? “可用于生產(chǎn)高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關(guān)鍵技術(shù)及應用”獲院士認可，技術(shù)水平“國際領(lǐng)先”！
? 2023年9月6日，中國高科技產(chǎn)業(yè)化研究會和北京高科新創(chuàng)科技評估中心在北京組織召開了“可用于生產(chǎn)高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關(guān)鍵技術(shù)及應用” 產(chǎn)學研合作項目科技成果評價會。會議邀請了來自中國科學院、清華大學、工業(yè)和信息化部政策法規(guī)司、北京有色金屬研究總院、中國環(huán)境監(jiān)測總站、國家科技獎勵辦、中國化工集團等單位專家領(lǐng)導形成評審委員會。
? 專家組認為，該項目針對多晶硅生產(chǎn)用氧化鋁絕緣件存在的力學性能低、抗熱震性能較差、高溫還原性氣氛下絕緣強度不夠、使用壽命短等不足，嚴重影響多晶硅生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的品質(zhì)，開發(fā)出可替代氧化鋁材料的新型氮化硅特種材料制備技術(shù)及絕緣件制品，取得了多項技術(shù)創(chuàng)新，技術(shù)指標先進，市場占有率達到70%。
? 會上，李亞東院士鼓勵企業(yè)，技術(shù)研發(fā)要尊重科學，尊重創(chuàng)新歷史，摒棄概念，用科學數(shù)據(jù)嚴謹支撐技術(shù)創(chuàng)新鏈條，系統(tǒng)化對比國際同類技術(shù)，深度挖掘凝練差異化創(chuàng)新，精準呈現(xiàn)技術(shù)領(lǐng)先性，提高獎項、課題等申報效率?！靖呖菩聞?chuàng)信息中心】
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