4月20日，“AI寧波”首屆人工智能賦能產(chǎn)業(yè)大賽頒獎(jiǎng)典禮順利舉行。沈陽(yáng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院全資子公司盛科創(chuàng)投投資企業(yè)中科金瓷（寧波）新材料技術(shù)有限公司“半導(dǎo)體制程核心陶瓷零部件國(guó)產(chǎn)化項(xiàng)目”榮獲一等獎(jiǎng)。
中科金瓷成立于2023年4月，公司專注于晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等半導(dǎo)體制程陶瓷新材料及相關(guān)元器件的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，具有從原材料合成與處理、粉料制作、精密成型、燒結(jié)、精密和超高精度加工及功能化處理等特種陶瓷和陶瓷基電子元器件全流程技術(shù)與制造能力。2024年10月，盛科創(chuàng)投聯(lián)合其他社會(huì)資本完成對(duì)「中科金瓷」數(shù)千萬(wàn)元PreA輪增資。
陶瓷材料在強(qiáng)度、精度、電學(xué)性能和耐腐蝕性等方面的優(yōu)異表現(xiàn)，能滿足真空、高溫等特殊環(huán)境下的半導(dǎo)體制造復(fù)雜性能要求，是半導(dǎo)體制程中多道工藝設(shè)備的重要部件。精密陶瓷零部件廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、CMP等多個(gè)半導(dǎo)體制造關(guān)鍵流程的核心設(shè)備中，如軸承、導(dǎo)軌、內(nèi)襯。靜電吸盤、機(jī)械搬運(yùn)臂等，尤其是在設(shè)備腔體內(nèi)部，發(fā)揮支撐、保護(hù)、導(dǎo)流等功能。在半導(dǎo)體設(shè)備中，精密陶瓷的價(jià)值約占16%左右。中國(guó)在半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)和制造鏈條中起步較晚，積累相對(duì)薄弱，精密結(jié)構(gòu)陶瓷受進(jìn)口壟斷，2015年結(jié)構(gòu)陶瓷國(guó)產(chǎn)化率僅約為5%，2021年提高至約20%，但半導(dǎo)體設(shè)備用結(jié)構(gòu)陶瓷零部件國(guó)產(chǎn)化率仍較低。
中科金瓷緊抓高端產(chǎn)品“國(guó)產(chǎn)替代”和核心技術(shù)“自主可控”的戰(zhàn)略機(jī)遇，致力于建成為半導(dǎo)體制程精密陶瓷材料與部件領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新型企業(yè)。目前公司主要產(chǎn)品包括各類陶瓷結(jié)構(gòu)件、以及晶圓靜電吸盤、陶瓷加熱盤等精密陶瓷零部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程設(shè)備、光伏新能源等多個(gè)細(xì)分領(lǐng)域，目前多款國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備廠驗(yàn)證階段。
來(lái)源：沈陽(yáng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院
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