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LTCC低溫共燒陶瓷生工藝流程及原料和設(shè)備一覽


LTCC作為無源集成的主流技術(shù),契合電子制造業(yè)小型化、集成化、高頻化的發(fā)展方向,在高頻通訊,特別是5G通信領(lǐng)域極具技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

下面簡單介紹LTCC主要工藝流程以及所需要的材料和設(shè)備。

LTCC低溫共燒陶瓷生工藝流程及原料和設(shè)備一覽

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LTCC的主要工藝流程


LTCC技術(shù)工藝流程主要包括生瓷帶的制備、打孔前處理、打孔、填空、導(dǎo)體層印刷、疊層、等靜壓、切割、排膠燒結(jié)、焊接、檢測(cè)等過程:

LTCC低溫共燒陶瓷生工藝流程及原料和設(shè)備一覽

圖   LTCC技術(shù)工藝流程圖

1

漿料制備

材料通常采用陶瓷、玻璃粉和有機(jī)粘合劑按照一定比例配方混合,制成成份均勻、性能均一的漿料。需要球磨機(jī)、砂磨、攪拌機(jī)等。

2

流延

漿料通過脫泡、消泡等,再將漿料通過流延成型制成生瓷帶。對(duì)生瓷帶的要求是:致密、厚度均勻和具有一定的機(jī)械強(qiáng)度。該工藝需要流延機(jī)設(shè)備。


推薦閱讀:低溫共燒陶瓷LTCC生瓷帶制備及流延機(jī)廠家介紹

3

裁片

將卷帶生瓷帶按照一定的尺寸進(jìn)行裁切,裁切的尺寸要比所需要的尺寸略大,以便滿足后面的加工。該工藝需要切片機(jī)設(shè)備。

4

沖孔

在生瓷片上以機(jī)械沖孔/激光沖孔的方式制作出用以進(jìn)行電氣互聯(lián)的過孔、通孔。該工藝有兩種方法,機(jī)械式?jīng)_孔機(jī)和激光式打孔機(jī)。

孔徑大小、位置精度均將直接影響布線密度與基板質(zhì)量。在生瓷片上打孔就是要求在生瓷片上形成(0.1~0.5)mm直徑的通孔。打孔過程中要求對(duì)孔周圍的影響要小。


推薦閱讀:LTCC基板打孔工藝簡介

5

填孔

將過孔填充劑填入過孔中,作為層與層之間電路連接的垂直通路,以制備多層陶瓷基板內(nèi)部的過孔;


填充通孔的導(dǎo)體漿料與形成導(dǎo)電帶的導(dǎo)體漿料的組分不同,其粘度應(yīng)加以控制,充分使其凝膠化,使通孔填充飽滿。該工藝需要填孔機(jī)。


推薦閱讀:LTCC(低溫共燒陶瓷)填孔工藝及相關(guān)設(shè)備廠家

6

印刷

使用絲網(wǎng)印刷方法,將導(dǎo)電漿料或介質(zhì)材料印刷在生瓷片上,用以制作電氣互聯(lián)的導(dǎo)線及印制元器件(電阻、電容、壓敏電阻等);

印刷工藝參數(shù)包括刮板速度、角度、壓力和柔韌性等,若印刷參數(shù)控制不當(dāng),則線條邊緣呈現(xiàn)鋸齒狀,對(duì)電路性能影響較大。該工藝需要印刷機(jī)。


推薦閱讀:LTCC與MLCC印刷工藝對(duì)比介紹

7

疊片

將已印刷電路圖形的生瓷片按預(yù)先設(shè)計(jì)的層數(shù)和次序,依次放入緊密疊片模具中,模具上設(shè)計(jì)有與生瓷片對(duì)位孔一致的對(duì)位柱,保證對(duì)位精度。該工藝對(duì)精度要求高,一般高精度的疊片機(jī)使用進(jìn)口設(shè)備。

8

等靜壓

為使疊層后的生瓷體在排膠燒結(jié)時(shí)不起泡分層,對(duì)生瓷體進(jìn)行熱壓。采用等靜壓工藝,在一定的溫度和壓力下,使它們緊密粘接,形成一個(gè)完整的多層基板坯體。等靜壓可使層壓壓力均勻分布到生瓷體上,確保基板燒結(jié)收縮一致。該工藝需要層壓機(jī)均壓機(jī))設(shè)備,部分產(chǎn)品對(duì)壓力及均勻性要求高。

9

切割

將較大面積的生瓷基板,按照各元件、模塊的切割邊界進(jìn)行切割分離,便于進(jìn)行燒結(jié)。切割機(jī)目前主要是在速度及精度上要求高,通常小尺寸產(chǎn)品切割難度較大。

10

排膠、燒結(jié)

將熱切下來的生瓷單體放置在燒結(jié)爐內(nèi)的承燒板上,設(shè)定好產(chǎn)品燒結(jié)的溫度曲線后進(jìn)行燒結(jié)。在保證溫度均勻的前提下,緩慢進(jìn)行加熱升溫,以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的排膠燒結(jié),燒結(jié)溫度約850~900°C。


排膠燒結(jié)關(guān)系到瓷體中氣體多少、顆粒之間的結(jié)合程度以及基板的機(jī)械強(qiáng)度的高低。燒結(jié)工藝的關(guān)鍵是燒結(jié)曲線和爐膛溫度的一致性,它決定了燒結(jié)后基板的平整度和收縮率。升溫速率不宜過快,否則會(huì)導(dǎo)致燒結(jié)后基板的平整度差、收縮率減小,甚至?xí)l(fā)生翹曲。采用燒結(jié)爐,優(yōu)化排膠升溫速率和保溫時(shí)間與生瓷帶的尺寸、層數(shù)和金屬化量的關(guān)系。


該兩段通常需要先排膠再燒結(jié),共需要排膠爐和燒結(jié)爐。

11

釬焊

將表面清洗好的工件以搭接形式裝配在一起,把釬料放在接頭間隙附近或接頭間隙之間。加熱使釬料熔化,液態(tài)釬料與工件金屬相互擴(kuò)散溶解,冷凝后即形成釬焊接頭。

12

測(cè)試

對(duì)燒結(jié)好的低溫共燒陶瓷多層基板進(jìn)行檢測(cè),以驗(yàn)證多層布線的連接性。主要使用探針測(cè)試儀、激光調(diào)阻設(shè)備、分選設(shè)備等。


LTCC主要材料和耗材


LTCC相關(guān)原料及耗材


原材料:介質(zhì)陶瓷粉、氧化鋁、玻璃粉、粘合劑、溶劑、生瓷帶、銀粉、銀漿、陶瓷和導(dǎo)電漿料用分散劑、黏合劑、增塑劑、絮凝劑、礦化劑、消泡劑、潤滑劑等。
LTCC低溫共燒陶瓷生工藝流程及原料和設(shè)備一覽

耗材:焊料焊片、探針、載帶包裝、PET、承燒板、承燒網(wǎng)、發(fā)泡膠、研磨耗材、耐火材料、精密網(wǎng)版等。


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LTCC行業(yè)活動(dòng)推薦:

第三屆高端電子陶瓷產(chǎn)業(yè)高峰論壇(江蘇昆山·11月26日)


01

主要議題


序號(hào)

議題

擬邀請(qǐng)單位

1

先進(jìn)低溫共燒無源集成材料和器件技術(shù)發(fā)展

清華大學(xué)

2

高端電子陶瓷在汽車領(lǐng)域的發(fā)展應(yīng)用

博世

3

陶瓷覆銅板在大功率半導(dǎo)體的應(yīng)用

羅杰斯

4

LTCC射頻模塊的發(fā)展與應(yīng)用

京瓷

5

高精密疊層機(jī)應(yīng)用于多層陶瓷基板介紹

上海住榮 劉玉生

6

高性能陶瓷基板在IGBT中的應(yīng)用與發(fā)展

比亞迪半導(dǎo)體

7

應(yīng)用于HTCC的高性能粉體制備

艾森達(dá)

8

基于HTCC技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用

佳利電子

9

LTCC生瓷帶的環(huán)境與工藝適應(yīng)性要求研討

兵器214所 何中偉

10

LTCC低介電常數(shù)粉體量產(chǎn)應(yīng)用發(fā)展

中國科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院  顏廷楠  博士

11

應(yīng)用于低溫共燒陶瓷5G射頻模組材料方案

FERRO

12

電子陶瓷用金屬漿料配套應(yīng)用方案

常州聚和

13

高導(dǎo)熱陶瓷低溫?zé)Y(jié)助劑的研究

廈門鎢業(yè)

如有演講意向,請(qǐng)聯(lián)系周小姐:18320865613(微信同電話號(hào)碼)


02

擬邀請(qǐng)企業(yè)


通訊、基站、消費(fèi)電子、汽車等終端企業(yè);LTCC、HTCC等陶瓷基板生產(chǎn)企業(yè);玻璃粉、陶瓷粉體等生瓷材料企業(yè)和導(dǎo)電金屬導(dǎo)體材料企業(yè);陶瓷流延機(jī)、激光切割、自動(dòng)化組裝、燒結(jié)、印刷等設(shè)備企業(yè);網(wǎng)版、載帶、保護(hù)膜等耗材企業(yè);檢測(cè)、科研院所、高校機(jī)構(gòu)等。


部分報(bào)名名單(更新至09.24):


姓名

公司名稱

職位

陳**

華為

研發(fā)

童**

蘇州艾福電子股份有限公司

PM

朱**

蘇州艾福電子股份有限公司

市場(chǎng)總監(jiān)

樸**

蘇州艾福電子股份有限公司

研發(fā)經(jīng)理

于**

強(qiáng)一半導(dǎo)體(蘇州)有限公司

副總

侯**

強(qiáng)一半導(dǎo)體(蘇州)有限公司

經(jīng)理

夏**

強(qiáng)一半導(dǎo)體(蘇州)有限公司

工程師

張**

風(fēng)華高科

副總經(jīng)理

鄧**

廣東愛晟電子科技有限公司

研發(fā)工程師

李**

深圳金航芯半導(dǎo)體有限公司

副總

夏**

贛州科盈結(jié)構(gòu)陶瓷有限公司

銷售經(jīng)理

彭**

贛州科盈結(jié)構(gòu)陶瓷有限公司

副總

劉**

贛州科盈結(jié)構(gòu)陶瓷有限公司

經(jīng)理

宋**

贛州科盈結(jié)構(gòu)陶瓷有限公司

銷售經(jīng)理

劉**

贛州科盈結(jié)構(gòu)陶瓷有限公司

業(yè)務(wù)員

鄧**

昆山長盈精密

總監(jiān)

戴**

浙江德匯電子陶瓷有限公司

副總經(jīng)理

嚴(yán)**

安徽中創(chuàng)電子信息材料/合肥回創(chuàng)材料科技有限公司

項(xiàng)目經(jīng)理

王**

無錫銀硅新能源科技有限公司

總經(jīng)理

李**

圣諾普科(上海)有限公司

部長

李**

福建俊杰新材料科技股份有限公司

總工

李**

福建俊杰新材料科技股份有限公司

董事長

甄**

福建俊杰新材料科技股份有限公司

總經(jīng)理

崔**

宜興市山佳電子科技有限公司

經(jīng)理

王**

上海網(wǎng)誼光電科技有限責(zé)任公司

總經(jīng)理

何**

上海博立爾化工有限公司

項(xiàng)目經(jīng)理

周**

上海琪聚新材料有限公司

CEO

劉**

上海住榮科技有限公司

副總經(jīng)理

薛**

上海住榮科技有限公司

總經(jīng)理

張**

蘇州首鐳激光科技有限公司

總經(jīng)理

徐**

合肥費(fèi)舍羅熱工裝備有限公司

銷售工程師

張**

合肥費(fèi)舍羅熱工裝備有限公司

銷售工程師

方**

合肥費(fèi)舍羅熱工裝備有限公司

營銷總監(jiān)

方**

合肥費(fèi)舍羅熱工裝備有限公司

銷售工程師

高**

合肥費(fèi)舍羅熱工裝備有限公司

銷售工程師

胥**

北京北方華創(chuàng)真空技術(shù)有限公司

經(jīng)理

王**

昆山碩晟電子有限公司

總經(jīng)理

朱**

昆山碩晟電子有限公司

廠長

楊**

昆山碩晟電子有限公司

工程經(jīng)理


03

會(huì)議議程


2021年11月25日(周四):14:00-18:00簽到

2021年11月26日(周五):7:30-9:00簽到;8:50-18:00會(huì)議;18:00-19:30晚宴

04

報(bào)名方式

方式一:加微信
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艾果果:13312917301(微信同電話號(hào)碼),

郵箱:ab008@aibang.com;注意:每位參會(huì)者均需要提供信息;


方式二:長按二維碼掃碼在線登記報(bào)名

       LTCC低溫共燒陶瓷生工藝流程及原料和設(shè)備一覽        
或者復(fù)制下面網(wǎng)址到瀏覽器后,微信注冊(cè)報(bào)名
https://www.aibang360.com/m/100098?ref=161788


05

收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)


參會(huì)人數(shù)

1~2個(gè)人(單價(jià)每人)

3個(gè)人及以上(單價(jià)每人)

9月24日前付款

2300元/人

2200元/人

10月24日前付款

2400元/人

2300元/人

11月24日前付款

2500元/人

2400元/人

現(xiàn)場(chǎng)付款

2800元/人

2500元/人

費(fèi)用包括會(huì)議門票、全套會(huì)議資料、午餐、茶歇等,但不包括住宿。


06

匯款方式及賬戶


匯款方式及賬戶:(均可開增值稅普通發(fā)票)


付款方式1:


公對(duì)公賬戶:

名稱:深圳市艾邦智造資訊有限公司

賬號(hào):4425 0100 0021 0000 0867

開戶行:中國建設(shè)銀行股份有限公司深圳八卦嶺支行  



付款方式2:


掃碼支付:

注意:會(huì)議費(fèi)用還支持微信(綁信用卡)支付,請(qǐng)掃描上面二維碼完成截圖發(fā)給工作人員

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07

贊助方案



項(xiàng)目


項(xiàng)目內(nèi)容


主題演講+展臺(tái)


30分鐘主題演講


3個(gè)參會(huì)名額


商標(biāo)展示、現(xiàn)場(chǎng)展示臺(tái)1個(gè)


會(huì)刊廣告


易拉寶/禮品贊助(2選1)


主題演講


30分鐘主題演講


現(xiàn)場(chǎng)展臺(tái)


現(xiàn)場(chǎng)展示臺(tái),展示設(shè)備及樣品、資料以及洽談,含3個(gè)參會(huì)名額


會(huì)刊廣告


研討會(huì)會(huì)刊,彩色全頁廣告(尺寸210*285mm)


側(cè)屏廣告


主講屏幕LED兩邊側(cè)屏,單邊側(cè)屏廣告,展示全天會(huì)議(客戶自行設(shè)計(jì),圖片尺寸以實(shí)際面積為準(zhǔn))


參會(huì)證掛繩贊助


印有企業(yè)標(biāo)識(shí)的掛繩(獨(dú)家)


參會(huì)證贊助


參會(huì)證背面單面印刷廣告


資料袋贊助


印有企業(yè)標(biāo)識(shí)的資料袋


桌牌贊助


印有企業(yè)標(biāo)識(shí)的桌牌


資料入袋贊助


企業(yè)的宣傳冊(cè)(不超過6P)放入?yún)?huì)袋子


會(huì)議通訊錄banner橫幅廣告


植入在本會(huì)議觀眾通訊錄置頂?shù)臋M幅廣告,有效期6個(gè)月


Logo展示


背景板logo,會(huì)刊封面logo


易拉寶


現(xiàn)場(chǎng)1個(gè)易拉寶展示


禮品贊助


印有贊助商logo的禮品,用于贈(zèng)送參會(huì)聽眾


微信推送


微信公眾號(hào),覆蓋18萬行業(yè)專業(yè)人群,會(huì)前、會(huì)中或者會(huì)后,企業(yè)介紹以及相關(guān)軟文一共1篇

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作者 ran, xuguang

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