在為芯片濕制程熱塑性塑料尋找解決方案嗎?

您的應(yīng)用是否涉及前端 (FEOL)、后端 (BEOL)、濕法蝕刻流程、PVD 或電鍍工具?

請了解三菱化學(xué)高新材料的?

Semitron?、Ertalyte?、

Ketron???Techtron??產(chǎn)品系列

多種材料可供選擇,材料組合最為廣泛,

確保您的濕制程順利進行。

助力“中國芯” | 芯片濕制程熱塑性塑料解決方案

我們的材料被設(shè)計用于整個晶圓加工制程。既滿足了晶圓低污染加工的最嚴(yán)格要求,又是低成本的解決方案。

特 點

防腐蝕

平整

耐磨

純凈

抗化學(xué)性

尺寸穩(wěn)定性好

材料

尺寸

穩(wěn)定性

HDT 264 psi

外觀

形狀

Semitron?

PP

+++

210

白色

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Ertalyte?

PET-P

++++

240

白色

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Techtron?

PPS

+++++

250

淺褐色

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Ketron?

CA30 PEEK

+++++

518

黑色

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Ketron?

1000 PEEK

+++++

320

棕褐色

助力“中國芯” | 芯片濕制程熱塑性塑料解決方案
 

典型

應(yīng)用場景

三菱化學(xué)高新材料的工程塑料非常適合設(shè)備上的:

■ 轉(zhuǎn)盤

■ 齒輪

■ 噴頭

■ 晶圓抓取器

■ 針腳和螺釘?shù)?/span>

 

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產(chǎn)品推介

Semitron?? PP 是專為半導(dǎo)體濕制程應(yīng)用研發(fā)的聚丙烯型材。具有非常好的尺寸穩(wěn)定性。

 

1

內(nèi)部應(yīng)力小,不易變形、不易翹曲

(即使薄板僅 2 英寸)

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Semitron? PP Plate

VS

Standard PP Plate

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2

純度高,最大限度降低表面污染風(fēng)險

 

3

提高加工良品率,降低整體成本

 

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來源:三菱化學(xué)高新材料

原文始發(fā)于微信公眾號(艾邦高分子):助力“中國芯” | 芯片濕制程熱塑性塑料解決方案

作者 li, meiyong

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