
聚焦環(huán)是芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵耗材,傳統(tǒng)的聚焦環(huán)由硅或石英制成,隨著集成電路微型化推進(jìn),集成電路制造對(duì)于刻蝕工藝的需求量、重要性不斷增加,刻蝕用等離子體功率、能量持續(xù)提高,尤其是電容耦合(CCP)等離子體刻蝕設(shè)備中所需等離子體能量更高,因此碳化硅材料制備的聚焦環(huán)使用率越來越高。

圖 聚焦環(huán)材料的發(fā)展,來源:TCK

圖? 碳化硅聚焦環(huán)制備工藝,來源TCK



推薦活動(dòng):【邀請(qǐng)函】2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇(2024年4月12日·泉州)
The ?Semiconductor Ceramics Industry?Forum
福建省泉州市晉江市濱江路999號(hào)
序號(hào) |
暫定議題 |
擬邀請(qǐng)企業(yè) |
1 |
半導(dǎo)體設(shè)備及陶瓷零部件的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì) |
擬邀請(qǐng)?zhí)沾闪悴考髽I(yè)/高校研究所 |
2 |
半導(dǎo)體用高超精密陶瓷部件研制與應(yīng)用 |
擬邀請(qǐng)?zhí)沾闪悴考髽I(yè)/高校研究所 |
3 |
半導(dǎo)體引線鍵合用陶瓷劈刀制備技術(shù) |
擬邀請(qǐng)劈刀企業(yè)/高校研究所 |
4 |
大功率電力電子器件用陶瓷封裝基板的研究進(jìn)展 |
擬邀請(qǐng)?zhí)沾苫迤髽I(yè)/高校研究所 |
5 |
第三代功率半導(dǎo)體封裝用AMB陶瓷覆銅基板 |
擬邀請(qǐng)AMB企業(yè)/高校研究所 |
6 |
多孔陶瓷的研究進(jìn)展及在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用 |
擬邀請(qǐng)多孔陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
7 |
LTCC技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓探針卡中的應(yīng)用 |
擬邀請(qǐng)?zhí)结樋ㄆ髽I(yè)/高校研究所 |
8 |
CVD用絕緣高導(dǎo)熱氮化鋁陶瓷加熱器的研發(fā) |
擬邀請(qǐng)?zhí)沾杉訜岜P企業(yè)/高校研究所 |
9 |
耐等離子腐蝕的氧化釔陶瓷的開發(fā)與應(yīng)用 |
擬邀請(qǐng)氧化釔陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
10 |
高強(qiáng)度高耐磨的氮化硅陶瓷材料的開發(fā) |
擬邀請(qǐng)氮化硅陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
11 |
碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件在集成電路制造關(guān)鍵裝備中的應(yīng)用 |
擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所 |
12 |
半導(dǎo)體裝備用陶瓷靜電卡盤關(guān)鍵技術(shù) |
擬邀請(qǐng)靜電卡盤企業(yè)/高校研究所 |
13 |
高純氧化鋁陶瓷制備工藝及其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用 |
擬邀請(qǐng)氧化鋁陶瓷企業(yè)/高校研究所 |
14 |
真空釬焊設(shè)備在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用 |
擬邀請(qǐng)真空釬焊企業(yè)/高校研究所 |
15 |
高精度復(fù)雜形狀碳化硅陶瓷制備工藝研究 |
擬邀請(qǐng)?zhí)蓟杼沾善髽I(yè)/高校研究所 |
16 |
半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷的成型工藝技術(shù) |
擬邀請(qǐng)成型設(shè)備企業(yè)/高校研究所 |
17 |
高強(qiáng)度氮化硅粉體制備工藝技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化 |
擬邀請(qǐng)氮化硅粉體企業(yè)/高校研究所 |
18 |
高性能氮化鋁粉體連續(xù)式生產(chǎn)關(guān)鍵工藝技術(shù) |
擬邀請(qǐng)氮化鋁粉體企業(yè)/高校研究所 |
19 |
覆銅陶瓷基板的失效機(jī)理分析及可靠性設(shè)計(jì) |
擬邀請(qǐng)?zhí)沾苫迤髽I(yè)/高校研究所 |
20 |
特種陶瓷高溫?zé)Y(jié)工藝技術(shù) |
擬邀請(qǐng)熱工裝備企業(yè)/高校研究所 |
21 |
半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷零部件表面處理技術(shù) |
擬邀請(qǐng)表面處理/陶瓷零部件企業(yè) |

原文始發(fā)于微信公眾號(hào)(艾邦陶瓷展):16家碳化硅聚焦環(huán)相關(guān)廠商介紹
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