因?yàn)長PCVD沉積膜不具備方向性，因電池片立于石英舟之上，氧化層及本征多晶硅層也同樣會(huì)附著在電池片的側(cè)面及正面，形成包裹，即“繞鍍”現(xiàn)象。
多余的隧穿層、摻雜多晶硅層必須被去除，因此后續(xù)需要引入“去繞鍍”工藝，但LPCVD繞鍍成為痛點(diǎn)的根本原因在于去繞鍍較難控制，影響電池良率。
可能導(dǎo)致去除不完全、或者摻雜多晶硅層遭刻蝕，影響電池效率，LPCVD法制備隧穿氧化層及摻雜多晶硅層，一般在磷摻雜后，再進(jìn)行清洗繞鍍。
a. HF酸單面清洗，去除繞鍍區(qū)域內(nèi)的磷硅玻璃PSG（即正面、側(cè)面）;
b. KOH堿液雙面清洗，去除繞鍍區(qū)域內(nèi)的摻雜多晶硅（即正面、側(cè)面）。背面PSG層起到保護(hù)隧穿氧化層及摻雜多晶硅層作用；
c. HF酸雙面清洗，去除繞鍍區(qū)域內(nèi)的SiO2（即正面、側(cè)面）、背面PSG；
a. 在第2步中，KOH雙面清洗，去除繞鍍區(qū)域多晶硅。
b. 因KOH堿液刻蝕摻雜多晶硅速度604nm/min，大于刻蝕磷硅玻璃PSG的速度，后者為210nm/min。
c. 背面磷硅玻璃PSG能保護(hù)背面摻雜多晶硅層。
d. 但兩者反應(yīng)時(shí)間差很難有效控制，實(shí)際生產(chǎn)中可能導(dǎo)致：摻雜多晶硅層去除不完全，或背面起保護(hù)作用的磷硅玻璃被去除，導(dǎo)致背面摻雜多晶硅層被侵蝕，影響電池效率。
a. 難以實(shí)現(xiàn)大于1020cm-3高活性的摻雜濃度（ND，act）;
② LPCVD原位摻雜中，摻雜濃度與膜的沉積速度是相制約的關(guān)系
a. 根據(jù)Kamins研究，多晶硅層中磷的活性摻雜濃度需達(dá)到1020cm-3，才能實(shí)現(xiàn)較低的復(fù)合電流密度J0、及較低的接觸電阻ρc。
b. 而磷的活性摻雜濃度ND，act與沉積速度成反向關(guān)系，即隨著反應(yīng)溫度升高，膜的沉積速度增大，而磷的活性摻雜濃度降低。
c. 根本原因在于，當(dāng)反應(yīng)溫度越高時(shí)，硅烷SiH4分解速度越快，而PH3從膜表面的解析速度越快，兩者共同作用下，則生成的摻雜層中，磷的活性摻雜濃度ND，act越低。
a. 根據(jù)研究，LPCVD制備摻雜多晶硅層均勻性在+/-40%，遠(yuǎn)不及制備本征非晶硅層的均勻性。
b. LPCVD制備摻雜多晶硅層時(shí)，沉積過程不受晶片表面上化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)的限制，而是受反應(yīng)物向表面?zhèn)鬏數(shù)南拗茣r(shí)，導(dǎo)致膜層均勻性大大下降。
c. 硅片表面的反應(yīng)物濃度差異，導(dǎo)致膜層均勻性問題。
d. 根據(jù)WaqarAhmed，可以通過定制硅片的反應(yīng)艙室去制備摻雜多晶硅層，但該定制化方法完全不能適用于量產(chǎn)。
④ LPCVD一般采用先沉積本征多晶硅層，再通過磷擴(kuò)散或者離子注入的方式，進(jìn)行多晶硅層的磷摻雜。
a. 磷擴(kuò)散的方法是以POCl3為氣源，在700-850℃溫度下實(shí)現(xiàn)分解、形成PSG，再在850-900℃、N2環(huán)境下中，保持30分鐘，完成磷原子擴(kuò)散。
b. 多晶硅層在高溫?cái)U(kuò)散爐中，能同步實(shí)現(xiàn)多晶硅的晶化處理，形成原子的規(guī)則排列，不需要后續(xù)退火工步。
c. 離子注入技術(shù)指真空中一束離子束射向一塊固體材料，受到固體材料的抵抗而速度慢慢減低，并最終停留在固體材料中的現(xiàn)象。
d. 實(shí)際運(yùn)用中，采用等離子輔助法，以PH3為氣源，經(jīng)過電離，實(shí)現(xiàn)P原子注入多晶硅層。
e. 需要加入退火的工藝，進(jìn)行多晶硅的晶化處理。
① LPCVD石英管出現(xiàn)炸裂，需要每15天清洗維護(hù)一次的原因：
a. 因?yàn)樵诘矸e過程中石英管和石英舟都會(huì)淀積上一層薄膜。
b. 隨著工藝生產(chǎn)的增多，這些薄膜越來越厚，當(dāng)其達(dá)到一定厚度時(shí)，便會(huì)出現(xiàn)硅裂現(xiàn)象，從而導(dǎo)致淀積薄膜中出現(xiàn)顆粒物，或使石英管某端出現(xiàn)一定程度的下沉，造成淀積的膜厚出現(xiàn)不均勻現(xiàn)象。
c. 因此，必須定期清洗石英管。通常用兩套石英管和石英舟輪換使用，以縮短維護(hù)時(shí)間。
把反應(yīng)管從設(shè)備上卸下來，采用HF酸或HF酸加HNO3腐蝕，還要用大量去離子水沖洗，然后烘干，過程復(fù)雜。
因?yàn)榉磻?yīng)爐管較長，一般都長達(dá)1.5-2.5米，在清洗或裝卸過程中稍不注意，就易損壞。
根據(jù)拉普拉斯數(shù)據(jù)，石英舟清洗周期為15天，且石英管壽命4-12個(gè)月，現(xiàn)階段需要每年更換爐管2-3次，石英件成本在200萬/GW。
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