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2025年4月23日,三菱綜合材料株式會(huì)社(Mitsubishi Materials Corporation)成功開發(fā)出兼具高導(dǎo)熱性、低熱膨脹性及優(yōu)異加工性能的金屬-陶瓷復(fù)合材料。

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圖1:新開發(fā)的金屬-陶瓷復(fù)合材料的工件外觀示例
(左:圓柱材料車床加工,右:板材鉆孔加工)

隨著xEV等應(yīng)用場景中半導(dǎo)體器件功率密度持續(xù)提升,發(fā)熱量顯著增加;同時(shí)半導(dǎo)體制造設(shè)備對(duì)精密溫控的要求也日益嚴(yán)格。這些趨勢(shì)使得半導(dǎo)體封裝周邊部件及制造設(shè)備零件需要比傳統(tǒng)方案更先進(jìn)的熱管理能力。為滿足這一需求,兼具金屬高導(dǎo)熱率與陶瓷優(yōu)異機(jī)械特性的金屬-陶瓷復(fù)合材料成為行業(yè)焦點(diǎn)。

其中,由鋁(金屬)與碳化硅(陶瓷)構(gòu)成的鋁碳化硅(簡稱"Al-SiC")材料因其高導(dǎo)熱率和低熱膨脹系數(shù)被廣泛應(yīng)用于關(guān)鍵部件。但受限于現(xiàn)有制造工藝,該材料始終難以平衡各項(xiàng)性能指標(biāo)。當(dāng)前Al-SiC主要采用熔滲法或鑄造法生產(chǎn):熔滲法因需使鋁完全浸透碳化硅骨架,僅能制造薄板等簡單形狀制品,且以碳化硅為主的成分雖實(shí)現(xiàn)低熱膨脹,卻導(dǎo)致導(dǎo)熱率不足及加工困難;鑄造法則面臨碳化硅分散不均的難題,若要顯著降低熱膨脹系數(shù)則需大量添加碳化硅,反而會(huì)犧牲材料導(dǎo)熱性能。

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圖2:新開發(fā)的Al-SiC組織結(jié)構(gòu)示意圖(與以往產(chǎn)品的比較)

基于此,三菱材料充分發(fā)揮其粉末冶金技術(shù)優(yōu)勢(shì),通過精密控制材料微觀組織,成功開發(fā)出同時(shí)實(shí)現(xiàn)高導(dǎo)熱、低熱膨脹與優(yōu)異加工性的新型金屬-陶瓷復(fù)合材料。該材料的創(chuàng)新之處在于設(shè)計(jì)了金屬基體三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)——陶瓷顆粒在復(fù)合材料中不會(huì)阻斷金屬基體的連續(xù)性。以新開發(fā)的Al-SiC為例,其在保持高于鋁合金導(dǎo)熱率的同時(shí),實(shí)現(xiàn)了極低的熱膨脹系數(shù)。由于碳化硅陶瓷含量較低,其加工性能接近純鋁,可采用常規(guī)金屬加工工藝。更重要的是,該技術(shù)平臺(tái)不僅限于Al-SiC組合,通過調(diào)整金屬/陶瓷種類及配比,可靈活滿足各類熱管理部件對(duì)材料特性的差異化需求。

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圖3:開發(fā)的金屬-陶瓷復(fù)合材料(Al-SiC)的特性(與以往產(chǎn)品的比較)

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作者 gan, lanjie

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