【4月12日·泉州半導(dǎo)體陶瓷論壇】清華大學(xué)潘偉教授報(bào)告：《半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷零部件的應(yīng)用現(xiàn)狀與前景》

2024年半導(dǎo)體陶瓷產(chǎn)業(yè)論壇

? 4月12日 泉州

在半導(dǎo)體芯片設(shè)備中，陶瓷靜電卡盤、加熱盤、搬運(yùn)壁等精密陶瓷零部件的成本約占10％左右。半導(dǎo)體零部件設(shè)備陶瓷零部件的生產(chǎn)，由于涉及OEM廠家認(rèn)證問題，所以屬于高門檻行業(yè)。國際上，高端陶瓷部件50~60%被Kyocera、CoorsTek、AM公司壟斷，其他還有美國日本東芝陶瓷，Ceratech、Finceratech、Coalition Technology、摩根等。就美國應(yīng)用材料公司而言，其代工廠主要集中在美國本土、日本、臺(tái)灣、韓國等。我國半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)最近十幾年的發(fā)展速度非?？?，目前全國已經(jīng)有上百家半導(dǎo)體的設(shè)計(jì)或生產(chǎn)工廠。

中美脫鉤大環(huán)境下國內(nèi)高科技企業(yè)面臨禁售限制。由于半導(dǎo)體加工設(shè)備技術(shù)長期壟斷在幾個(gè)發(fā)達(dá)國家，其中應(yīng)用的各種陶瓷零部件的生產(chǎn)廠家也主要在國外，雖然為了降低成本有些國外企業(yè)在中國辦廠生產(chǎn)部分部件，但技術(shù)還是掌握在外企中。按照目前的國際發(fā)展趨勢，未來半導(dǎo)體設(shè)備中陶瓷關(guān)鍵零部件必須實(shí)現(xiàn)本土研發(fā)、生產(chǎn)與采購。但是由于半導(dǎo)體設(shè)備的高精度及高清凈環(huán)境要求，對(duì)陶瓷零部件的機(jī)械和化學(xué)特性有苛刻的要求，對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷零部件的設(shè)計(jì)、成型與燒結(jié)加工都有很高的技術(shù)門檻。

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本報(bào)告詳細(xì)介紹高技術(shù)陶瓷材料在半導(dǎo)體設(shè)備中的應(yīng)用，以及對(duì)陶瓷零部件的特殊的熱、電、化與機(jī)械性能要求與制備！介紹我國半導(dǎo)體設(shè)備用陶瓷零部件的發(fā)展現(xiàn)狀與前景。

潘偉教授，曾任清華大學(xué)新型陶瓷與精細(xì)工藝國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任；清華大學(xué)校務(wù)委員會(huì)委員；清華大學(xué)材料學(xué)院黨委書記；材料科學(xué)與工程系主任。

兼任中國硅酸鹽學(xué)會(huì)常務(wù)理事，中國硅酸鹽學(xué)會(huì)特種陶瓷分會(huì)常務(wù)副理事長兼秘書長，北京理化學(xué)會(huì)熱分析專業(yè)委員會(huì)理事長，《Coatings》主編,《硅酸鹽通報(bào)》，《硅酸鹽學(xué)報(bào)》，《過程工程學(xué)報(bào)》，《陶瓷學(xué)報(bào)》，《現(xiàn)代技術(shù)陶瓷學(xué)報(bào)》，《材料導(dǎo)報(bào)》編委；歐洲陶瓷學(xué)會(huì)國際顧問委員會(huì)委員，國際梯度功能材料顧問委員會(huì)理事，亞洲－澳州陶瓷聯(lián)盟理事長。

擔(dān)任過第六至第十九屆全國特種陶瓷學(xué)術(shù)年會(huì)秘書長，組委會(huì)主席。第一至第九屆中國國際高性能陶瓷材料學(xué)術(shù)會(huì)議組委會(huì)主席。第7屆國際梯度功能材料學(xué)術(shù)會(huì)議主席。第五屆國際陶瓷大會(huì)組委會(huì)主席。2009年獲得日本東京大學(xué)工學(xué)部“Fellow”稱號(hào)，2015年被評(píng)為國際陶瓷科學(xué)院院士。

目前主要從事高溫結(jié)構(gòu)陶瓷材料，高溫?zé)嵴贤繉硬牧?，透明陶瓷材料、納米陶瓷材料與器件研究工作。

先后主持過 國家“863” 項(xiàng)目：“高耐磨、耐腐蝕、耐高溫部件關(guān)鍵技術(shù)”的項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，“陶瓷金鹵燈用高強(qiáng)、耐高溫腐蝕亞微米透明氧化鋁管的制備研究”；國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)課題“復(fù)相陶瓷設(shè)計(jì)理論”，“遠(yuǎn)離平衡狀態(tài)下陶瓷新材料的燒結(jié)與微觀結(jié)構(gòu)調(diào)控”，“透明陶瓷激光材料的設(shè)計(jì)、計(jì)算與性能表征”課題研究。發(fā)表論文360余篇，其中SCI收錄論文243篇，獲得授權(quán)發(fā)明專利24項(xiàng)，著作4本。在相關(guān)國際學(xué)術(shù)大會(huì)上做特邀報(bào)告三十余次。