PVD是英文Physical Vapor Deposition(物理氣相沉積)的縮寫,是指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術,利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質與氣體都發(fā)生電離,利用電場的加速作用,使被蒸發(fā)物質及其反應產物沉積在工件上真空電鍍。PVD基本原理
惰性氣體或反應氣體電離為氣體離子,氣體離子因靶(所謂靶是IP電鍍的消耗材料)的負電位形成定向運動,轟擊固體靶材表面進行能量交換,使靶材獲得能量濺射出靶原子或分子,在電場加速運動下產生物理氣象沉積(PVD)于所電鍍產品表面,形成電鍍層。
文章來源于PVD真空鍍資訊,艾邦高分子整理編輯
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