2025年01月16日，Nippon Kornmeyer Carbon Group GmbH（NKCG?）和 Fraunhofer IISB合作推出了針對半導(dǎo)體領(lǐng)域的碳化鉭 (TaC) 涂層TACCOTA?專利技術(shù)。
石墨具有耐高溫(熔點3850℃)、較高的導(dǎo)熱導(dǎo)電性能等優(yōu)點。但是，石墨在高溫下遇氧易被氧化，而且會被熔融金屬等腐蝕。據(jù)介紹，碳化鉭涂層TACCOTA?耐高溫耐腐蝕涂層可應(yīng)用于石墨基材，有效保護(hù)半導(dǎo)體生產(chǎn)加工中使用的石墨部件，用于半導(dǎo)體材料生產(chǎn)和加工。它可保護(hù)石墨部件在典型的高溫和反應(yīng)性氣體工藝（如 SiC 和氮化物 PVT 晶體生長和外延、離子注入和等離子處理）中免受分解和腐蝕。其好處是延長使用壽命并降低擁有成本。該工藝技術(shù)允許調(diào)整所需的涂層特性，如厚度和成分（即與其他高溫陶瓷材料混合）。
長按識別二維碼關(guān)注公眾號，點擊下方菜單欄左側(cè)“微信群”，申請加入交流群。
