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DPC(Direct Plated Copper)直接電鍍銅陶瓷基板是利用激光在陶瓷基片上打孔,采用半導(dǎo)體工藝在陶瓷基片上沉積銅Cu種子層,而后通過(guò)電鍍工藝填孔,增厚金屬層得到的基板。該工藝具有電路高精度、高導(dǎo)熱、垂直互連、低成本等特點(diǎn)。
DPC直接鍍銅陶瓷基板的核心技術(shù)與熱門(mén)應(yīng)用
DPC生產(chǎn)工藝流程
DPC的陶瓷基板主要有氧化鋁、氮化鋁陶瓷基板,也有在使用氮化硅基板。DPC分單雙面板,如果是單面板一面是線(xiàn)路板層或者導(dǎo)電層,一面是光板。如果是雙面板,則雙面是金屬化銅或線(xiàn)路板層。
DPC直接鍍銅陶瓷基板的核心技術(shù)與熱門(mén)應(yīng)用
車(chē)燈3570 氧化鋁陶瓷基板
陶瓷基板是絕緣層,同時(shí)也是導(dǎo)熱散熱層。DPC陶瓷基板可以將芯片直接固定在陶瓷上,不需要在陶瓷上面再做絕緣層了。
DPC直接鍍銅陶瓷基板的核心技術(shù)與熱門(mén)應(yīng)用
隨著電子行業(yè)上發(fā)展,DPC技術(shù)也不斷在提高。DPC陶瓷基板在電子封裝特別是功率電子器件例如IGBT(絕緣柵雙極晶體管)、LD(激光二極管)、大功率LED(發(fā)光二極管)、CPV(聚焦型光伏)封裝中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。
一、DPC陶瓷基板的關(guān)鍵技術(shù)
在DPC的生產(chǎn)中,大家非常關(guān)注的兩個(gè)生產(chǎn)工藝上的技術(shù)點(diǎn)就是金屬層與陶瓷基板的結(jié)合強(qiáng)度、電鍍填孔。
1、金屬線(xiàn)路層與陶瓷基板的結(jié)合強(qiáng)度
由于金屬與陶瓷間熱膨脹系數(shù)差較大,為了降低界面應(yīng)力,需要在銅層與陶瓷間增加過(guò)渡層,從而提高界面結(jié)合強(qiáng)度。
DPC直接鍍銅陶瓷基板的核心技術(shù)與熱門(mén)應(yīng)用
DPC陶瓷基板
由于過(guò)渡層與陶瓷間的結(jié)合力主要以擴(kuò)散附著及化學(xué)鍵為主,因此常選擇Ti、Cr和Ni等活性較高、擴(kuò)散性好的金屬作為過(guò)渡層(同時(shí)作為電鍍種子層)。
2、電鍍填孔
電鍍填孔是DPC陶瓷基板制備的關(guān)鍵技術(shù),目前DPC電鍍填孔大多采用脈沖電源。其技術(shù)優(yōu)勢(shì)包括了易于填充通孔,降低孔內(nèi)鍍層缺陷,表面鍍層結(jié)構(gòu)致密,厚度均勻,可采用較高電流密度進(jìn)行電鍍,提高沉積效率。
二、DPC陶瓷基板熱門(mén)應(yīng)用
1、IGBT封裝
IGBT有輸入阻抗高、開(kāi)關(guān)速度快、通態(tài)電壓低、阻斷電壓高等特點(diǎn),成為當(dāng)今功率半導(dǎo)體發(fā)展熱門(mén)。其應(yīng)用小到變頻空調(diào)、靜音冰箱等家用電器,大到電力機(jī)車(chē)牽引系統(tǒng)等。IGBT輸出功率高,發(fā)熱量大,因此對(duì)IGBT封裝而言,散熱是關(guān)鍵。目前IGBT封裝主要采用DBC(直接覆銅)陶瓷基板,原因在于DBC具有金屬層厚度大,載流能力大、耐高溫性好等特點(diǎn)。目前DPC在IGBT上已經(jīng)開(kāi)始應(yīng)用。
2、LD封裝
激光二極管(LD)是一種基于半導(dǎo)體材料受激輻射原理的光電器件,具有體積小、壽命長(zhǎng)、易于集成等特點(diǎn),應(yīng)用于激光通信、光存儲(chǔ)以及雷達(dá)等領(lǐng)域。散熱是LD封裝關(guān)鍵。由于LD器件電流密度大,熱流密度高,DPC陶瓷基板成為L(zhǎng)D封裝的首選熱沉材料。
DPC直接鍍銅陶瓷基板的核心技術(shù)與熱門(mén)應(yīng)用
3、LED封裝
DPC直接鍍銅陶瓷基板的核心技術(shù)與熱門(mén)應(yīng)用
陶瓷金屬化 LED基板
LED功率密度不斷提高,對(duì)散熱的要求也越來(lái)越高。由于陶瓷具有的高絕緣、高導(dǎo)熱和耐熱、低膨脹等特性,特別DPC基板是采用通孔互聯(lián)技術(shù),可有效滿(mǎn)足LED倒裝、共晶、COB(板上芯片)、CSP(芯片規(guī)模封裝)、WLP(圓片封裝)封裝需求,適合中高功率LED封裝。
4、光伏(PV)模組封裝
聚焦作用導(dǎo)致太陽(yáng)光密度增加,芯片溫度升高,光伏模組封裝必須采用陶瓷基板促進(jìn)散熱。陶瓷基板表面的金屬層通過(guò)熱界面材料(TIM)分別與芯片和熱沉連接,熱量通過(guò)陶瓷基板快速傳導(dǎo)到金屬熱沉上,有效提高了系統(tǒng)光電轉(zhuǎn)換效率與可靠性。
文章來(lái)源:梅州展至電子

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作者 li, meiyong

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