瑞耘科技股份有限公司
瑞耘科技股份有限公司創(chuàng)立于1998年3月，是半導體業(yè)界的關鍵零組件、制程設備及靜電吸盤的領先供應商。瑞耘科技設計與制造的陶瓷靜電吸盤產(chǎn)品，可應用于真空系統(tǒng)中保持半導體和非導體(硅晶圓、玻璃)基板的吸附。并將靜電吸盤應用延伸至自動化領域，使靜電吸附功能可廣泛應用于搬運撓性材料(軟板、銅箔)，多孔材料(導線架、紡織品)，表面光滑材料(玻璃)等，以此解決傳統(tǒng)夾持技術的問題與困難，實現(xiàn)生產(chǎn)線自動化的目標。
2012年成功開發(fā)陶瓷靜電吸盤(ESC)； 2014年陶瓷靜電吸盤(ESC)產(chǎn)品及濕式晶圓蝕刻機(SAT)、濕式去光阻機(SST)量產(chǎn)建立。
官網(wǎng)：https://www.calitech.com.tw
廣東海拓創(chuàng)新精密設備科技有限公司
海拓創(chuàng)新是一家專注半導體及顯示行業(yè)關鍵零部件進行國產(chǎn)化的技術型公司。在國產(chǎn)化靜電卡盤及基于靜電卡盤為技術核心設備領域的設計、生產(chǎn)具有領先地位。
自2013年始深耕于靜電卡盤技術研發(fā)和應用拓展，憑借自身的技術積累、研發(fā)、系統(tǒng)集成以及方案解決能力，并于2015年實現(xiàn)以靜電卡盤為核心業(yè)務帶動企業(yè)發(fā)展模式。海拓創(chuàng)新公司已經(jīng)完成了4寸至12寸半導體FAB靜電卡盤交付實績，尤其是在第三代化合物半導體方面，已實現(xiàn)規(guī)?；桓?。
官網(wǎng)：www.seatools-tech.com/
北京華卓精科科技股份有限公司
北京華卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日，是國家高新技術企業(yè)，主要產(chǎn)品包括精密運動系統(tǒng)、靜電卡盤和隔振器等超精密測控設備部件以及晶圓級鍵合設備、激光退火設備等超精密測控設備整機，以及主要產(chǎn)品和納米精度運動及測控系統(tǒng)的技術開發(fā)服務。
華卓精科自主研發(fā)的靜電卡盤產(chǎn)品嚴格按照半導體行業(yè)相關標準設計和加工，在產(chǎn)品結構設計、尺寸形位精度及使用可靠性等方面都具有技術優(yōu)勢。前期所開發(fā)的12 吋 PVD 氮化鋁靜電卡盤，在一定程度上破除了國外廠商在該產(chǎn)品領域內的長期壟斷局面。目前華卓精科已將靜電卡盤相關技術應用于產(chǎn)品生產(chǎn)并形成了小批量量產(chǎn)，并可為客戶提供定制化的產(chǎn)品。未來將面向中、高端需求，提升批量生產(chǎn)能力。
官網(wǎng)：http://www.u-precision.com
君原電子科技（海寧）有限公司
君原電子科技（海寧）有限公司成立于2020年8月，是目前國內第一家實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)半導體靜電吸盤的公司，公司位于浙江省嘉興市海寧泛半導體（中國）產(chǎn)業(yè)園，在海寧擁有2000㎡潔凈室和合計8000㎡的生產(chǎn)廠房，
目前公司已經(jīng)投資數(shù)千萬元建設了一條先進電子陶瓷生產(chǎn)線，擁有各類陶瓷成型設備，并擁有模擬測試腔，SEM,XRF，CMM等全套先進材料測試設備，能夠滿足最先進的測試和生產(chǎn)需要。
蘇州珂瑪材料科技股份有限公司
蘇州珂瑪材料科技股份有限公司成立于2009 年 4 月 27 日，是國內半導體設備用先進陶瓷材料零部件的頭部企業(yè)。依托領先的材料能力和豐富的加工制造工藝，蘇州珂瑪先進陶瓷材料零部件的下游領域覆蓋較為廣闊。先進陶瓷主要應用于晶圓制造前道工藝設備，目前已進入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴散設備，并批量應用于14nm和28nm制程設備和生產(chǎn)過程中。
蘇州珂瑪重點投入研發(fā)陶瓷加熱器、靜電卡盤和超高純碳化硅套件，陶瓷加熱器、靜電卡盤已試產(chǎn)樣品，公司多個型號樣品處于客戶驗證階段。
官網(wǎng)：https://www.kematek.com
河北中瓷電子科技股份有限公司(003031)
河北中瓷電子科技股份有限公司成立于2009年8月6日，是專業(yè)從事電子陶瓷系列產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術企業(yè)，致力于成為世界一流的電子陶瓷產(chǎn)品供應商。2022年中瓷電子布局精密陶瓷零部件領域，助力半導體設備零部件國產(chǎn)化。精密陶瓷零部件是采用氧化鋁、氮化鋁等先進陶瓷經(jīng)精密加工后制備的半導體設備用核心零部件，具有高強度、耐腐蝕、高精度等優(yōu)異性能，應用于刻蝕機、涂膠顯影機、光刻機、離子注入機等半導體關鍵設備中。中瓷電子開發(fā)的陶瓷加熱盤產(chǎn)品核心技術指標已達到國際同類產(chǎn)品水平并通過用戶驗證，實現(xiàn)了關鍵零部件的國產(chǎn)化，已批量應用于國產(chǎn)半導體關鍵設備中。陶瓷加熱盤已實現(xiàn)批量出貨，靜電卡盤已送樣測試。
官網(wǎng)：https://www.sinopack.com.cn/
中山市思考電子科技有限公司
中山市思考電子科技有限公司成立于2016年，擁有14余年專注從事半導體晶圓劃片刀、陶瓷真空工作盤、CVD靜電吸盤、電木橡膠吸咀等半導體耗材經(jīng)驗。
2012年開始自主研發(fā)氮化鋁加熱器、ESC靜電吸盤項目，2022年靜電卡盤事業(yè)部已掌握氮化鋁陶瓷高溫共燒技術，目前氮化鋁加熱器已面市，ESC靜電吸盤已進入裝配測試階段。
官網(wǎng)：http://www.taniss.com/
國外相關企業(yè)
NTK CERATEC
NTK CERATEC 成立于 1987 年，總部設立于日本。該公司主要從事精密陶瓷產(chǎn)品的制造與銷售，提供半導體及液晶用零部件、真空卡盤、靜電卡盤等產(chǎn)品。NTK CERATEC 是國際半導體設備廠關鍵零組件的知名供應廠。NTK CERATEC 于 2015 年成為日本特殊陶業(yè)株式會社（Niterra Co.,Ltd.）的全資子公司。
NTK在精密陶瓷領域具有豐富的經(jīng)驗，其靜電卡盤產(chǎn)品種類齊全，應用制程范圍廣，參數(shù)選擇豐富，應用領域廣闊。
官網(wǎng)：https://www.ceratech.co.jp/cn
TOTO
TOTO成立于 1917 年，總部設立于日本。TOTO陶瓷事業(yè)部設立于1984年，主要從事民用陶瓷、半導體陶瓷等產(chǎn)品的制造，提供靜電卡盤、光學系統(tǒng)陶瓷零部件等產(chǎn)品。TOTO 在陶瓷領域具有深厚的技術積累，是全球領先的陶瓷產(chǎn)品生產(chǎn)商。TOTO的原材料設計、批量生產(chǎn)技術，滿足客戶的晶片溫度控制要求。
官網(wǎng)：https://jp.toto.com/
京瓷株式會社（KYOCERA Corporation）
京瓷株式會社成立于1959年4月1日，是全球最大的先進陶瓷生產(chǎn)企業(yè)之一。為追求高精度、高溫耐久性、化學穩(wěn)定性的制造裝置提供不可或缺的精密陶瓷零部件。等離子體阻抗高的卡盤在各種操作溫度下性能均良好。嵌入了一個內置電極，利用該結構和ESC表面放置的硅晶片之間產(chǎn)生的靜電力。在半導體制造工藝中，該類產(chǎn)品可用于硅晶片的安裝、校正平面度和硅晶片的冷卻。
2023年4月，京瓷宣布投資620億日元新建諫早工廠，生產(chǎn)半導體陶瓷零部件及封裝產(chǎn)品。
官網(wǎng)：https://www.kyocera.com.cn
新光電氣工業(yè)株式會社
新光電氣工業(yè)株式會社成立于1946年9月12日，主要從事塑料層壓封裝( PLP、引線框、玻璃端子、散熱器、陶瓷靜電吸盤、集成電路組件等生產(chǎn)銷售。
新光電氣的陶瓷靜電吸盤廣泛應用于蝕刻設備、CVD設備等半導體制造設備。憑借從陶瓷燒成到加工、組裝、檢驗的一體化生產(chǎn)優(yōu)勢，實現(xiàn)了高品質、低價格、短交貨期，提供滿足客戶尖端需求的靜電吸盤。
官網(wǎng)：https://www.shinko.co.jp
日本礙子株式會社
日本礙子株式會社（NGK INSULATORS,LTD.）成立于1919年5月5日，1996年開始批量生產(chǎn)半導體制造裝置用陶瓷。日本礙子以氮化鋁（AIN）陶瓷為主，發(fā)揮材料的特性，將半導體制造設備上需要使用的靜電吸盤、加熱器、各種零部件產(chǎn)品化。
發(fā)揮其高強度、高導熱性、耐高溫抗沖擊力的性能。憑借日本礙子獨有的體積電阻控制技術產(chǎn)品可運用在更為廣泛的溫度帶。
官網(wǎng)：https://www.ngk-insulators.com/
黑崎播磨株式會社KrosakiHarima Corporation
黑崎播磨株式會社（Krosaki Harima Corporation）創(chuàng)業(yè)于1919年，是日本一家耐火材料生產(chǎn)企業(yè)，瞄準“精細陶瓷”、“電子元件燒成用窯具”、“熱陶瓷”三個領域，正在開發(fā)成為各領域旗艦產(chǎn)品的產(chǎn)品。其陶瓷部門利用黑崎播磨迄今積累的技術來生產(chǎn)零膨脹NEXCERA?等精細陶瓷、高性能絕緣材料WDS、半導體、液晶用高性能加熱器等。Krosaki Harima以其獨特的材料技術和加工技術制造Johnsen-Rahbek靜電吸盤。
官網(wǎng)：https://www.krosaki.co.jp
MiCo?Ceramics?Co.,?Ltd.
MiCo Ceramics是韓國一家半導體設備用陶瓷零部件專業(yè)生產(chǎn)企業(yè)，是2020年從Mico中將半導體設備零部件事業(yè)部分離出來而成立的公司。MiCo?Ceramics利用AlN、Al2O3和Y2O3等特殊陶瓷材料為客戶提供陶瓷零件：從用于半導體制造工藝的AlN加熱器、ESC等功能性產(chǎn)品到一般零部件。
MiCo Ceramics擁有使用多層陶瓷（MLC）和熱壓的制造技術，開發(fā)、制造和供應ESC以滿足各種客戶的需求，2004年就已成功開發(fā)200mm陶瓷ESC。
官網(wǎng)：https://www.micoceramics.com
AEGISCO會社
AEGISCO創(chuàng)立于2008年，位于韓國京畿道華盛市，生產(chǎn)靜電吸盤和PSC(物理粘附吸盤)等基板吸盤部件，目前已應用于顯示面板、半導體、物流運輸?shù)缺姸囝I域。陶瓷靜電吸盤是AEGISCO自主專利制造產(chǎn)品，采用高純度材料，具有出色的耐壓特性。
官網(wǎng)：http://www.aegisco.co.kr/
KSM Component Co., Ltd.
KSMComponent成立于2004年，是專門制造金屬和陶瓷加熱器的公司，向客戶提供金屬焊接波紋管、磁流體密封、全氟密封圈三位一體的密封解決方案，加熱器以及各種半導體、平板顯示產(chǎn)業(yè)用Sub Assembly。
2011年開發(fā)半導體設備用陶瓷加熱器，2017年獲得靜電吸盤專利，目前靜電卡盤（ESC）產(chǎn)品目前正在開發(fā)中。
官網(wǎng)：https://www.ksm.co.kr/
END
推薦活動1：【邀請函】第七屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇（11月30日 蘇州）
序號 | 暫定議題 | 擬邀請 |
1 | 多層陶瓷高溫共燒關鍵技術介紹 | 佳利電子?副總?胡元云 |
2 | 氮化鋁HTCC封裝材料現(xiàn)狀及技術發(fā)展趨勢 | 中電科43所/合肥圣達?集團高級專家?張浩 |
3 | 芯片管殼空腔封裝 | 佛大華康?總經(jīng)理?劉榮富 |
4 | HTCC陶瓷封裝用配套電子材料的匹配性問題研究 | 泓湃科技?CEO?陳立橋 |
5 | HTCC氫氮氣氛燒結窯爐 | 北京中礎窯爐?副總經(jīng)理?付威 |
6 | 高速高精度HTCC全工藝流程視覺檢測應用介紹 | 深圳禾思?總經(jīng)理?楊澤霖 |
7 | 精密激光在LTCC/HTCC加工中的關鍵技術及發(fā)展趨勢 | 德中技術?張卓?戰(zhàn)略發(fā)展與市場總監(jiān) |
8 | 微波大功率封裝外殼技術發(fā)展 | 中電科55所?研究員?龐學滿 |
9 | 低溫共燒LTCC和高溫共燒HTCC燒結中的關鍵因素 | 蘇州阿爾賽?王笏平?總經(jīng)理 |
10 | 多層共燒陶瓷生產(chǎn)線裝備與系統(tǒng) | 中電科2所?郎新星?高級專家 |
11 | 多層共燒陶瓷的增材制造技術 | 中南大學?教授?王小鋒 |
12 | 三維電鍍陶瓷基板（3DPC）及其封裝應用 | 華中科技大學/武漢利之達?教授/創(chuàng)始人?陳明祥 |
13 | 多層陶瓷封裝外殼的生產(chǎn)工藝和可靠性設計 | 宏科電子?副廠長?康建宏 |
14 | PVD技術在封裝用陶瓷基板上的應用 | 中國科技大學 教授 謝斌 |
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