近日,化合積電聯(lián)手北京科技大學(xué)、中國科學(xué)院電工研究所、西安交通大學(xué)發(fā)表的學(xué)術(shù)論文“Enhancing interfacial heat conduction in diamond-reinforced copper composites with boron carbide interlayers for thermal management”,在材料領(lǐng)域國際知名期刊Composites Part B: Engineering上發(fā)表,該期刊由英國Elsevier Ltd出版,具有很高的學(xué)術(shù)影響力和認(rèn)可度。

 

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
 

作者:北京科技大學(xué)崔帥,北京科技大學(xué)孫方遠(yuǎn)教授、中國科學(xué)院電工研究所王大正博士和化合積電聯(lián)合創(chuàng)始人/CEO張星等

 

 

該研究使用化合積電制備的<001>取向、尺寸為10mm×10mm×1mm的高導(dǎo)熱性單晶金剛石基板作為基底,通過引入碳化物修飾層有效地將金剛石顆粒與銅基體連接,改善界面結(jié)合,顯著增強(qiáng)界面熱傳導(dǎo),提高了金剛石和銅襯底的界面熱導(dǎo)。該研究突破了界面優(yōu)化對多層材料熱性能影響研究較為空白的現(xiàn)狀,為增強(qiáng)納米尺度界面上熱交換提供了更深入的理論基礎(chǔ),對未來制造銅/碳化硼/金剛石多層材料實(shí)際應(yīng)用提供了可參考建議。

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化合積電采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)的方式生長單晶金剛石,為該研究打下良好基礎(chǔ)。長期以來,公司始終秉持開放合作理念,和國內(nèi)外眾多知名高校及頂尖實(shí)驗(yàn)室建立了緊密合作,通過資源共享、優(yōu)勢互補(bǔ),與合作伙伴們共同攻克了一系列技術(shù)難關(guān),加速了金剛石半導(dǎo)體材料從實(shí)驗(yàn)室走向產(chǎn)業(yè)化的步伐。

 

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
海外部分合作高校及實(shí)驗(yàn)室

 

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
國內(nèi)部分合作高校

 

 

 

定制化單晶金剛石

滿足多領(lǐng)域科研需求

 

Appliacation

 

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
 

單晶金剛石(熱學(xué)級、光學(xué)級、電子級)是化合積電的核心產(chǎn)品之一,具有所有材料中最好的導(dǎo)熱性(高達(dá)2200W/m.k)以及高硬度、高化學(xué)穩(wěn)定性、高光學(xué)透過性、極寬的禁帶寬度、負(fù)的電子親合性、高絕緣性和良好的生物兼容性等優(yōu)異性能,在超精密加工、半導(dǎo)體、航天航空、核能源等高新技術(shù)領(lǐng)域擁有廣泛應(yīng)用發(fā)展前景,成為了多領(lǐng)域科研前沿的熱門研究材料。

 

化合積電采用MPCVD生長方式制備高品質(zhì)單晶金剛石,提供定制化尺寸、粗糙度、晶向、摻雜等定制化服務(wù),為不同領(lǐng)域科研探索關(guān)鍵技術(shù)支撐。

 

序號

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)

1
尺寸
10*10mm,15*15mm,1寸等,可定制
2
厚度
50um-2mm;可定制
3
晶向
(100)/(110 )/(111)
3
表面粗糙度
Ra<1nm;Ra<30nm
4
氮含量
N <50ppb
5
硼含量
輕摻:1015?~1017
重?fù)剑?018?~1020
6
平面度TTV
<10um
7
光學(xué)透過率
>70??%
 

 

 

高品質(zhì)單晶金剛石

“硬核指標(biāo)”新突破

 

Parameters

 

單晶金剛石晶體質(zhì)量

 

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
化合積電的電子級單晶金剛石產(chǎn)品的拉曼特征峰FWHM低至2.1cm-1,XRD搖擺曲線半高寬低至31.6arcsec。

 

 

單晶金剛石位錯密度與氮含量

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
X射線衍射形貌術(shù)(XRT)檢測下化合積電的電子級單晶金剛石產(chǎn)品的位錯密度<103/cm,達(dá)到了電子級單晶的位錯密度水平。

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順磁共振(EPR檢測下化合積電的電子級單晶金剛石產(chǎn)品氮含量<50ppb

 

 

表面粗糙度

 

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
AFM原子力檢測和白光干涉儀進(jìn)行表面粗糙度檢測,Ra<1nm。

 

 

厚度

 

應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題
化合積電單晶金剛石最薄厚度能夠達(dá)到0.05mm。

 

 

 

化合積電核心產(chǎn)品除了高品質(zhì)單晶以外,還有多晶金剛石(晶圓級金剛石、金剛石熱沉片、金剛石窗口片、金剛石基異質(zhì)集成復(fù)合襯底)和氮化鋁薄膜(金剛石基氮化鋁、硅基氮化鋁和藍(lán)寶石基氮化鋁)等,并可根據(jù)客戶要求提供定制化服務(wù)。

 

自創(chuàng)立以來,公司同多所海內(nèi)外高校及頂尖實(shí)驗(yàn)室建立了戰(zhàn)略聯(lián)盟開展深度合作,堅(jiān)持以市場為導(dǎo)向、“產(chǎn)、學(xué)、研、用”四位一體,積極整合優(yōu)勢資源,為金剛石科研前沿貢獻(xiàn)力量。

 

 

 

 

 

 

 

原文始發(fā)于微信公眾號(化合積電):應(yīng)用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導(dǎo)難題

隨著電子設(shè)備朝著小型化、高功率密度、多功能化等方向發(fā)展,電子產(chǎn)品的迭代升級對于導(dǎo)熱散熱材料的性能提出更高的要求。過去僅依靠單一材料的散熱方案已逐漸無法滿足其高效率的散熱需求,新型材料+組合化、多元式的散熱材料方案逐漸成為市場主流。艾邦建有散熱材料交流群,歡迎掃碼加入:

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作者 gan, lanjie

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