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2025年04月08日,蘇州珂瑪材料科技股份有限公司(珂瑪科技,301611)發(fā)布2024 年年度報(bào)告,報(bào)告顯示,珂瑪科技在2024年度及 2023年度先進(jìn)陶瓷材料零部件的營業(yè)收入分別為 76,819.56萬元和 39,488.53 萬元,2024年比去年同期增長94.54%。其中,半導(dǎo)體領(lǐng)域是珂瑪科技產(chǎn)品的主要應(yīng)用方向,在 2024年度及 2023年度來自半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的先進(jìn)陶瓷材料零部件收入分別為 69,188.96萬元和 22,618.56 萬元,占先進(jìn)陶瓷材料零部件收入的比例分別為90.07%和57.28%,2024年比去年同期增長205.89%。

半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)支撐,其中前道工藝主要完成晶圓制造,該等工藝設(shè)備類型繁雜,技術(shù)難度較高。半導(dǎo)體設(shè)備由腔室內(nèi)和腔室外組成,陶瓷大部分用在更接近晶圓的腔室內(nèi),其技術(shù)要求嚴(yán)苛,須在先進(jìn)陶瓷材料性能、硬脆難加工材料精密加工及新品表面處理等方面滿足客戶要求。珂瑪科技先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造前道工藝設(shè)備,目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散等多種設(shè)備,是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備用先進(jìn)陶瓷材料零部件的頭部企業(yè)。
半導(dǎo)體設(shè)備用先進(jìn)陶瓷包括圓環(huán)圓筒、氣流導(dǎo)向、承重固定和手爪墊片等結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品,以及陶瓷加熱器、靜電卡盤以及超高純碳化硅套件等高難度“功能-結(jié)構(gòu)”一體模塊化產(chǎn)品。珂瑪科技在半導(dǎo)體設(shè)備用高純度氧化鋁、高導(dǎo)熱氮化鋁零部件等“卡脖子”產(chǎn)品方面實(shí)現(xiàn)了國產(chǎn)替代,多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際主流水平。同時(shí),公司亦是目前國內(nèi)少數(shù)有多種陶瓷材料和產(chǎn)品通過國際頭部半導(dǎo)體設(shè)備廠商A公司認(rèn)證且被其批量采購的先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷企業(yè)之一。

2024 年度,得益于中國半導(dǎo)體市場整體復(fù)蘇,中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的快速增長以及設(shè)備關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化的不斷推進(jìn),下游半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶采購需求快速增長,帶動了珂瑪科技先進(jìn)陶瓷材料結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域銷售收入規(guī)模的增長。半導(dǎo)體領(lǐng)域結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品,2024 年銷售收入比去年同期增長 106.52%。

2024 年,半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域收入的增加也得益于公司“功能-結(jié)構(gòu)”一體模塊化產(chǎn)品的大規(guī)模量產(chǎn)。基于多年技術(shù)積累、研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化布局,珂瑪科技半導(dǎo)體設(shè)備核心部件陶瓷加熱器實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代,該“結(jié)構(gòu)-功能”一體模塊化產(chǎn)品解決了半導(dǎo)體晶圓廠商 CVD 設(shè)備關(guān)鍵零部件的“卡脖子”問題。珂瑪科技為半導(dǎo)體晶圓廠商和國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商研發(fā)生產(chǎn)并銷售多款陶瓷加熱器產(chǎn)品,裝配于 SACVD、PECVD、LPCVD 和激光退火等設(shè)備,部分陶瓷加熱器產(chǎn)品已量產(chǎn)并大量應(yīng)用于晶圓的薄膜沉積生產(chǎn)工藝流程。同時(shí),靜電卡盤與超高純碳化硅套件也逐步量產(chǎn),并在報(bào)告期內(nèi)形成了一定的收入。半導(dǎo)體領(lǐng)域“功能-結(jié)構(gòu)”一體模塊化產(chǎn)品,2024年銷售收入比去年同期增長809.81%。2024 年,受國內(nèi)消費(fèi)電子行業(yè)溫和復(fù)蘇和光伏產(chǎn)能相對過剩影響,珂瑪科技來自顯示面板、LED和光伏等其他泛半導(dǎo)體的結(jié)構(gòu)件產(chǎn)品的收入有所下降,相應(yīng)的產(chǎn)能被轉(zhuǎn)移到用于滿足半導(dǎo)體領(lǐng)域的需求。

珂瑪科技先進(jìn)陶瓷材料零部件應(yīng)用的其他領(lǐng)域包括能源環(huán)保、汽車生產(chǎn)、紡織和生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。

此外,珂瑪科技募投項(xiàng)目建設(shè)穩(wěn)步推進(jìn)。位于江蘇蘇州的先進(jìn)材料生產(chǎn)基地項(xiàng)目、研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目已經(jīng)完成基建,建筑面積達(dá)到 8.2 萬平方米,正處于設(shè)備購置和安裝調(diào)試過程中,未來將主要用于生產(chǎn)陶瓷加熱器和靜電卡盤等“結(jié)構(gòu)-功能”一體化模塊產(chǎn)品。位于四川眉山的泛半導(dǎo)體核心零部件加工制造項(xiàng)目就近服務(wù)成渝地區(qū)大客戶,于 2024 年基建完成。此外,安徽珂瑪碳化硅材料8,300平米廠區(qū)已于2024年投產(chǎn)。

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作者 gan, lanjie

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