半導(dǎo)體設(shè)備零部件，國產(chǎn)替代正當(dāng)時隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的快速成長，以及在美國BIS新規(guī)半導(dǎo)體出口限制的背景下，國內(nèi)企業(yè)在供應(yīng)鏈安全、成本、服務(wù)等方面具有優(yōu)勢，半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)替代正當(dāng)時，未來成長空間巨大。
半導(dǎo)體設(shè)備的基礎(chǔ)和核心
半導(dǎo)體設(shè)備零部件是指在半導(dǎo)體設(shè)備制造過程中所需的零部件，并在材料、結(jié)構(gòu)、工藝、 品質(zhì)和精度、可靠性及穩(wěn)定性等方面能達(dá)到半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)要求。半導(dǎo)體設(shè)備是半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)演進(jìn)的關(guān)鍵，其絕大部分關(guān)鍵核心技術(shù)需要以精密零部件作為載體來實現(xiàn)。
半導(dǎo)體設(shè)備零部件中的“晶圓搬運臂”
芯片制造工序千萬道，自然少不了“搬運工序”，將晶圓從工序A移動到工序B的過程中，如何不斷重復(fù)地把晶圓高速、清潔地搬運和處理，對晶圓成品的品質(zhì)影響巨大。
“高速”、“潔凈”是半導(dǎo)體晶圓搬運設(shè)備的核心特征，要滿足此特征，設(shè)備對所使用的零部件性能要求也極其苛刻。由于多數(shù)工序是在真空、高溫以及具有腐蝕性的氣體環(huán)境中進(jìn)行，所以設(shè)備使用的搬運臂要具有優(yōu)良的物理性能，如：較高的機(jī)械強度、抗腐蝕、耐高溫、耐磨、硬度高、絕緣等。
圖為圣瓷·氧化鋁陶瓷手臂
高純度的氧化鋁陶瓷具有致密性強、耐磨、耐熱、機(jī)械強度高、抗腐蝕性、絕緣等物理性能，是用于制作半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械手臂的絕佳材料。
晶圓搬運臂種類有很多，以下介紹的是“真空陶瓷手臂”。
? ? ? ?陶瓷手臂如何加工，從而形成中空？由于技術(shù)難度大，而且需要滿足加工精度、耐腐蝕性、密封性、潔凈度、真空度等指標(biāo)，要保證陶瓷手臂零氣孔、零裂紋、零瑕疵，保證陶瓷手臂的產(chǎn)品性能及使用壽命，以最終實現(xiàn)真空環(huán)境下的半導(dǎo)體設(shè)備工藝制程的穩(wěn)定。
圣瓷采用獨特的陶瓷粘結(jié)技術(shù)，既能滿足晶圓搬運臂的尺寸精度要求，又能滿足晶圓搬運臂的嚴(yán)苛使用環(huán)境，受到海內(nèi)外客戶一致好評！
原文始發(fā)于微信公眾號（圣瓷）：晶圓的“搬運工”—— 陶瓷手臂
