真空鍍膜是指在真空環(huán)境下，通過物理或化學手段，將金屬、非金屬或化合物材料轉(zhuǎn)換成氣態(tài)或等離子態(tài)，使其沉積于玻璃、金屬、陶瓷、塑料或有機材料等固體材質(zhì)表面形成薄膜的過程。
（一）
PVD真空鍍膜技術(shù)簡介
物理氣相沉積（Physical Vapor Deposition，PVD），通過物理手段將固體或液體表面氣化成氣態(tài)原子、分子或部分電離成離子(等離子體)，在真空空間輸運到基體表面并沉積成薄膜的方法，PVD 鍍膜技術(shù)主要分為三類，真空蒸發(fā)鍍膜、真空磁控濺射鍍膜和真空離子鍍膜。
①真空蒸發(fā)鍍膜：加熱膜材使表面組分以原子團或分子團形式被蒸發(fā)出來，并沉降在基片表面形成薄膜。
②真空磁控濺射鍍膜：用高能等離子體轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并沉積在基片表面，經(jīng)歷成膜過程，最終形成薄膜。
③真空離子鍍膜：在真空條件下，利用氣體放電使工作氣體或被蒸發(fā)物質(zhì)（膜材）部分離化，在工作氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)的離子轟擊作用下，把蒸發(fā)物或其反應(yīng)物沉積在被鍍基片表面。
（二）
PVD真空鍍膜在陶瓷基板金屬化應(yīng)用
根據(jù)不同運用環(huán)境采用磁控濺射，高功率脈沖磁控濺射，射頻濺射等技術(shù)，直接在陶瓷基板表面沉積一定厚度的金屬導電膜或電陽膜，替代傳統(tǒng)工藝，實現(xiàn)高結(jié)合強度和綠色生產(chǎn)。
（三）
真空鍍膜設(shè)備供應(yīng)商介紹
廣東匯成真空科技股份有限公司是一家以真空鍍膜設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及其技術(shù)服務(wù)為主的真空應(yīng)用解決方案供應(yīng)商，主要產(chǎn)品或服務(wù)為真空鍍膜設(shè)備以及配套的工藝服務(wù)支持。經(jīng)過多年技術(shù)發(fā)展和經(jīng)驗積累，具備了完整的真空鍍膜設(shè)備研發(fā)、制造能力以及鍍膜工藝開發(fā)能力，可為不同行業(yè)客戶提供定制化、專業(yè)化的真空鍍膜設(shè)備及其工藝解決方案。
官網(wǎng)：https://www.hcvac.com/
廣東振華科技股份有限公司始創(chuàng)于1992年，總公司位于廣東省肇慶市，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)為一體的具有多項自主知識產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有三個生產(chǎn)基地，分別為云桂振華工業(yè)園、北嶺生產(chǎn)基地以及藍塘生產(chǎn)基地，占地面積超100畝；并擁有獨立的辦公科研大樓和現(xiàn)代標準化生產(chǎn)車間。廣東振華科技可提供連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線、磁控濺射鍍膜設(shè)備、陰極電弧離子鍍膜設(shè)備、硬質(zhì)涂層鍍膜設(shè)備、精密電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備、卷繞式鍍膜設(shè)備等真空表面處理設(shè)備，是一家綜合大型真空設(shè)備制造商。經(jīng)過多年的發(fā)展，廣東振華具備深厚技術(shù)沉淀，先后獲得“高新技術(shù)企業(yè)”“ISO9001質(zhì)量體系認證”等榮譽認證。2022年獲評國家級第四批專精特新“小巨人”企業(yè)。
DPC臥式連續(xù)磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線適用于陶瓷基板、陶瓷電容、LED陶瓷支架等產(chǎn)品。
官網(wǎng)：https://www.zhenhuavacuum.com/
友威科技成立于2002年，集合一群有多年真空經(jīng)驗的團隊，積極投入真空濺鍍制程技術(shù)及鍍膜系統(tǒng)設(shè)計及開發(fā)，以PVD(濺鍍、蒸鍍、蒸濺鍍)、CVD(PECVD、MOCVD、ThermalCVD)、Dry etching(ICP、RIE、Ion beam、Micro wave)技術(shù)本位出發(fā)，與客戶共同討論開發(fā)新應(yīng)用，共同研究薄膜特性、制程硬件開發(fā)、可提供測試樣品、量產(chǎn)系統(tǒng)規(guī)畫、自動化設(shè)計、并可現(xiàn)有設(shè)備改造、功能提升，另提供專業(yè)客戶服務(wù)團隊可以滿足全方位一條龍的需求。
友威科技服務(wù)產(chǎn)業(yè)跨足3C電子產(chǎn)業(yè)、PCB產(chǎn)業(yè)、鞋業(yè)、太陽能產(chǎn)業(yè)、光學產(chǎn)業(yè)、半導體IC產(chǎn)業(yè)、封裝產(chǎn)業(yè)、觸控產(chǎn)業(yè)、生物科技產(chǎn)業(yè)、車用零配件產(chǎn)業(yè)、LED產(chǎn)業(yè)、水五金產(chǎn)業(yè)等… 設(shè)備制造。
官網(wǎng)：https://www.uvat.com/
-
北京北方華創(chuàng)真空技術(shù)有限公司
北京北方華創(chuàng)真空技術(shù)有限公司擁有六十余年真空熱處理、表面處理裝備研發(fā)和制造經(jīng)驗，公司長期專注于高溫、高壓、高真空技術(shù)的研發(fā)與成果轉(zhuǎn)化，自主研發(fā)的裝備為新材料、新工藝、新能源等綠色制造賦能，助力各領(lǐng)域繁榮發(fā)展。北方華創(chuàng)作為國內(nèi)高端裝備制造的主力軍，研發(fā)的真空熱處理裝備、氣氛保護熱處理裝備、連續(xù)式熱處理裝備、晶體生長裝備、鍍膜裝備在金屬及非金屬材料、真空電子、醫(yī)療、新能源(光伏、汽車、氫能、儲能)、半導體材料、磁性材料等領(lǐng)域取得廣泛應(yīng)用。
官網(wǎng)：https://www.naura.com/
愛發(fā)科真空技術(shù)（蘇州）有限公司是世界著名的真空設(shè)備制造商株式會社ULVAC(愛發(fā)科)在中國投資興建的全資公司，于2003年7月在蘇州工業(yè)園區(qū)設(shè)立，總投資1.035億美元，注冊資本3450萬美元，占地面積七萬多平方米。主要為功率器件、化合物半導體器件（功率器件及射頻器件）、傳感器（MEMS、紅外等）、光通信及光電器件、濾波器件（SAW/BAW）、薄膜電路等行業(yè)的企業(yè)、研究所及大學提供芯片生產(chǎn)及研發(fā)的相關(guān)設(shè)備，同時提供設(shè)備及周邊產(chǎn)品的售后服務(wù)。工廠于2011年再度擴建，從2012年年初開始，為平板顯示器，太陽電池等制造行業(yè)提供世界領(lǐng)先的先進設(shè)備。
官網(wǎng)：https://www.ulvac-suzhou.com/
寧波聚膜新材料科技有限公司（JUMO）成立于2015年，總部位于浙江省第二大城市寧波，由海外學者回國創(chuàng)業(yè)成立，是一家專注于真空等離子技術(shù)應(yīng)用、微納米薄膜制備、新型納米功能材料領(lǐng)域的國家級高新技術(shù)企業(yè)。JUMO公司依托自主知識產(chǎn)權(quán)的先進技術(shù)，從事真空鍍膜系統(tǒng)集成、真空等離子技術(shù)應(yīng)用、納米薄膜及特種功能薄膜制備整體解決方案輸出,集工藝技術(shù)的研發(fā)、過程裝備的設(shè)計、制造、銷售于一體，為廣大客戶量身提供各類真空鍍膜設(shè)備、設(shè)備核心部件、納米薄膜工藝技術(shù)、鍍膜代工等產(chǎn)品和服務(wù)。
官網(wǎng)：http://www.jumo-vac.com/
廣東騰勝科技創(chuàng)新有限公司是一家專業(yè)研制、銷售各類真空應(yīng)用設(shè)備、半導體沉積設(shè)備、鋰電池材料設(shè)備以及納米材料表面處理設(shè)備的國家級高新技術(shù)企業(yè)，在2022年，公司獲評為廣東省“專精特新”中小企業(yè)。騰勝所研制的卷繞式真空鍍膜設(shè)備、連續(xù)式真空鍍膜生產(chǎn)線設(shè)備、光學真空鍍膜設(shè)備、磁控濺射真空鍍膜設(shè)備、電弧離子真空鍍膜設(shè)備等多個系列設(shè)備，被廣泛應(yīng)用于動力電池、儲能電池、半導體、光伏、消費電子、航空航天、汽車零件、機械加工、模具制造、新材料等多行業(yè)領(lǐng)域。
官網(wǎng)：https://www.tsvacuum.cn/cn/
……篇幅有限不多做介紹，歡迎留言區(qū)繼續(xù)補充。艾邦建有陶瓷基板產(chǎn)業(yè)群，歡迎涉及汽車、LED、5G、陶瓷封裝、陶瓷管殼、陶瓷基板及覆銅板生產(chǎn)企業(yè)；氧化鋁、氮化鋁、氮化硅、氧化鈹、玻璃粉等陶瓷材料企業(yè)；金屬銅箔、金屬焊料、金屬漿料等材料企業(yè)；陶瓷粉體生產(chǎn)配制設(shè)備、陶瓷流延機、拋光研磨設(shè)備、打孔設(shè)備、填孔設(shè)備、印刷機、鍍膜設(shè)備、顯影設(shè)備、燒結(jié)爐、釬焊爐、X-RAY、AOI、超聲波掃描顯微鏡、自動化組裝等加入微信群。
資料來源：
1.匯成真空招股說明書
3.各公司官網(wǎng)
推薦活動：2025年8月26-28日，第七屆精密陶瓷暨功率半導體產(chǎn)業(yè)鏈展覽會將于深圳舉辦！
第七屆精密陶瓷暨功率半導體產(chǎn)業(yè)鏈展覽會
2025年8月26日-28日
展出2萬平米、1,000個攤位、500多家展商、50,000名專業(yè)觀眾；匯聚IGBT/SiC功率半導體產(chǎn)業(yè)鏈；熱管理材料產(chǎn)業(yè)鏈，精密陶瓷、電子陶瓷、陶瓷基板、薄膜/厚膜陶瓷電路板、陶瓷封裝管殼、LTCC/HTCC/MLCC加工產(chǎn)業(yè)鏈等產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)！
一、精密陶瓷產(chǎn)業(yè)鏈：
1、陶瓷器件及材料：MLCC、LTCC、HTCC、微波介質(zhì)陶瓷、壓電陶瓷、鈦酸鋇、碳酸鋇、氧化鈦、氧化鋁、氧化鋯、玻璃粉、氮化鋁、LTCC介質(zhì)陶瓷粉體、稀土氧化物、生瓷帶等；
2、精密陶瓷：氧化鋯、氧化鋁、氮化鋁、氮化硅、碳化硅、氧化釔、結(jié)構(gòu)陶瓷、高溫陶瓷、透明陶瓷、陶瓷微珠、新能源陶瓷、陶瓷軸承、陶瓷球、半導體陶瓷（搬運臂、陶瓷劈刀、靜電卡盤、蝕刻環(huán)……）、3D打印陶瓷、燃料電池（SOFC）隔膜片、穿戴陶瓷、光纖陶瓷插芯、陶瓷套筒、CIM、生物陶瓷等。
3、陶瓷基板及封裝外殼：陶瓷封裝外殼、DPC、DBC、AMB、HTCC基板、LTCC基板、薄膜電路板、厚膜電路板、陶瓷封裝基座、熱沉、氧化鋁、氮化鋁、氮化硅、氧化鈹、莫來石粉體及基板等；
4、金屬材料：銀粉、金粉、銅粉、鎳粉、焊料（焊片、焊膏）、MLCC用內(nèi)/外電極漿料、LTCC銀漿、金漿、鎢鉬漿料、銅漿、靶材、無氧銅帶、可伐合金、金屬沖壓件等；
5、助劑：陶瓷和導電漿料用分散劑、黏合劑、增塑劑、絮凝劑、礦化劑、消泡劑、潤滑劑、燒結(jié)助劑等；
6、設(shè)備：
陶瓷加工設(shè)備：砂磨機、球磨機、真空脫泡機、三輥機、噴霧造粒機、干壓機、流延機、注塑機、3D打印機、模具、干燥設(shè)備、研磨機、精雕機、裁片機、激光設(shè)備、打孔機、填孔機、絲網(wǎng)印刷機、疊層機、層壓機、等靜壓機、熱切機、整平機、排膠爐、燒結(jié)爐、釬焊設(shè)備、電鍍設(shè)備、化學鍍、噴銀機、浸銀機、端銀機、真空鍍膜設(shè)備、顯影設(shè)備、去膜設(shè)備、蝕刻機、濕制程設(shè)備、等離子清洗、超聲波清洗、自動化設(shè)備、剝離強度測試儀、AOI檢測設(shè)備、打標機；
封裝測試設(shè)備：貼片機、引線鍵合機、封蓋機、平行縫焊封帽、切筋機、釬焊設(shè)備、激光調(diào)阻機、網(wǎng)絡(luò)分析儀、熱循環(huán)測試設(shè)備、測厚儀、氦氣檢漏儀、老化設(shè)備、外觀檢測、超聲波掃描顯微鏡、X-光檢測、激光打標、分選設(shè)備、測包編帶機等；
7、耗材：離型膜、載帶（塑料和紙質(zhì)）、耐火材料、承燒板/匣缽（氧化鋁、剛玉莫來石、氮化硼等）、承燒網(wǎng)、發(fā)泡膠、研磨耗材（金剛石微粉、研磨液）、精密網(wǎng)版、清洗劑、電鍍藥水等。
二、熱管理產(chǎn)業(yè)鏈：
?
1、熱管理材料：氧化鋁、氮化鋁、氮化硼、石墨烯、石墨、碳納米管、空心玻璃微珠、導熱粉體、散熱基板、熱沉（鎢銅、鉬銅、氮化鋁、金剛石等）、鋁碳化硅AlSiC、相變材料、導熱凝膠、導熱界面材料、導熱墊片、導熱膠帶、灌封膠、熱管/均熱板；
2、散熱器件：半導體制冷片（TEC）、IGBT散熱器（銅、鋁）、大功率晶體管散熱器、通信基站散熱殼體、液態(tài)金屬散熱器、插針式散熱器等;
3、設(shè)備：壓延機、涂布機、分條機、模切機、復(fù)卷機、切片機，CNC設(shè)備、壓鑄/沖壓設(shè)備、熱分析儀器、激光導熱儀、導熱系數(shù)儀、強度試驗機、檢測設(shè)備、自動化等。
三、功率半導體器件封裝產(chǎn)業(yè)鏈：
1、材料：碳化硅，陶瓷襯板（DBC、AMB）、封裝管殼、鍵合絲、散熱基板（銅、鋁碳化硅AlSiC）、導熱硅凝膠、環(huán)氧灌封膠、焊料（預(yù)制焊片）、銀膜/銀膏、散熱器（銅、鋁）、功率引出端子（銅端子）、外殼（工程塑料PPS、PBT、高溫尼龍）、清洗劑等；
2、設(shè)備及配件：真空焊接爐、貼片機、固晶機、引線鍵合機、X-ray、推拉力測試機、等離子清洗設(shè)備、點膠機、絲網(wǎng)印刷機、超聲波掃描設(shè)備、動靜態(tài)測試機、點/灌膠機、銀燒結(jié)設(shè)備、垂直固化爐、甲酸真空共晶爐、自動封蓋設(shè)備、高速插針機、彎折設(shè)備、超聲波焊接機、視覺檢測設(shè)備、推拉力測試機、高低溫沖擊設(shè)備、功率循環(huán)測試設(shè)備、打標機、檢驗平臺、治具等；
?
展會預(yù)定：
?
掃碼添加微信，咨詢展會詳情
?
掃碼添加微信，咨詢展會詳情
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦陶瓷展）：PVD真空鍍膜技術(shù)及其在陶瓷基板金屬化的應(yīng)用（附設(shè)備供應(yīng)商名單）
