(1)磁控濺射過程中放電不正常主要表現(xiàn)為，電壓升至400V后發(fā)生過流；或放電不集中在靶面，而由靶伸向放電室，還伴隨產(chǎn)生放電現(xiàn)象。其成因及對策為：濺射與轟擊轉(zhuǎn)換接觸器失靈，使濺射變?yōu)檗Z擊。應(yīng)使濺射與轟擊轉(zhuǎn)換器的按鍵開關(guān)控制靈敏，交流接觸器應(yīng)工作正常。
(2)真空度太低。應(yīng)適當(dāng)提高。一般真空度應(yīng)控制在(6.67—13.3)x10—’h
(1)新靶過流主要是由于靶表面有殘存的氧化物和污垢，或氬氣不純，氬氣的氣體分量波動。應(yīng)將新靶反復(fù)濺射數(shù)次，除去污垢及氧化層；或提高氬氣純度，調(diào)節(jié)氬氣壓力以及保證減壓閥工作正常。
(2)穩(wěn)定工作的靶發(fā)生過流主要是由于屏蔽罩和絕緣子上有雜物或尖端放電及短路現(xiàn)象，或充氣系統(tǒng)有微小漏氣。應(yīng)排除屏蔽罩和絕緣子上的短路現(xiàn)象以及充氣系統(tǒng)的漏氣現(xiàn)象。
(3)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長底漆的固化時間
(1)靶的冷卻水供應(yīng)不足。應(yīng)通人足夠的冷卻水。由于磁控源工作時要承受較大的功率，必須進行足夠的冷卻才能正常工作。
(2)冷卻水溫度太高或斷水，靶體發(fā)熱。應(yīng)適當(dāng)提高冷卻水的流量和壓力。如果在工作狀態(tài)下發(fā)生斷水故障，應(yīng)立即斷開濺射電源，讓其自然冷卻到60-80~C左右才能通人冷卻水，否則，磁環(huán)會因驟冷而炸裂
(1)真空度低于0.67Pa。應(yīng)將真空度提高到0.13-0.4Pa。
(2)氬氣純度低于99．9％。應(yīng)換用純度為99．99％的氬氣。
(3)充氣系統(tǒng)漏氣。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng)，排除漏氣現(xiàn)象。
(4)底漆未充分固化。應(yīng)適當(dāng)延長底漆的固化時間。
(5)鍍件放氣量太大。應(yīng)進行干燥和封孔處理
(1)底漆固化不良或變質(zhì)。應(yīng)適當(dāng)延長底漆的固化時間或更換底漆。
(2)濺射時間太長。應(yīng)適當(dāng)縮短。
(3)濺射成膜速度太快。應(yīng)適當(dāng)降低濺射電流或電壓
(1)底漆噴涂得不均勻。應(yīng)改進底漆的施涂方法。
(2)膜層太薄。應(yīng)適當(dāng)提高濺射速度或延長濺射時間。
(3)夾具設(shè)計不合理。應(yīng)改進夾具設(shè)計。
(4)鍍件的幾何形狀太復(fù)雜。應(yīng)適當(dāng)提高鍍件的旋轉(zhuǎn)速度
(1)底漆噴涂得太厚。應(yīng)控制在7—lOtan厚度范圍內(nèi)。
(2)涂料的粘度太高。應(yīng)適當(dāng)降低。
(3)蒸發(fā)速度太快。應(yīng)適當(dāng)減慢。
(4)膜層太厚。應(yīng)適當(dāng)縮短濺射時間。
(5)鍍件溫度太高。應(yīng)適當(dāng)縮短對鍍件的加溫時間
(1)鍍件清洗后未充分干燥。應(yīng)加強鍍前處理。
(2)鍍件表面濺上水珠或唾液。應(yīng)加強文明生產(chǎn)，操作者應(yīng)帶口罩。
(3)涂底漆后手接觸過鍍件，表面留下指紋。應(yīng)嚴禁用手接觸鍍件表面。
(4)涂料中有顆粒物。應(yīng)過濾涂料或更換涂料。
(5)靜電除塵失效或噴涂和固化環(huán)境中有顆?；覊m。應(yīng)更換除塵器，并保持工作環(huán)境的清潔
(1)鍍件除油脫脂不徹底。應(yīng)加強鍍前處理。
(2)真空室內(nèi)不清潔。應(yīng)清洗真空室。值得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴禁用手或不干凈的物體與磁控源接觸，以保證磁控源具有較高的清潔度，這是提高膜層結(jié)合力的重要措施之一。
(4)底涂料選用不當(dāng)。應(yīng)更換涂料。
(5)濺射工藝條件控制不當(dāng)。應(yīng)改進濺射工藝條件
來源：http://www.b2b99.com/zhishi/sl/233453.htm
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦車衣膜論壇）：磁控濺射鍍膜的故障排除方法
