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16家碳化硅聚焦環(huán)相關(guān)廠商介紹

聚焦環(huán)是芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵耗材,傳統(tǒng)的聚焦環(huán)由硅或石英制成,隨著集成電路微型化推進(jìn),集成電路制造對(duì)于刻蝕工藝的需求量、重要性不斷增加,刻蝕用等離子體功率、能量持續(xù)提高,尤其是電容耦合(CCP)等離子體刻蝕設(shè)備中所需等離子體能量更高,因此碳化硅材料制備的聚焦環(huán)使用率越來越高。

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圖 聚焦環(huán)材料的發(fā)展,來源:TCK

碳化硅聚焦環(huán)由CVD-SiC制作而成,具備超高純度、高耐腐蝕性、高耐氧化性、高耐熱性、高耐磨損性的特性,具有與硅相似的電導(dǎo)率、良好的耐離子刻蝕性能。目前國內(nèi)碳化硅聚焦環(huán)生產(chǎn)企業(yè)較少,極少具備量產(chǎn)能力,市場(chǎng)份額主要由國外企業(yè)掌握。
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圖? 碳化硅聚焦環(huán)制備工藝,來源TCK

本篇為大家介紹一些國內(nèi)外碳化硅聚焦環(huán)相關(guān)企業(yè),歡迎大家進(jìn)行補(bǔ)充。艾邦建有半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)交流群,歡迎產(chǎn)業(yè)鏈上下游的企業(yè)進(jìn)入,一起交流:

16家碳化硅聚焦環(huán)相關(guān)廠商介紹

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推薦活動(dòng):【邀請(qǐng)函】2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇(2024年4月12日·泉州)

2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇

The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum

2024年4月12日
泉州·泉商希爾頓酒店

福建省泉州市晉江市濱江路999號(hào)

主辦單位:深圳市艾邦智造資訊有限公司
協(xié)辦單位:福建華清電子材料科技有限公司
媒體支持:艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)、艾邦陶瓷展、陶瓷科技視野
?
一、暫定議題

 

序號(hào)

暫定議題

擬邀請(qǐng)企業(yè)

1

半導(dǎo)體設(shè)備及陶瓷零部件的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)

擬邀請(qǐng)?zhí)沾闪悴考髽I(yè)/高校研究所

2

半導(dǎo)體用高超精密陶瓷部件研制與應(yīng)用

擬邀請(qǐng)?zhí)沾闪悴考髽I(yè)/高校研究所

3

半導(dǎo)體引線鍵合用陶瓷劈刀制備技術(shù)

擬邀請(qǐng)劈刀企業(yè)/高校研究所

4

大功率電力電子器件用陶瓷封裝基板的研究進(jìn)展

擬邀請(qǐng)?zhí)沾苫迤髽I(yè)/高校研究所

5

第三代功率半導(dǎo)體封裝用AMB陶瓷覆銅基板

擬邀請(qǐng)AMB企業(yè)/高校研究所

6

多孔陶瓷的研究進(jìn)展及在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

擬邀請(qǐng)多孔陶瓷企業(yè)/高校研究所

7

LTCC技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓探針卡中的應(yīng)用

擬邀請(qǐng)?zhí)结樋ㄆ髽I(yè)/高校研究所

8

CVD用絕緣高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷加熱器的研發(fā)

擬邀請(qǐng)?zhí)沾杉訜岜P企業(yè)/高校研究所

9

耐等離子腐蝕的氧化釔陶瓷的開發(fā)與應(yīng)用

擬邀請(qǐng)氧化釔陶瓷企業(yè)/高校研究所

10

高強(qiáng)度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的開發(fā)

擬邀請(qǐng)氮化硅陶瓷企業(yè)/高校研究所

11

碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件在集成電路制造關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用

擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所

12

半導(dǎo)體裝備用陶瓷靜電卡盤關(guān)鍵技術(shù)

擬邀請(qǐng)靜電卡盤企業(yè)/高校研究所

13

高純氧化鋁陶瓷制備工藝及其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

擬邀請(qǐng)氧化鋁陶瓷企業(yè)/高校研究所

14

真空釬焊設(shè)備在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

擬邀請(qǐng)真空釬焊企業(yè)/高校研究所

15

高精度復(fù)雜形狀碳化硅陶瓷制備工藝研究

擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所

16

半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷的成型工藝技術(shù)

擬邀請(qǐng)成型設(shè)備企業(yè)/高校研究所

17

高強(qiáng)度氮化硅粉體制備工藝技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化

擬邀請(qǐng)氮化硅粉體企業(yè)/高校研究所

18

高性能氮化鋁粉體連續(xù)式生產(chǎn)關(guān)鍵工藝技術(shù)

擬邀請(qǐng)氮化鋁粉體企業(yè)/高校研究所

19

覆銅陶瓷基板的失效機(jī)理分析及可靠性設(shè)計(jì)

擬邀請(qǐng)?zhí)沾苫迤髽I(yè)/高校研究所

20

特種陶瓷高溫?zé)Y(jié)工藝技術(shù)

擬邀請(qǐng)熱工裝備企業(yè)/高校研究所

21

半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷零部件表面處理技術(shù)

擬邀請(qǐng)表面處理/陶瓷零部件企業(yè)

演講及贊助請(qǐng)聯(lián)系李小姐:18124643204(同微信)
二、報(bào)名方式

 

 

報(bào)名方式1:加微信
李小姐:18124643204(同微信)
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郵箱:lirongrong@aibang.com
注意:每位參會(huì)者均需要提供信息;
報(bào)名方式2:長(zhǎng)按二維碼掃碼在線登記報(bào)名
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作者 gan, lanjie

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