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陶瓷封裝外殼的主要生產(chǎn)材料及設(shè)備

陶瓷封裝外殼具備高氣密性,高導(dǎo)熱,高強(qiáng)度,與芯片材料適配的熱膨脹系數(shù)等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用在航空航天、軍事裝備、地面雷達(dá)、光通信、醫(yī)療器械和傳感器等有高可靠性需求的諸多行業(yè)。根據(jù) Semiconductor Insight 最新報(bào)告數(shù)據(jù),2022年全球陶瓷封裝市場(chǎng)價(jià)值為29.223億美元,預(yù)計(jì)到2029年將達(dá)到41.582億美元,復(fù)合年增長(zhǎng)率為5.2%。

陶瓷封裝外殼的主要生產(chǎn)材料及設(shè)備

圖??陶瓷四邊無(wú)引線封裝外殼(CQFN),攝于航科創(chuàng)星展臺(tái)

陶瓷封裝外殼主要包括具有窗口和支撐件結(jié)構(gòu)的外殼圍框、陶瓷饋通組件、蓋板、散熱底板,如圖1所示。蓋板設(shè)于外殼圍框頂部,將外殼圍框上部開(kāi)口封閉;外殼圍框側(cè)墻上開(kāi)設(shè)有多個(gè)窗口,在窗口內(nèi)裝載有陶瓷件,陶瓷件位于外殼圍框外側(cè)的一端設(shè)有焊接區(qū),焊接區(qū)連接有引線,陶瓷件位于外殼圍框內(nèi)側(cè)的一端設(shè)有可供內(nèi)部封裝芯片和外部電路鍵合的鍵合區(qū),焊接區(qū)與鍵合區(qū)電連接;散熱底板位于外殼圍框底部;零部件通過(guò)預(yù)制成型焊片焊接組裝在一起。部分陶瓷封裝管殼產(chǎn)品例如紅外探測(cè)器封裝外殼、光通信封裝外殼等設(shè)置光窗。

陶瓷封裝外殼的主要生產(chǎn)材料及設(shè)備

圖1 非制冷型紅外探測(cè)器封殼結(jié)構(gòu)示意圖,來(lái)源:中航天成

如圖2所示,多層陶瓷封裝外殼制造技術(shù)包括原材料制備、流延、沖孔沖腔、金屬化印刷、層壓、熱切、燒結(jié)、鍍鎳、釬焊、鍍金等技術(shù);光通信用陶瓷封裝外殼還會(huì)焊光窗。其封裝過(guò)程涵蓋外殼清洗、裝片、清洗、引線鍵合、封蓋、外引線處理、打標(biāo)、檢測(cè)等。

陶瓷封裝外殼的主要生產(chǎn)材料及設(shè)備圖2??陶瓷封裝管殼工藝流程

所涉及的原材料及耗材主要包括:

  • 陶瓷材料:氧化鋁、氮化鋁、莫來(lái)石等材料;
  • 匹配的金屬化漿料:鎢漿、鉬錳漿料等;
  • 金屬零部件(圍框、蓋板等):可伐合金(鐵鎳鈷合金)、鐵鎳合金等;
  • 接合材料:預(yù)制成型焊片(AgCu、金錫)、B-stage 粘接劑;
  • 封殼散熱底板采用CPC、CMC、鎢銅、鉬銅等高散熱材料,熱導(dǎo)率最高260W/m.K。若采用銅金剛石(Cu-Dia)材料,其熱導(dǎo)率可達(dá)580W/m.K;
  • 光窗:硅、鍺、硒化鋅、藍(lán)寶石等材料;
  • 耗材:氰化亞金鉀電鍍液、添加劑、膜帶、耐火材料等。
所涉及的設(shè)備及配件主要包括:
多層陶瓷制造需要的:粉體研磨分散設(shè)備、砂磨機(jī)、球磨機(jī)、三輥研磨機(jī)、攪拌機(jī)、脫泡機(jī)、流延機(jī)、貼膜機(jī)、機(jī)械打孔機(jī)/激光打孔機(jī)、填孔機(jī)、整平機(jī)、印刷機(jī)、網(wǎng)版、疊片機(jī)、層壓機(jī)、熱切機(jī)、排膠燒結(jié)設(shè)備、釬焊設(shè)備、治具電鍍?cè)O(shè)備、化學(xué)鍍?cè)O(shè)備、清洗設(shè)備、激光粒度儀、AOI檢測(cè)設(shè)備、測(cè)厚儀等;
封裝工藝需要的:清洗設(shè)備、貼片機(jī)、引線鍵合機(jī)、封蓋機(jī)、平行縫焊機(jī)、等溫封裝設(shè)備、切筋機(jī)、打標(biāo)機(jī)、外觀檢測(cè)、膜厚測(cè)試儀、氦氣檢漏儀、性能檢測(cè)設(shè)備、飛針測(cè)試設(shè)備、功率循環(huán)測(cè)試設(shè)備、老化設(shè)備等。
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推薦活動(dòng):【邀請(qǐng)函】第七屆陶瓷封裝管殼產(chǎn)業(yè)論壇(11月30日 蘇州)
第七屆陶瓷封裝管殼產(chǎn)業(yè)論壇
The?7th Ceramic Packages?Industry Forum
2023年11月30日
蘇州匯融廣場(chǎng)假日酒店
(虎丘區(qū)城際路21號(hào) 近高鐵蘇州新區(qū)站)
01

暫定議題

號(hào)

暫定議

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1

半導(dǎo)體陶瓷封裝外殼仿真設(shè)計(jì)

擬邀請(qǐng)仿真設(shè)計(jì)專(zhuān)家

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擬邀請(qǐng)?zhí)沾煞庋b企業(yè)

3

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擬邀請(qǐng)光通信企業(yè)

4

多層陶瓷封裝外殼的生產(chǎn)工藝和可靠性設(shè)計(jì)

擬邀請(qǐng)?zhí)沾煞庋b企業(yè)

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多層陶瓷高溫共燒關(guān)鍵技術(shù)介紹

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作者 gan, lanjie

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