LTCC制作工藝過程中線條、圖案、電阻等關(guān)鍵部分都是通過絲網(wǎng)印刷的方式來實(shí)現(xiàn)，其優(yōu)點(diǎn)是生產(chǎn)效率高、生產(chǎn)成本低。可以說絲網(wǎng)印刷工藝是LTCC精密布線的基礎(chǔ)。
在LTCC微波組件中，其對(duì)絲印線條的狀態(tài)要求更高，其中微帶線、帶狀線的邊緣狀態(tài)和光潔度對(duì)微波電路的插入損耗都有直接關(guān)系，可以說微帶線、帶狀線的精細(xì)制作，是微波性能的保證。
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印刷用網(wǎng)版的網(wǎng)布規(guī)格、張力大小和感光膜厚度可以說是絲印線條分辨率和解析度的基礎(chǔ)，其“先天性” 地決定了LTCC絲印線路的狀態(tài)。因此網(wǎng)版質(zhì)量的好壞直接影響著印刷的質(zhì)量。
繃網(wǎng)質(zhì)量指標(biāo)主要有張力的大小、均勻性。張力大小合適且分布均勻的網(wǎng)版是精確地再現(xiàn)印刷圖形的最基本條件。
（1）選擇合適規(guī)格的絲網(wǎng)材料。目前，在微電子封裝厚膜電路印刷中應(yīng)用的絲網(wǎng)主要是聚酯網(wǎng)和不銹鋼絲網(wǎng)。當(dāng)前，LTCC印刷圖形線條已達(dá)到50～100μm，有的產(chǎn)品甚至更小。
（2）網(wǎng)版從拉網(wǎng)機(jī)上裁下后張力都會(huì)下降，所以粘網(wǎng)前網(wǎng)布張力要比設(shè)定值大一些；
（3）繃網(wǎng)過程中要避免一次性繃網(wǎng)拉力過大，否則容易出現(xiàn)崩網(wǎng)情況或者影響網(wǎng)版的耐用性；
（4）制作聚酯-不銹鋼絲網(wǎng)復(fù)合網(wǎng)版時(shí)，聚酯網(wǎng)伸縮率大，繃網(wǎng)時(shí)四角及中心區(qū)域拉伸率偏差較大，影響整個(gè)網(wǎng)版張力的均勻性，甚至在四角容易出現(xiàn)崩網(wǎng)現(xiàn)象，可在繃網(wǎng)前可在四角進(jìn)行留邊措施。
涂感光膠工藝是采用涂布機(jī)或手工刮刀在網(wǎng)布上涂覆一定厚度的感光材料以便后道工序在網(wǎng)版上制作出所需要的圖形。一個(gè)好的網(wǎng)版要求感光膠首先在印刷面有一定的厚度并且表面平整光滑，這樣漿料在印刷時(shí)不會(huì)從底部凹陷處漏出形成“鋸齒” ，其次感光膠還能夠把絲網(wǎng)網(wǎng)格填滿，這樣可以減少印刷刮膠與網(wǎng)版的摩擦力。
（1）采用“2+2” 雙面涂布法，即網(wǎng)布前后面各用一個(gè)刮刀同時(shí)涂布2次，這樣能夠有效地填滿絲網(wǎng)網(wǎng)格；
（2）干燥后，改用“0+4” 涂布法，即僅在印刷面加涂感光膠4次，主要增加網(wǎng)版膜厚并使其表面平整光滑；
（3）干燥后，測(cè)量膜厚，繼續(xù)用“0+4” 涂布法；
（4）重復(fù)（2）、（ 3）步過程直到膜厚達(dá)到指定要求。
曝光、顯影過程是用紫外光透過菲林片的空白區(qū)域照射涂覆感光膠的網(wǎng)版，使得乳膠分子與敏化劑（感光劑）分子發(fā)生化學(xué)交聯(lián)反應(yīng)生成空間網(wǎng)狀或鏈狀大分子結(jié)構(gòu)的膜層。
而對(duì)于菲林片中黑色線條擋住沒有照射紫外線的感光膠膜在顯影過程中則會(huì)溶解于顯影劑顯露出網(wǎng)絲間隔。
影響曝光、顯影的幾點(diǎn)關(guān)鍵工藝因素：
（1）菲林片質(zhì)量：黑白對(duì)比強(qiáng)烈，邊緣銳利，圖形清晰、完整，沒有砂眼等缺陷，另外曝光時(shí)菲林片要注意正反面，并緊貼著網(wǎng)版；
（2）曝光機(jī)光源：要優(yōu)選平行光曝光機(jī)，這樣能有效減少曝光時(shí)的側(cè)侵蝕。曝光機(jī)光源功率越高，可以減少曝光時(shí)間，減少側(cè)侵蝕；
（3）曝光時(shí)間：沒有完全理想的平行光曝光機(jī)，所以曝光時(shí)間越長(zhǎng)側(cè)侵蝕越嚴(yán)重，后續(xù)顯影后線條會(huì)有一定的坡邊，影響線條寬度；曝光時(shí)間短，感光膠膜與網(wǎng)布的附著強(qiáng)度差，所以高精度網(wǎng)版制作時(shí)要在滿足強(qiáng)度的條件下選用最短的曝光時(shí)間。
（4）顯影水壓和時(shí)間：顯影沖洗時(shí)要均勻，一般水壓越大，圖形邊緣銳利性會(huì)越好，顯影時(shí)間則要在顯影完全的條件下選擇最短的顯影時(shí)間。圖4是采用不同的顯影時(shí)間制作的網(wǎng)版線條顯微形貌照片，從圖上可以看出顯影時(shí)間太長(zhǎng)時(shí)，圖形邊緣的棱角便開始出現(xiàn)部分溶解鈍化， 影響線條的銳利性。
不同顯影時(shí)間線條邊緣狀態(tài)
網(wǎng)版制作完畢，需仔細(xì)檢查是否存在砂眼，圖形是否完整，然后可用高倍數(shù)影像測(cè)量?jī)x和精密張力計(jì)檢測(cè)網(wǎng)版線條寬度以及最終的網(wǎng)版張力，最后在網(wǎng)版四周涂覆封網(wǎng)膠并粘貼銀龍膠帶。
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11月26日，田菱智能科技(昆山)有限公司將參加在昆山舉行的第三屆高端電子陶瓷產(chǎn)業(yè)高峰論壇，由渡邊智貴先生帶來《LTCC絲網(wǎng)印刷中與網(wǎng)版相關(guān)的不良改善》演講分享，歡迎對(duì)精密網(wǎng)版制作感興趣的朋友前來分享交流。
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序號(hào)
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議題
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擬邀請(qǐng)單位
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基于HTCC技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用
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佳利電子 胡元云 常務(wù)副總/研究院院長(zhǎng)
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2
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高端電子陶瓷在汽車領(lǐng)域的發(fā)展應(yīng)用
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博世
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3
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先進(jìn)低溫共燒無源集成材料和器件技術(shù)發(fā)展
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電子科大
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4
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LTCC射頻模塊的發(fā)展與應(yīng)用
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京瓷
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5
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高精密疊層機(jī)應(yīng)用于多層陶瓷基板介紹
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上海住榮
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6
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LTCC絲網(wǎng)印刷中與網(wǎng)版相關(guān)的不良改善
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昆山田菱 渡邊智貴
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7
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LTCC低介電常數(shù)粉體量產(chǎn)應(yīng)用發(fā)展
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中科院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院 顏廷楠 博士
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8
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LTCC生瓷帶的環(huán)境與工藝適應(yīng)性要求研討
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兵器214所 何中偉 總工程師
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9
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低溫共燒壓電陶瓷致動(dòng)器的應(yīng)用及發(fā)展
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蘇州攀特電陶 潘鐵政 董事長(zhǎng)
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10
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實(shí)現(xiàn)電子元器件小型化、高頻化、集成化的LTCC陶瓷
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耘藍(lán)集成電路 洪世勛 研發(fā)總監(jiān)
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11
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介電玻璃粉的開發(fā)與應(yīng)用
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贛州中傲新瓷 繆錫根 博士/研發(fā)總監(jiān)
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12
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應(yīng)用于HTCC的高性能粉體制備
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艾森達(dá)
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13
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應(yīng)用于低溫共燒陶瓷5G射頻模組材料方案
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杜邦
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14
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電子陶瓷用金屬漿料配套應(yīng)用方案
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常州聚和
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15
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高導(dǎo)熱陶瓷低溫?zé)Y(jié)助劑的研究
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廈門鎢業(yè)
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16
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高性能陶瓷基板在IGBT中的應(yīng)用與發(fā)展
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比亞迪半導(dǎo)體、
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17
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陶瓷覆銅板在大功率半導(dǎo)體的應(yīng)用
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羅杰斯
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如有演講意向，請(qǐng)聯(lián)系周小姐：18320865613（微信同電話號(hào)碼）
艾果果：13312917301（微信同電話號(hào)碼），
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原文始發(fā)于微信公眾號(hào)（艾邦陶瓷展）：LTCC印刷網(wǎng)版制作工藝及要點(diǎn)
