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HEXCERA?基板小課堂(第五期):基板疲勞失效&臺(tái)階設(shè)計(jì)

基板疲勞失效&臺(tái)階設(shè)計(jì)

 

隨著對(duì)功率密度要求的不斷提高,電力電子模塊正朝著小型化和高度集成的方向發(fā)展。這一趨勢(shì)導(dǎo)致了功率器件工作溫度的顯著上升,其中,作為襯底的覆銅陶瓷基板的疲勞壽命成為影響整個(gè)器件壽命的關(guān)鍵因素。

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基板疲勞失效機(jī)理
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覆銅陶瓷基板在制造和使用過(guò)程中,會(huì)遭受熱機(jī)械疲勞的影響。這種疲勞主要是由于基板材料的熱膨脹系數(shù)(CTE)不匹配所導(dǎo)致。其主要失效模式表現(xiàn)為陶瓷層的開(kāi)裂和銅-瓷界面的分層,其根本原因在于陶瓷材料的固有缺陷以及制造過(guò)程中產(chǎn)生的界面空洞。

例如,使用氧化鋁陶瓷的DCB基板,銅(CTE=16.5ppm/K)和氧化鋁(6.8ppm/K≤CTE≤9ppm/K)之間的CTE差異,在溫度循環(huán)和功率循環(huán)下,會(huì)導(dǎo)致陶瓷與銅之間的熱應(yīng)力累積,進(jìn)而引發(fā)疲勞失效。

根據(jù)Hexcera?的經(jīng)驗(yàn)和實(shí)際SAM圖像及仿真分析,基板的疲勞失效通常從銅圖形的邊緣開(kāi)始。0

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Hexcera?臺(tái)階設(shè)計(jì)解決方案
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為了延長(zhǎng)基板的疲勞壽命,傳統(tǒng)的做法是減少銅層厚度或在非圖形面上進(jìn)行Dimple設(shè)計(jì),但這些方法要么影響基板的載流能力,要么對(duì)提升基板可靠性的效果有限。Hexcera?提出了一種創(chuàng)新的臺(tái)階設(shè)計(jì)解決方案,該方案通過(guò)將邊緣銅層刻蝕成階梯狀來(lái)分散應(yīng)力,具有以下優(yōu)勢(shì):亮點(diǎn)1:一次蝕刻成型,工藝操作簡(jiǎn)單,圖形位置精度高,滿足多種封裝設(shè)計(jì)需求。亮點(diǎn)2:可根據(jù)需求定制臺(tái)階的高度和寬度,將等效塑性變形降至最低,顯著提升產(chǎn)品疲勞壽命。

亮點(diǎn)3:通過(guò)控制臺(tái)階寬度和邊距/間距來(lái)分散應(yīng)力,改善基板翹曲問(wèn)題。

值得一提的是,Hexcera?的特殊工藝可以在一次刻蝕中完成圖形區(qū)域和臺(tái)階區(qū)域的制作,與傳統(tǒng)的二次掩膜工藝相比,不僅簡(jiǎn)化了流程,降低了成本,還避免了線路精度下降的問(wèn)題。

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上圖為:焊料蝕刻前

總之,覆銅陶瓷基板的疲勞失效主要是由銅瓷CTE差異引起的累積塑性載荷所致。Hexcera?提供的臺(tái)階設(shè)計(jì)解決方案,以低成本、高效率和多樣化的定制手段,有效延長(zhǎng)了基板的疲勞壽命。歡迎關(guān)注我們的公眾號(hào),了解更多信息!HEXCERA?基板小課堂,期待與您下期再會(huì)。

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作者 gan, lanjie

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