2024 年 12 月 10 日，日本特殊陶業(yè)株式會社（Niterra）的全資子公司株式會社NTK CERATEC（NTK CERATEC CO., LTD.）在宮城縣富谷市舉行了新工廠奠基儀式。該工廠將生產(chǎn)靜電吸盤和結(jié)構(gòu)陶瓷產(chǎn)品，以滿足對半導(dǎo)體不斷增長的需求，計劃于 2026 財年開始運(yùn)營。
靜電卡盤是一種利用靜電吸附原理夾持固定被吸附物的夾具，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體核心制程中，是離子注入、刻蝕、氣相沉積等關(guān)鍵制程的核心零部件之一。
NTK 在精密陶瓷領(lǐng)域具有豐富的經(jīng)驗(yàn)，具備從材料開發(fā)到精加工的一體化工藝，主營業(yè)務(wù)包括半導(dǎo)體/液晶用的零部件、真空卡盤、靜電卡盤/加熱器、耐損耗零部件、耐高溫零部件、制造和銷售的各種精細(xì)陶瓷制品等精密機(jī)械零件。
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