2月6日，武漢蛇年新春“第一會”——全市科技創(chuàng)新大會舉行。大會發(fā)布了2024武漢市十大科技創(chuàng)新產(chǎn)品，芯陶科技靜電卡盤入選。
靜電卡盤是芯片制造過程中系列關(guān)鍵設(shè)備的核心部件，國產(chǎn)靜電卡盤關(guān)乎芯片產(chǎn)業(yè)鏈安全穩(wěn)定。湖北芯陶科技有限公司攻克了靜電卡盤用高純超細氧化鋁粉體、有序相多孔陶瓷、貼合膠等核心原料以及靜電卡盤脫泡、燒結(jié)、涂布等關(guān)鍵工藝技術(shù)，研發(fā)了多款難度極高的芯片制造用靜電卡盤，打破了國外壟斷，實現(xiàn)芯片制造用靜電卡盤自主可控。
來源：武漢經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)
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