chǎn)品的前提。
為了進(jìn)一步加強(qiáng)交流，艾邦建有LTCC交流群，誠(chéng)邀LTCC生產(chǎn)企業(yè)、設(shè)備、材料企業(yè)參與。目前群友包括：風(fēng)華高科、順絡(luò)電子、中國(guó)集團(tuán)研究所、中瓷電子、麥捷微、宏達(dá)電子、佳利電子、研創(chuàng)光電、云之微、電子科大、國(guó)防科大、村田、太陽(yáng)誘電等加入。
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邀請(qǐng)企業(yè)
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MLCC未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)
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畢克化學(xué) 王玉立 博士
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高性能介質(zhì)材料與元器件
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疊層機(jī)在高端電子陶瓷上的研發(fā)突破
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業(yè)內(nèi)知名設(shè)備企業(yè)（已確認(rèn)）
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LTCC高頻低介電常數(shù)陶瓷生料帶
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淺談我國(guó)無(wú)源元器件的機(jī)遇與挑戰(zhàn)
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MLCC制作過(guò)程中失效原因分析
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多層共燒陶瓷粉料的創(chuàng)新研究
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LTCC材料及工藝研究
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電子科技大學(xué) 李元?jiǎng)?教授
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LTCC技術(shù)工藝集成優(yōu)化方案
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214所 何中偉 總工藝師
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抓住5G機(jī)遇，加速LTCC技術(shù)發(fā)展
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擬邀請(qǐng)順絡(luò)電子
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HTCC的技術(shù)特點(diǎn)、工藝及發(fā)展趨勢(shì)
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擬邀請(qǐng)四川六方鈺成/艾森達(dá)新材料
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導(dǎo)電漿料在電子陶瓷上的研究應(yīng)用
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擬邀清華大學(xué)/乾宇電子/海外華昇
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LTCC技術(shù)在5G通訊用電子陶瓷產(chǎn)品上的應(yīng)用
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擬邀請(qǐng)中電13所/麥捷微電子/54所
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多層陶瓷電容器瓷料摻雜改性研究
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上海硅酸鹽所 陳學(xué)鋒 研究員/博士
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溫水等靜壓機(jī)用于電子陶瓷的控制系統(tǒng)
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擬邀請(qǐng)中電2所
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激光用于電子陶瓷行業(yè)的解決方案
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待定
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贊助企業(yè)：
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宇陽(yáng)科技
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畢克化學(xué)
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天津大學(xué)
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