2022年06月23日，廈門產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院通過線上線下結(jié)合方式舉行了何慶博士后的氮化鋁材料研究課題開題專家評審會，來自北京科技大學(xué)、廈門大學(xué)、華僑大學(xué)和廈門理工學(xué)院等專家聽取了課題匯報，并進行了現(xiàn)場質(zhì)詢與討論，一致認為課題面向半導(dǎo)體領(lǐng)域的重大需求，結(jié)合廈門市重點產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向，選題科學(xué)，研究目標明確，研究方案合理，技術(shù)路線可行，同意開題。
氮化鋁材料具有優(yōu)良的導(dǎo)熱性能和絕緣性能，在半導(dǎo)體領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。課題針對氮化鋁粉末和氮化鋁陶瓷制備中碳的控制問題，系統(tǒng)開展碳熱還原法制備工藝（如原料配比、反應(yīng)溫度、升溫速率、氮氣流量大小、爐內(nèi)壓力等）和無壓燒結(jié)工藝（脫脂制度、燒結(jié)制度）的研究，揭示碳元素的含量及其存在形式對氮化鋁陶瓷熱學(xué)、力學(xué)、電學(xué)性能的影響規(guī)律，對優(yōu)化碳熱還原法合成高品質(zhì)氮化鋁粉末工藝，提升氮化鋁陶瓷性能，促進其產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，具有重要的理論指導(dǎo)意義和實用價值。
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