PVD 磁控濺射為現(xiàn)時(shí)主流工藝：目前最常用于沉積 TCO 薄膜的方法是物理氣相沉積（PVD）大類下 的磁控濺射（Sputtering）工藝。
此工藝的基本原理是在電磁場的作用下，被加速的氣體高能粒子（Ar+） 轟擊鍍膜靶材，靶材表面的原子獲得能量逸出表面后沉積到襯底（已完成非晶硅鍍膜的電池片半成 品）表面生成氧化物薄膜。
以下為一些PVD生產(chǎn)企業(yè)的相關(guān)業(yè)務(wù)介紹，排名不分先后，供大家參考。
應(yīng)用材料（Applied?Materials）（美國）
應(yīng)用材料公司是一家半導(dǎo)體和顯示設(shè)備供應(yīng)商。?應(yīng)用材料公司創(chuàng)立于1967年，公司的PECVD 設(shè)備，在PVD市場份額從2018年的74%持續(xù)提升至2020年87%，處于絕對(duì)龍頭地位。
1984年在北京設(shè)立了中國客服中心，成為較早進(jìn)入中國的外資芯片制造設(shè)備公司。通過長期參與中國的高科技制造業(yè)，應(yīng)用材料公司為半導(dǎo)體、先進(jìn)顯示以及太陽能光伏制造行業(yè)提供設(shè)備與服務(wù)。
公司網(wǎng)站：https://www.appliedmaterials.com/
Evatec作為歷史悠久的瑞士半導(dǎo)體薄膜量產(chǎn)設(shè)備制造商，擁有在寬禁帶半導(dǎo)體的強(qiáng)勢技術(shù)積累和工業(yè)界合作的經(jīng)驗(yàn)以及Know-how。致力于在先進(jìn)封裝，半導(dǎo)體，光電和光學(xué)的核心市場提供完整的生產(chǎn)解決方案。
與其他的PECVD或CVD系統(tǒng)相比，他們的PECVD工藝的運(yùn)行溫度較低，這帶來了很多優(yōu)勢：概念靈活，可定制化，模組化的卡盤設(shè)計(jì)，可快速切換襯底尺寸，極高的薄膜純度，優(yōu)于標(biāo)準(zhǔn)平行板設(shè)計(jì)。
公司網(wǎng)站：https://evatecnet.com/
梅耶博格（Meyer Burger）是一家瑞士的光伏制造公司，擁有金剛石線鋸和工業(yè) PERC 解決方案到太陽能組件的精密測量技術(shù)。
非晶硅沉積設(shè)備，盒中盒式 S-Cube 等離子體反應(yīng)器，鈍化效果優(yōu)，在 PECVD 領(lǐng)域保持著較強(qiáng)的技術(shù)領(lǐng)先性。
公司網(wǎng)站：https://www.meyerburger.com/
本真空技術(shù)株式會(huì)社（ULVAC JAPAN LTD），總部設(shè)在日本茅崎，是日本上市公司，于1952年8月23日由日本生命保險(xiǎn)公司、松下電器產(chǎn)業(yè)股份有限公司等6家共同投資成立。
它是世界知名的真空技術(shù)企業(yè)，也是日本最大的真空企業(yè)。年產(chǎn)值達(dá)1200億日元，其產(chǎn)品遍及全世界各地近100多個(gè)國家和地區(qū)。已有800多臺(tái)套真空預(yù)冷保鮮設(shè)備和真空冷凍干燥設(shè)備應(yīng)用于日本本土。
公司網(wǎng)站：https://www.ulvac.com/
馮·阿登納?成立于1991年，是從位于德國德累斯頓的曼弗雷德?馮?阿登納研究所分離出來的。憑借超過 50 年的電子束工藝經(jīng)驗(yàn)以及 40 余年的磁控管技術(shù)能力，?馮·阿登納成為薄膜光伏領(lǐng)域玻璃鍍膜系統(tǒng)和設(shè)備的領(lǐng)先供應(yīng)商之一。
馮·?阿登納為玻璃、晶片、金屬帶和聚合物薄膜等材料上的真空鍍膜開發(fā)和生產(chǎn)工業(yè)設(shè)備。這些鍍膜賦予表面新的功能屬性，并且根據(jù)不同的應(yīng)用環(huán)境，厚度可在一納米和幾微米之間。
公司網(wǎng)站：https://www.vonardenne.biz/
德國singulus科技集團(tuán)致力于為高效的生產(chǎn)流程開發(fā)創(chuàng)新環(huán)保的技術(shù)，不斷加強(qiáng)自身的創(chuàng)新力和競爭力。作為全球唯一的設(shè)備制造商，集團(tuán)為容量約為100GB三層藍(lán)光光盤提供先進(jìn)的制造技術(shù)。
在太陽能領(lǐng)域，德國singulus科技集團(tuán)是公認(rèn)的晶體電池和薄膜電池技術(shù)的先進(jìn)設(shè)備及工藝供應(yīng)商。集團(tuán)致力于不斷提高太陽能電池的效率，并降低生產(chǎn)成本，是您在新能源領(lǐng)域的合作伙伴。
公司網(wǎng)站：https://www.singulus.com/zh-hant/
北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司和北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司戰(zhàn)略重組而成，是目前國內(nèi)集成電路高端工藝裝備的先進(jìn)企業(yè)。
北方華創(chuàng)主營半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。公司現(xiàn)有四大產(chǎn)業(yè)制造基地，營銷服務(wù)體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區(qū)。
公司網(wǎng)站：https://www.naura.com/
福建泉州鈞石能源有限公司 鈞石能源(GS-SOLAR)創(chuàng)立于2008年,是高端光伏裝備、產(chǎn)品及技術(shù)服務(wù)提供商。
擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的PECVD、PVD等核心生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)，主要設(shè)備PECVD、PVD、印刷機(jī)等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，采用大產(chǎn)能設(shè)計(jì)，適應(yīng)各種國產(chǎn)化關(guān)鍵材料，并可在未來進(jìn)行技術(shù)升級(jí)，為異質(zhì)結(jié)電池GW級(jí)產(chǎn)業(yè)化提供了適用于多代異質(zhì)結(jié)電池的通用制造平臺(tái)。
公司網(wǎng)站：http://www.gs-solar.com/project-development.php
以上為一些PVD設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)的相關(guān)業(yè)務(wù)介紹，排名不分先后，供大家參考。
| 序號(hào) |
公司 |
| 1 |
?應(yīng)用材料（Applied?Materials） |
| 2 |
?Evatec |
| 3 |
?梅耶博格（Meyer?Burger） |
| 4 |
?Ulvac |
| 5 |
?德國馮阿登納 |
| 6 |
?新格拉斯 |
| 7 |
?北方華創(chuàng)（002371） |
| 8 |
?鈞石 |
原文始發(fā)于微信公眾號(hào)（光伏產(chǎn)業(yè)通）：光伏制造關(guān)鍵設(shè)備：PVD生產(chǎn)企業(yè)8強(qiáng)
