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隨著電子技術(shù)的發(fā)展,芯片集成度不斷提高,電路布線寬度細(xì)密化,單位面積上功率耗散越來越大,必然造成發(fā)熱量的增加,容易引起器件的失效。直接覆銅(Direct Bond Copper,DBC )陶瓷基板由于具有良好的導(dǎo)熱性能和導(dǎo)電性能成為重要的電子封裝材料,尤其是在功率模塊(IGBT)和集成電力電子模塊中。目前功率半導(dǎo)體器件所用的陶瓷基板多為 DBC 陶瓷基板,下面我們一起來了解一下什么是 DBC 陶瓷基板?

DBC 技術(shù)主要是基于氧化鋁陶瓷基板發(fā)展起來的陶瓷表面金屬化技術(shù),最早出現(xiàn)于 20 世紀(jì) 70 年代,由 J.F.Burgess 和 Y.S.Sun 等人提出,到 80 年代中期,美國(guó) GE 公司的 DBC 研制小組將該技術(shù)實(shí)用化。
什么是直接覆銅(DBC)陶瓷基板?附國(guó)內(nèi)廠商名單
經(jīng)過多年的發(fā)展,該技術(shù)不僅在制備工藝、結(jié)合強(qiáng)度和熱循環(huán)疲勞壽命等方面取得了突破性進(jìn)展,而且在電子封裝領(lǐng)域也取得了長(zhǎng)足進(jìn)步。
目前可選用的陶瓷基片材料有氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氧化鋯增韌氧化鋁(ZTA)。此外,在 DBC 工藝技術(shù)的基礎(chǔ)上不斷優(yōu)化創(chuàng)新發(fā)展出來的新工藝,例如 FJ Composite 的 S-DBC 技術(shù),先在陶瓷表面沉積Ti層,再通過熱壓與銅結(jié)合。
什么是直接覆銅(DBC)陶瓷基板?附國(guó)內(nèi)廠商名單

圖? S-DBC 工藝與AMB 工藝鍵合界面,來源:FJ Composite

此外,活性金屬釬焊(AMB和直接敷鋁(DBA 工藝技術(shù)也是從 DBC 工藝技術(shù)發(fā)展起來的金屬直接敷接陶瓷基板新工藝。這兩個(gè)工藝在這我們就不多說,感興趣的朋友可以看看我們之前的文章。
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二、DBC 工藝的原理
DBC陶瓷基板是一種通過熱熔式粘合法,在高溫下將銅箔直接燒結(jié)到陶瓷表面而制成的一種復(fù)合基板。直接覆銅技術(shù)是利用銅的含氧共晶液直接將銅敷接在陶瓷上,其基本原理是敷接前或過程中在銅與陶瓷之間引入適量的氧元素,在 1065~1083℃,銅與氧形成 Cu-O 共晶液,DBC 技術(shù)利用該共晶液一方面與陶瓷基板發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成 CuAlO2 或 CuAl2O4 相,另一方面浸潤(rùn)銅箔實(shí)現(xiàn)陶瓷基板與銅板的結(jié)合;然后根據(jù)線路設(shè)計(jì)菲林貼膜曝光顯影,通過蝕刻方式備制線路基板。陶瓷基板直接敷銅板的工藝過程如圖 1 所示。
圖 1? 陶瓷基板敷銅板工藝流程
由于 AlN 陶瓷對(duì)銅的浸潤(rùn)性能差,所以在敷接前必須對(duì)其表面氧化處理,通常是將 AlN 陶瓷在空氣中加熱氧化,在其表面生成一層致密的氧化鋁,再通過該氧化鋁層實(shí)現(xiàn)銅與 AlN 陶瓷基板的結(jié)合,Al2O3膜厚度決定了敷接質(zhì)量。后續(xù)程序與氧化鋁直接敷銅工藝基本相同,如圖2所示。
什么是直接覆銅(DBC)陶瓷基板?附國(guó)內(nèi)廠商名單
圖 2??AlN陶瓷基板敷銅板工藝
三、DBC 陶瓷基板的性能
DBC 陶瓷基板具有陶瓷的高導(dǎo)熱、高電絕緣、高機(jī)械強(qiáng)度、低膨脹等特性,又兼具無氧銅的高導(dǎo)電性和優(yōu)異焊接性能,且能像PCB線路板一樣刻蝕出各種圖形。
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1、絕緣性能好
使用DBC基板作為芯片的承載體,可有效的將芯片與模塊散熱底板隔離開,DBC基板中間的Al2O3陶瓷層或者AlN陶瓷層可有效提高模塊的絕緣能力(陶瓷層絕緣耐壓>2.5KV)。
2、導(dǎo)熱性能優(yōu)異
DBC基板具有良好的導(dǎo)熱性,熱導(dǎo)率為20-260W/mK,IGBT模塊在運(yùn)行過程中,在芯片表面產(chǎn)生大量的熱量,這些熱量可有效的通過DBC基板傳輸?shù)侥K散熱底板上,再通過底板上的導(dǎo)熱硅脂傳導(dǎo)于散熱器上,完成模塊的整體散熱流動(dòng)。
3、熱膨脹系數(shù)與硅接近
DBC基板膨脹系數(shù)同硅(芯片主要材質(zhì)為硅相近(7.1ppm/K,不會(huì)造成對(duì)芯片的應(yīng)力損傷,DBC基板抗剝力>20N/mm2,具有優(yōu)秀的機(jī)械性能,耐腐蝕,不易發(fā)生形變,可在較寬溫度范圍內(nèi)使用。
4、良好的機(jī)械強(qiáng)度
厚銅箔和高性能陶瓷材料使DBC基板具有良好的機(jī)械強(qiáng)度和可靠性。
5、載流能力強(qiáng)
由于銅導(dǎo)體電性能優(yōu)越,且有將強(qiáng)的載流能力,因此可以實(shí)現(xiàn)高功率容量。
6、像PCB板一樣可以蝕刻各種圖形
三、DBC 陶瓷基板的應(yīng)用
DBC 陶瓷基板的應(yīng)用廣泛,包括大功率白光 LED 模組、紫外/深紫外 LED 器件封裝、激光二極管(LD)、汽車傳感器、制冷型紅外熱成像、5G光通信、高端制冷器、聚焦型光伏(CPV)、微波射頻器件、電子電力器件(IGBT等眾多領(lǐng)域。
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圖? DBC 氧化鋁陶瓷基板,來源:浙江德匯
雖有AMB、DBA等新型陶瓷基板的出現(xiàn),但并不意味著能完全替代DBC,在功率和成本的應(yīng)用場(chǎng)景下,有各自的應(yīng)用場(chǎng)景,DBC仍有很大的市場(chǎng)空間空間。
四、國(guó)內(nèi)DBC陶瓷基板廠商名單
江蘇富樂華半導(dǎo)體科技股份有限公司
浙江精瓷半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
浙江德匯電子陶瓷有限公司
秦皇島盛智電子科技有限公司
淄博市臨淄銀河高技術(shù)開發(fā)有限公司
合肥圣達(dá)電子科技實(shí)業(yè)有限公司
深圳市博敏電子有限公司
比亞迪電子
福建華清電子材料科技有限公司
深圳市百柔新材料技術(shù)有限公司
安徽陶芯科半導(dǎo)體新材料有限公司
河北中瓷電子科技股份有限公司
成都萬士達(dá)瓷業(yè)有限公司
宜賓紅星敏感電器有限公司
南京中江新材料科技有限公司
南通威斯派爾半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
同欣電子工業(yè)股份有限公司
立誠(chéng)光電股份有限公司
謄騏國(guó)際股份有限公司
佳總興業(yè)股份有限公司
珠海漢瓷精密科技有限公司
深圳市金瑞欣特種電路技術(shù)有限公司
深圳金航芯半導(dǎo)體有限公司
河南鴻昌電子有限公司
深圳陶陶科技有限公司
惠州市智駿光電科技有限公司
東莞市簡(jiǎn)創(chuàng)電子科技有限公司
四會(huì)富仕電子科技股份有限公司
廣東榮創(chuàng)(東莞)科技有限公司
合肥邦諾科技有限公司
寧波江豐同芯半導(dǎo)體材料有限公司
西人馬聯(lián)合測(cè)控(泉州)科技有限公司
金冠電氣股份有限公司
深圳思睿辰新材料有限公司
……
幅有限我們這里不做具體的企業(yè)介紹,后期再為大家詳細(xì)介紹。

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作者 gan, lanjie

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