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日前,哈爾濱精材科技有限公司研制了一批42mm直徑的氮化硅Si3N4陶瓷球,經(jīng)檢測其圓度為140nm、表面粗糙度為5.6nm,達(dá)到了G5等級。前期,公司研制的42mm直徑的反應(yīng)燒結(jié)碳化硅RB-SiC的圓度為190nm、粗糙度為43nm,達(dá)到了G10等級。

 

 

 

哈爾濱精材科技有限公司一直致力于陶瓷球體超精密高效制造技術(shù)的自主開發(fā),從球體成形理論、變曲率研磨盤設(shè)計、非接觸球體檢測裝置、球體研磨裝備等方面開展了一系列創(chuàng)新工作,形成了完整的陶瓷球體超精密制造技術(shù)體系,適用于1-100mm直徑、多種硬脆材料(氮化硅Si3N4、碳化硅SiC、碳化硼CB4等)的球體制造,可應(yīng)用于軸承滾動體、標(biāo)準(zhǔn)器、化工球閥等領(lǐng)域:

粗球毛胚專用磨削機(jī)床:27μm/h去除速率、95%尺寸一致性、30μm圓度、0.1mm直徑公差

圓弧拼接變曲率研磨盤:去除效率提升3.5倍、研磨KL散度下降91%、軌跡覆蓋率提升至100%

非接觸圓度快速檢測儀:基于激光/光譜共焦傳感器和氣浮轉(zhuǎn)臺實(shí)現(xiàn)微米/納米圓度快速檢測

陶瓷球體專用研磨機(jī)床:低成本、高精度、高一致性,最高可達(dá)100nm圓度和5nm粗糙度

 

G5等級42mm直徑氮化硅陶瓷球

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作者 gan, lanjie

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