中科金瓷完成數(shù)千萬(wàn)元PreA輪增資，加快半導(dǎo)體陶瓷零部件研發(fā)量產(chǎn)

創(chuàng)始人劉智謀博士畢業(yè)于中國(guó)科學(xué)院金屬研究所高性能陶瓷部，具備十余年的先進(jìn)陶瓷材料的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。公司成立一年多，已經(jīng)匯集了六十余名員工，公司多個(gè)核心團(tuán)隊(duì)成員擁有20余年的陶瓷行業(yè)量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，團(tuán)隊(duì)成員涵蓋了陶瓷設(shè)計(jì)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、精密加工、生產(chǎn)管理、銷(xiāo)售等多個(gè)領(lǐng)域資深人才。

公司緊抓高端產(chǎn)品“國(guó)產(chǎn)替代”和核心技術(shù)“自主可控”的戰(zhàn)略機(jī)遇，致力于將「中科金瓷」建成為半導(dǎo)體制程精密陶瓷材料與部件領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新型企業(yè)。

目前公司主要產(chǎn)品包括各類(lèi)陶瓷結(jié)構(gòu)件、以及晶圓靜電吸盤(pán)、陶瓷加熱盤(pán)等精密陶瓷零部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制程設(shè)備、光伏新能源等多個(gè)細(xì)分領(lǐng)域，目前多款國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備廠驗(yàn)證階段。

公司主要產(chǎn)品

陶瓷材料在強(qiáng)度、精度、電學(xué)性能和耐腐蝕性等方面的優(yōu)異表現(xiàn)，能滿(mǎn)足真空、高溫等特殊環(huán)境下的半導(dǎo)體制造復(fù)雜性能要求，是半導(dǎo)體制程中多道工藝設(shè)備的重要部件。精密陶瓷零部件廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、CMP等多個(gè)半導(dǎo)體制造關(guān)鍵流程的核心設(shè)備中，如軸承、導(dǎo)軌、內(nèi)襯。

靜電吸盤(pán)、機(jī)械搬運(yùn)臂等，尤其是在設(shè)備腔體內(nèi)部，發(fā)揮支撐、保護(hù)、導(dǎo)流等功能。在半導(dǎo)體設(shè)備中，精密陶瓷的價(jià)值約占16%左右。

靜電吸盤(pán)是一種針對(duì)半導(dǎo)體制程中精密硅片的新型夾持器件。傳統(tǒng)的晶圓夾持方法受眾多真空制程限制，例如機(jī)械夾持容易造成盤(pán)片損傷、降低產(chǎn)品良率，而真空吸附在真空等環(huán)境失效，不能滿(mǎn)足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)需求。

靜電吸盤(pán)主要原理是在絕緣介質(zhì)兩個(gè)極板間施加電壓形成靜電場(chǎng)，當(dāng)物體靠近極板時(shí)由于靜電感應(yīng)而在物體表面感生與電極表面極性相反的電荷，從而因靜電吸力而被吸盤(pán)吸附。

靜電吸盤(pán)按吸附原理分為庫(kù)倫型和J/R（瓊斯背熱）型。庫(kù)倫型吸盤(pán)吸附力偏小，但對(duì)靜電吸盤(pán)的微小缺陷不太敏感，并且可以工作在常溫環(huán)境，實(shí)現(xiàn)起來(lái)較為容易，J-R吸盤(pán)吸附力大，但需要對(duì)吸盤(pán)進(jìn)行加熱，對(duì)吸盤(pán)的整體設(shè)計(jì)要求高。

典型的靜電吸盤(pán)結(jié)構(gòu)一般是類(lèi)三明治結(jié)構(gòu)，主要分為陶瓷電介質(zhì)層、電極層、基底層。在夾持硅片的過(guò)程中，直流電壓加持在電極上，形成電極與硅片之間的電極差，硅片則通過(guò)靜電吸附力被夾持在靜電吸盤(pán)上。

靜電吸盤(pán)結(jié)構(gòu)?圖片來(lái)源：Shinko官網(wǎng)

加熱盤(pán)為半導(dǎo)體制程中的加熱載體，可實(shí)現(xiàn)均勻溫度分布，對(duì)晶圓均勻加熱，使襯底表面上進(jìn)行高精度的反應(yīng)。靜電吸盤(pán)和加熱盤(pán)原理和結(jié)構(gòu)類(lèi)似，均屬于功能+結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。

靜電吸盤(pán)及加熱盤(pán)制造工藝中最為重要的是與晶圓直接接觸的陶瓷電介質(zhì)層，主要分為氧化鋁陶瓷和氮化鋁陶瓷兩大類(lèi)，晶圓直接與陶瓷層接觸并被吸附，需要高導(dǎo)熱率、高耐磨性、良好電性能等綜合性能要求。

此外靜電吸盤(pán)、加熱盤(pán)的吸附均勻性和溫度均勻性是影響工序結(jié)果和晶圓健康的重要因素。

靜電吸盤(pán)吸附力與陶瓷的材料性能密切相關(guān)，靜電力與介電常數(shù)正相關(guān)，所以在陶瓷材料生產(chǎn)過(guò)程中需要通過(guò)材料及配方的設(shè)計(jì)及燒結(jié)工藝的優(yōu)化，對(duì)陶瓷材料進(jìn)行電性能調(diào)控。

吸附均勻性與陶瓷層及電極層加工精度等密切相關(guān)，電介質(zhì)層厚度、掩膜與界面空隙、浮點(diǎn)的高度和平整度均會(huì)對(duì)吸附均勻性有很大的影響。例如J-R靜電力需要靜電吸盤(pán)與晶圓互相緊密接觸，吸附力隨著空隙增大會(huì)迅速下降，超過(guò)30nm會(huì)降至0，因此電介質(zhì)與晶圓間距以及陶瓷表面粗糙度至關(guān)重要。

靜電力與電介質(zhì)與晶圓間距關(guān)系

溫度均勻性通過(guò)加熱電極設(shè)計(jì)以及基底的He氣氣道、水道等導(dǎo)熱系統(tǒng)進(jìn)行控制。制程中產(chǎn)生的熱量可以通過(guò)通入He氣來(lái)使晶圓降溫，加熱電極和循環(huán)冷卻水的同時(shí)作用，使晶圓可以保持在一個(gè)穩(wěn)定的溫度，避免采用單一的冷卻循環(huán)水，使制程過(guò)程中產(chǎn)生的熱量無(wú)法計(jì)算，影響工藝的穩(wěn)定性。

伴隨著全球及中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的不斷擴(kuò)增，泛半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)精密陶瓷市場(chǎng)規(guī)模逐步增長(zhǎng)。根據(jù)弗若斯特沙利文數(shù)據(jù)顯示，預(yù)計(jì)到2026年全球泛半導(dǎo)體先進(jìn)結(jié)構(gòu)陶瓷市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到514億元，中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到125億元。受益于半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的增長(zhǎng)，靜電吸盤(pán)及加熱盤(pán)市場(chǎng)規(guī)模逐步擴(kuò)大，預(yù)計(jì)2028年靜電吸盤(pán)中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)5.24億美元，加熱器中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到1.72億美元。

精密陶瓷技術(shù)研發(fā)難度大、海外廠商起步早，靜電吸盤(pán)加熱盤(pán)等精密陶瓷零部件市場(chǎng)長(zhǎng)期被美國(guó)Applied Materials、Lam Research，日本SHINKO（新光電氣）、Kyocera、NGK等廠商占據(jù)，全球半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷廠商高度集中，日、美、歐占據(jù)90%的市場(chǎng)份額。

中國(guó)在半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)和制造鏈條中起步較晚，積累相對(duì)薄弱，精密結(jié)構(gòu)陶瓷受進(jìn)口壟斷，2015年結(jié)構(gòu)陶瓷國(guó)產(chǎn)化率僅約為5%，2021年提高至約20%，但半導(dǎo)體設(shè)備用結(jié)構(gòu)陶瓷零部件國(guó)產(chǎn)化率仍較低。

在陶瓷零部件制備方面，公司突破了國(guó)產(chǎn)精密陶瓷發(fā)展受高純粉體原材料缺乏、高效工藝制程以及超精密加工能力不足的限制，具備通過(guò)粉體預(yù)處理和添加摻雜，燒結(jié)助劑，調(diào)阻劑等配方調(diào)配的性能調(diào)控能力，公司產(chǎn)品陶瓷體積電阻率可以達(dá)到E^8-10^11Ω*cm，依靠以流延成型、高溫共燒等成型燒結(jié)技術(shù)，保證產(chǎn)品優(yōu)異性能的同時(shí)產(chǎn)品幾乎沒(méi)有明顯的變形；建立了大尺寸平面陶瓷超高精度加工能力，陶瓷表面凸起點(diǎn)的高度小于30μm、且12寸區(qū)域內(nèi)每個(gè)凸起點(diǎn)高度差1%以?xún)?nèi)。真正掌握了從粉體制備、粉體處理、成形、燒結(jié)、機(jī)加工及檢測(cè)各環(huán)節(jié)系統(tǒng)調(diào)控的核心技術(shù)與能力。

在下游應(yīng)用領(lǐng)域，公司業(yè)務(wù)聚焦在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，專(zhuān)注于國(guó)產(chǎn)化替代和產(chǎn)品創(chuàng)新：國(guó)產(chǎn)化替代方面，公司主要解決半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷零部件國(guó)外壟斷問(wèn)題，在產(chǎn)品創(chuàng)新方面，公司通過(guò)從粉體調(diào)配到高精機(jī)加工全流程設(shè)計(jì)與優(yōu)化，以核心技術(shù)賦能陶瓷配方與工藝創(chuàng)新。公司多溫區(qū)加熱盤(pán)等多款產(chǎn)品已經(jīng)在國(guó)內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備廠商進(jìn)行多輪驗(yàn)證。

本輪融資完成后，公司將持續(xù)引進(jìn)高端人才，加強(qiáng)研發(fā)人才隊(duì)伍建設(shè)，助力企業(yè)快速實(shí)現(xiàn)靜電吸盤(pán)、陶瓷加熱盤(pán)等精密陶瓷零部件產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)替代和全球產(chǎn)品創(chuàng)新的開(kāi)發(fā)落地。同步布局東北區(qū)域研發(fā)、生產(chǎn)中心，沈陽(yáng)子公司已完成注冊(cè)及實(shí)繳工作，落地于沈陽(yáng)市航空產(chǎn)業(yè)園，目前正積極籌劃產(chǎn)線(xiàn)建設(shè)、本地業(yè)務(wù)拓展中，部分產(chǎn)品外委小批量試產(chǎn)。通過(guò)多中心協(xié)同發(fā)展，進(jìn)一步加快公司產(chǎn)品的推廣，為客戶(hù)提供可靠定制化產(chǎn)品和創(chuàng)新方案。

近年來(lái)，沈陽(yáng)產(chǎn)研院成功打造了“盛科”品牌，創(chuàng)新探索了撥投結(jié)合、直接投資、研發(fā)外置、直投轉(zhuǎn)股、校院聯(lián)投等科技成果轉(zhuǎn)化服務(wù)模式，累計(jì)支持重點(diǎn)項(xiàng)目50余項(xiàng)；擁有一支高學(xué)歷、技術(shù)能力強(qiáng)、綜合素質(zhì)高的技術(shù)經(jīng)理人隊(duì)伍，全力打造了由首席科學(xué)家、青年人才和盛科研究生共同組成的人才引進(jìn)、培養(yǎng)、激勵(lì)與發(fā)展的體系；竭力構(gòu)建“科技+產(chǎn)業(yè)+金融”生態(tài)體系，建成基金產(chǎn)品6支，基金總規(guī)模達(dá)6億余元；堅(jiān)持互聯(lián)互通，與龍頭企業(yè)共建企業(yè)聯(lián)合創(chuàng)新中心30余家，加盟新型研發(fā)機(jī)構(gòu)20余家，積極打造低空經(jīng)濟(jì)創(chuàng)新中心，承接清華大學(xué)-沈陽(yáng)市青年創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實(shí)踐基地、北京大學(xué)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實(shí)踐教育基地等科創(chuàng)資源樞紐，加入世界工業(yè)技術(shù)研究組織協(xié)會(huì)并成為會(huì)員單位，為新技術(shù)、新產(chǎn)品搭建產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈對(duì)接平臺(tái)。

沈陽(yáng)產(chǎn)研院在理事會(huì)的領(lǐng)導(dǎo)下，正助力沈陽(yáng)打造重大技術(shù)創(chuàng)新策源地，當(dāng)好沈陽(yáng)科技創(chuàng)新的“排頭兵”，致力于建設(shè)成為東北區(qū)域綜合類(lèi)國(guó)家技術(shù)創(chuàng)新中心。

盛科創(chuàng)投管理的首支基金產(chǎn)品--沈陽(yáng)市盛科成果轉(zhuǎn)化基金是沈陽(yáng)的首支科技成果轉(zhuǎn)化基金，該基金于23年3月完成產(chǎn)品備案進(jìn)入運(yùn)營(yíng)階段。經(jīng)過(guò)3年的快速發(fā)展，盛科創(chuàng)投已累計(jì)建設(shè)、管理及參與的基金產(chǎn)品6支，投資科技成果轉(zhuǎn)化及科技創(chuàng)新項(xiàng)目16個(gè)，預(yù)計(jì)24年底管理規(guī)模達(dá)8億元。盛科創(chuàng)投已經(jīng)初步建設(shè)了覆蓋科技成果轉(zhuǎn)化的早期和成長(zhǎng)期不同階段的概念驗(yàn)證基金、轉(zhuǎn)化基金、加速基金等產(chǎn)品，并通過(guò)建立中試基地專(zhuān)項(xiàng)基金以及新能源新材料等領(lǐng)域垂直行業(yè)基金，形成了多層次的科技成果轉(zhuǎn)化與創(chuàng)新投資體系。

盛科創(chuàng)投后續(xù)將持續(xù)支持各類(lèi)科技創(chuàng)新企業(yè)發(fā)展、探索科技創(chuàng)新投資新模式、為沈陽(yáng)科技生態(tài)發(fā)展提供助力。

新松半導(dǎo)體（大氣與真空晶圓傳輸手）、美行科技（車(chē)載導(dǎo)航）、航燃科技（兩機(jī)測(cè)試服務(wù)）、遠(yuǎn)程摩擦（摩擦材料）、中科金瓷（晶圓靜電吸盤(pán)與加熱器等）、冷芯半導(dǎo)體（半導(dǎo)體微型制冷芯片）、中?？萍迹?D探地雷達(dá)）、鑫譜晶體（特種光學(xué)晶體材料）、科利醫(yī)療（近紅外II區(qū)熒光成像系統(tǒng)）、盛科鑫通（小口徑人工血管）等。

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