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在LTCC的材料指標(biāo)中,介電常數(shù)是LTCC材料最關(guān)鍵指標(biāo)。但光介電常數(shù)滿足要求可不行,此外,陶瓷基板與金屬材料的共燒匹配是LTCC生產(chǎn)和研究難點(diǎn)與熱點(diǎn)。


LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配

圖源自網(wǎng)絡(luò)


2020年第一屆低溫共燒陶瓷產(chǎn)業(yè)高峰論壇上,國(guó)防科技大學(xué)劉卓峰教授認(rèn)為L(zhǎng)TCC基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配是當(dāng)前LTCC材料研發(fā)上的一大難點(diǎn)問(wèn)題,也是關(guān)鍵技術(shù)瓶頸。


LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配

國(guó)防科大 劉卓峰教授 2020第一屆LTCC論壇現(xiàn)場(chǎng)


共燒不匹配將致命

LTCC共燒時(shí),基片與漿料的燒結(jié)特性不匹配主要體現(xiàn)在三個(gè)方面:


1、燒結(jié)致密化完成溫度不一致;
2、基片與漿料的燒結(jié)收縮率不一致;
3、燒結(jié)致密化速度不匹配。


這些不匹配容易導(dǎo)致燒成后基片表面不平整、翹曲、分層;不匹配的另一個(gè)后果是金屬布線的附著力下降。這些都將嚴(yán)重影響器件的完整性。


共燒材料的匹配是熱點(diǎn),亦是難點(diǎn)

LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配


陶瓷材料

目前,LTCC陶瓷材料主要是兩個(gè)體系,即“微晶玻璃”系和“玻璃+陶瓷”系。

LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配

LTCC生瓷帶 圖源自山村

采用低熔點(diǎn)氧化物或低熔點(diǎn)玻璃的摻雜可以降低陶瓷材料的燒結(jié)溫度,但是降低燒結(jié)溫度有限,而且不同程度地會(huì)損壞材料性能,尋找自身具有燒結(jié)溫度低的陶瓷材料引起研究人員的重視。此類材料,正在開(kāi)發(fā)的主要品種為硼酸錫鋇(BaSn(BO3)2)系和鍺酸鹽和碲酸鹽系、BiNbO4系、Bi203-ZnO-Nb205系、ZnO-TiO2系等陶瓷材料。

金屬漿料

LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配


金屬導(dǎo)體漿料體主要是有布線和填孔導(dǎo)體漿料(金、銀、鉑、鈀),一個(gè)熱點(diǎn)問(wèn)題就是共燒材料的匹配性。將不同介質(zhì)層(電容、電阻、電感、導(dǎo)體等)共燒時(shí),要控制不同界面間的反應(yīng)和界面擴(kuò)散,使各介質(zhì)層的共燒匹配性良好,界面層間在致密化速率、燒結(jié)收縮率及熱膨脹速率等方面盡量達(dá)到一致,減少層裂、翹曲和裂紋等缺陷的產(chǎn)生。

一般說(shuō),利用LTCC技術(shù)的陶瓷材料收縮率大約為15%~20%左右。若兩者燒結(jié)無(wú)法匹配或兼容,燒結(jié)之后將會(huì)出現(xiàn)界面層分裂的現(xiàn)象;如果兩種材料發(fā)生高溫反應(yīng),其生成的反應(yīng)層又將影響原來(lái)各自材料的特性。對(duì)于不同介電常數(shù)和組成的兩種材料的共燒匹配性以及如何減少相互間的反應(yīng)活性等是研究的重點(diǎn)。

Dupont公司研發(fā)的控制收縮燒結(jié)技術(shù)已應(yīng)用于60%LTCC基板和30%的LTCC電路產(chǎn)品中。目前,如何實(shí)現(xiàn)基片與布線共燒時(shí)的收縮率及熱膨脹系數(shù)匹配問(wèn)題是重要挑戰(zhàn),它關(guān)系到多層金屬化布線的質(zhì)量。

Heraeus公司推出HeraLocktape系統(tǒng),而大受市場(chǎng)認(rèn)可。

LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配

圖源自賀利氏


這種LTCC材料和銀導(dǎo)線完全和目前LTCC工藝兼容,在X-Y方向上有小于0.2%的收縮,收縮的變化量小于0.014%。對(duì)于傳統(tǒng)材料,8英寸的薄片在邊緣就會(huì)有8mil配準(zhǔn)誤差。這種新的材料,配準(zhǔn)誤差小于0.5mil。Heraeus公司已推出零收縮的CT800系列產(chǎn)品。

生瓷帶+金屬漿料同步生產(chǎn)已成主流

由于生瓷帶和金屬漿料在共燒時(shí)會(huì)產(chǎn)生諸多問(wèn)題,單獨(dú)使用一家的生瓷帶或金屬漿料可能會(huì)導(dǎo)致某一成分不匹配。所以現(xiàn)在很多生產(chǎn)生瓷帶廠家,都會(huì)將金屬漿料一起研發(fā)生產(chǎn)。例如杜邦、賀利氏、FERRO、山村、上海晶材、浙江矽瓷等采用這種模式。

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LTCC行業(yè)痛點(diǎn)解決請(qǐng)關(guān)注11月江蘇昆山:


第三屆高端電子陶瓷產(chǎn)業(yè)高峰論壇(江蘇昆山·11月26日)


01

主要議題


序號(hào)

議題

擬邀請(qǐng)單位

1

先進(jìn)低溫共燒無(wú)源集成材料和器件技術(shù)發(fā)展

清華大學(xué)

2

高端電子陶瓷在汽車領(lǐng)域的發(fā)展應(yīng)用

博世

3

陶瓷覆銅板在大功率半導(dǎo)體的應(yīng)用

羅杰斯

4

LTCC射頻模塊的發(fā)展與應(yīng)用

京瓷

5

高性能陶瓷基板在IGBT中的應(yīng)用與發(fā)展

比亞迪半導(dǎo)體

6

基于HTCC技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用

中瓷電子

7

應(yīng)用于HTCC的高性能粉體制備

艾森達(dá)

8

高導(dǎo)熱陶瓷低溫?zé)Y(jié)助劑的研究

廈門鎢業(yè)

9

LTCC生瓷帶的環(huán)境與工藝適應(yīng)性要求研討

兵器214所 何中偉  總工程師

10

LTCC低介電常數(shù)粉體量產(chǎn)應(yīng)用發(fā)展

中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院  顏廷楠  博士后

11

應(yīng)用于低溫共燒陶瓷5G射頻模組材料方案

福祿FERRO

12

電子陶瓷用金屬漿料配套應(yīng)用方案

貴研鉑業(yè)

13

高精密疊層機(jī)應(yīng)用于多層陶瓷基板介紹

住榮

如有演講意向,請(qǐng)聯(lián)系周小姐:18320865613(微信同電話號(hào)碼)


02

擬邀請(qǐng)企業(yè)


通訊、基站、消費(fèi)電子、汽車等終端企業(yè);LTCC、HTCC等陶瓷基板生產(chǎn)企業(yè);玻璃粉、陶瓷粉體等生瓷材料企業(yè)和導(dǎo)電金屬導(dǎo)體材料企業(yè);陶瓷流延機(jī)、激光切割、自動(dòng)化組裝、燒結(jié)、印刷等設(shè)備企業(yè);網(wǎng)版、載帶、保護(hù)膜等耗材企業(yè);檢測(cè)、科研院所、高校機(jī)構(gòu)等。


03

會(huì)議議程


2021年11月25日(周四):14:00-18:00簽到

2021年11月26日(周五):7:30-9:00簽到;8:50-18:00會(huì)議;18:00-19:30晚宴

04

報(bào)名方式

方式一:加微信
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艾果果:13312917301(微信同電話號(hào)碼),

郵箱:ab008@aibang.com;注意:每位參會(huì)者均需要提供信息;


方式二:長(zhǎng)按二維碼掃碼在線登記報(bào)名

       LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配        
或者復(fù)制下面網(wǎng)址到瀏覽器后,微信注冊(cè)報(bào)名
https://www.aibang360.com/m/100098?ref=161788


05

收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)


參會(huì)人數(shù)

1~2個(gè)人(單價(jià)每人)

3個(gè)人及以上(單價(jià)每人)

9月24日前付款

2300元/人

2200元/人

10月24日前付款

2400元/人

2300元/人

11月24日前付款

2500元/人

2400元/人

現(xiàn)場(chǎng)付款

2800元/人

2500元/人

費(fèi)用包括會(huì)議門票、全套會(huì)議資料、午餐、茶歇等,但不包括住宿。


06

匯款方式及賬戶


匯款方式及賬戶:(均可開(kāi)增值稅普通發(fā)票)


付款方式1:


公對(duì)公賬戶:

名稱:深圳市艾邦智造資訊有限公司

賬號(hào):4425 0100 0021 0000 0867

開(kāi)戶行:中國(guó)建設(shè)銀行股份有限公司深圳八卦嶺支行  



付款方式2:


掃碼支付:

注意:會(huì)議費(fèi)用還支持微信(綁信用卡)支付,請(qǐng)掃描上面二維碼完成截圖發(fā)給工作人員

       LTCC難點(diǎn)——基板與金屬導(dǎo)體共燒匹配        


07

贊助方案



項(xiàng)目


項(xiàng)目?jī)?nèi)容


主題演講+展臺(tái)


30分鐘主題演講


3個(gè)參會(huì)名額


商標(biāo)展示、現(xiàn)場(chǎng)展示臺(tái)1個(gè)


會(huì)刊廣告


易拉寶/禮品贊助(2選1)


主題演講


30分鐘主題演講


現(xiàn)場(chǎng)展臺(tái)


現(xiàn)場(chǎng)展示臺(tái),展示設(shè)備及樣品、資料以及洽談,含3個(gè)參會(huì)名額


會(huì)刊廣告


研討會(huì)會(huì)刊,彩色全頁(yè)廣告(尺寸210*285mm)


側(cè)屏廣告


主講屏幕LED兩邊側(cè)屏,單邊側(cè)屏廣告,展示全天會(huì)議(客戶自行設(shè)計(jì),圖片尺寸以實(shí)際面積為準(zhǔn))


參會(huì)證掛繩贊助


印有企業(yè)標(biāo)識(shí)的掛繩(獨(dú)家)


參會(huì)證贊助


參會(huì)證背面單面印刷廣告


資料袋贊助


印有企業(yè)標(biāo)識(shí)的資料袋


桌牌贊助


印有企業(yè)標(biāo)識(shí)的桌牌


資料入袋贊助


企業(yè)的宣傳冊(cè)(不超過(guò)6P)放入?yún)?huì)袋子


會(huì)議通訊錄banner橫幅廣告


植入在本會(huì)議觀眾通訊錄置頂?shù)臋M幅廣告,有效期6個(gè)月


Logo展示


背景板logo,會(huì)刊封面logo


易拉寶


現(xiàn)場(chǎng)1個(gè)易拉寶展示


禮品贊助


印有贊助商logo的禮品,用于贈(zèng)送參會(huì)聽(tīng)眾


微信推送


微信公眾號(hào),覆蓋18萬(wàn)行業(yè)專業(yè)人群,會(huì)前、會(huì)中或者會(huì)后,企業(yè)介紹以及相關(guān)軟文一共1篇



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作者 ab

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