汕大工學(xué)院王雙喜教授課題組在面向5G的集成電路用高純陶瓷基板研究領(lǐng)域取得新進(jìn)展

? ? ??近日，汕頭大學(xué)工學(xué)院研究生黎達(dá)在中科院1區(qū)SCI期刊《Applied Surface Science》上以“Surface modification of alumina nanoparticles and its application in tape casting of micro-nano green tape”（https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.15696）為題報(bào)道了相關(guān)研究成果。通過(guò)接枝改性納米氧化鋁粉體，流延漿料中納米粉體的含量提升至陶瓷相的45vol%，在99.6%高純陶瓷基板制備的卡脖子領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)技術(shù)突破。

? ? ? 高純陶瓷基板是5G技術(shù)下大功率集成電路、新能源IGBT、三代半導(dǎo)體、衛(wèi)星等領(lǐng)域的關(guān)鍵器件。納米粉體可以顯著降低陶瓷材料的燒結(jié)溫度，用于流延陶瓷基板，可以有效控制基板顯微組織和電學(xué)性能。但由于納米顆粒具有較大的比表面積以及高表面活性，納米粉體容易聚團(tuán)，導(dǎo)致漿料流動(dòng)性急劇下降，制約了納米粉體在流延成型技術(shù)中的大量應(yīng)用。改性氧化鋁納米顆粒技術(shù)使得流延陶瓷漿料穩(wěn)定性大幅提高，靜置12天后漿料的沉降率僅為4%，漿料中納米粉體的含量提升至陶瓷相的45vol%，制備的流延陶瓷生坯表面光滑無(wú)缺陷。黎達(dá)同學(xué)作為第一發(fā)明人剛剛獲得相關(guān)發(fā)明專利授權(quán)。

? ? ? 近年來(lái)，王雙喜教授課題組已經(jīng)研發(fā)出陶瓷生帶、超薄高純陶瓷片、復(fù)合陶瓷基板、導(dǎo)熱電磁屏蔽基板、燃料電池薄膜等一系列技術(shù)成果，具有納米粉體改性——高純漿料配方——流延生帶制備——陶瓷基板燒結(jié)—基板表面處理的全套自主技術(shù)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)，已經(jīng)授權(quán)發(fā)明專利17件、實(shí)用新型3件，發(fā)表學(xué)術(shù)論文12篇。

? “Surface modification of alumina nanoparticles and its application in tape casting of micro-nano green tape”論文第一作者黎達(dá)為汕頭大學(xué)工學(xué)院研究生，通訊作者為王雙喜教授。該工作得到廣東省教育廳創(chuàng)新強(qiáng)?；鹬攸c(diǎn)領(lǐng)域?qū)ｍ?xiàng)基金和廣東省高?？萍汲晒D(zhuǎn)化基金的資助。