近日,化合積電聯(lián)手北京科技大學、中國科學院電工研究所、西安交通大學發(fā)表的學術論文“Enhancing interfacial heat conduction in diamond-reinforced copper composites with boron carbide interlayers for thermal management”,在材料領域國際知名期刊Composites Part B: Engineering上發(fā)表,該期刊由英國Elsevier Ltd出版,具有很高的學術影響力和認可度。

 

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
 

作者:北京科技大學崔帥,北京科技大學孫方遠教授、中國科學院電工研究所王大正博士和化合積電聯(lián)合創(chuàng)始人/CEO張星等

 

 

該研究使用化合積電制備的<001>取向、尺寸為10mm×10mm×1mm的高導熱性單晶金剛石基板作為基底,通過引入碳化物修飾層有效地將金剛石顆粒與銅基體連接,改善界面結合,顯著增強界面熱傳導,提高了金剛石和銅襯底的界面熱導。該研究突破了界面優(yōu)化對多層材料熱性能影響研究較為空白的現(xiàn)狀,為增強納米尺度界面上熱交換提供了更深入的理論基礎,對未來制造銅/碳化硼/金剛石多層材料實際應用提供了可參考建議。

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化合積電采用微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)的方式生長單晶金剛石,為該研究打下良好基礎。長期以來,公司始終秉持開放合作理念,和國內外眾多知名高校及頂尖實驗室建立了緊密合作,通過資源共享、優(yōu)勢互補,與合作伙伴們共同攻克了一系列技術難關,加速了金剛石半導體材料從實驗室走向產(chǎn)業(yè)化的步伐。

 

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
海外部分合作高校及實驗室

 

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
國內部分合作高校

 

 

 

定制化單晶金剛石

滿足多領域科研需求

 

Appliacation

 

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
 

單晶金剛石(熱學級、光學級、電子級)是化合積電的核心產(chǎn)品之一,具有所有材料中最好的導熱性(高達2200W/m.k)以及高硬度、高化學穩(wěn)定性、高光學透過性、極寬的禁帶寬度、負的電子親合性、高絕緣性和良好的生物兼容性等優(yōu)異性能,在超精密加工、半導體、航天航空、核能源等高新技術領域擁有廣泛應用發(fā)展前景,成為了多領域科研前沿的熱門研究材料。

 

化合積電采用MPCVD生長方式制備高品質單晶金剛石,提供定制化尺寸、粗糙度、晶向、摻雜等定制化服務,為不同領域科研探索關鍵技術支撐。

 

序號

技術參數(shù)

技術指標

1
尺寸
10*10mm,15*15mm,1寸等,可定制
2
厚度
50um-2mm;可定制
3
晶向
(100)/(110 )/(111)
3
表面粗糙度
Ra<1nm;Ra<30nm
4
氮含量
N <50ppb
5
硼含量
輕摻:1015?~1017
重摻:1018?~1020
6
平面度TTV
<10um
7
光學透過率
>70??%
 

 

 

高品質單晶金剛石

“硬核指標”新突破

 

Parameters

 

單晶金剛石晶體質量

 

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
化合積電的電子級單晶金剛石產(chǎn)品的拉曼特征峰FWHM低至2.1cm-1XRD搖擺曲線半高寬低至31.6arcsec。

 

 

單晶金剛石位錯密度與氮含量

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
X射線衍射形貌術(XRT)檢測下化合積電的電子級單晶金剛石產(chǎn)品的位錯密度<103/cm,達到了電子級單晶的位錯密度水平。

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順磁共振(EPR檢測下化合積電的電子級單晶金剛石產(chǎn)品氮含量<50ppb。

 

 

表面粗糙度

 

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
AFM原子力檢測和白光干涉儀進行表面粗糙度檢測,Ra<1nm。

 

 

厚度

 

應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題
化合積電單晶金剛石最薄厚度能夠達到0.05mm。

 

 

 

化合積電核心產(chǎn)品除了高品質單晶以外,還有多晶金剛石(晶圓級金剛石、金剛石熱沉片、金剛石窗口片、金剛石基異質集成復合襯底)和氮化鋁薄膜(金剛石基氮化鋁、硅基氮化鋁和藍寶石基氮化鋁)等,并可根據(jù)客戶要求提供定制化服務。

 

自創(chuàng)立以來,公司同多所海內外高校及頂尖實驗室建立了戰(zhàn)略聯(lián)盟開展深度合作,堅持以市場為導向、“產(chǎn)、學、研、用”四位一體,積極整合優(yōu)勢資源,為金剛石科研前沿貢獻力量。

 

 

 

 

 

 

 

原文始發(fā)于微信公眾號(化合積電):應用突破|化合積電聯(lián)合多所高校破解金剛石多層材料熱傳導難題

隨著電子設備朝著小型化、高功率密度、多功能化等方向發(fā)展,電子產(chǎn)品的迭代升級對于導熱散熱材料的性能提出更高的要求。過去僅依靠單一材料的散熱方案已逐漸無法滿足其高效率的散熱需求,新型材料+組合化、多元式的散熱材料方案逐漸成為市場主流。艾邦建有散熱材料交流群,歡迎掃碼加入:

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作者 gan, lanjie

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