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近日,日本安達滿納米奇精密寶石有限公司(Adamant Namiki Precision Jewel Co. Ltd.)宣布成功開發(fā)了超高純度 2 英寸金剛石晶圓的量產(chǎn)方法。
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日本公司成功開發(fā)超高純2英寸金剛石晶圓的量產(chǎn)技術
圖? 4mm×4mm 晶片(左)和2英寸(55mm直徑)超高純金剛石晶片(右)
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這種超高純度金剛石含有不超過 3 ppb(十億分之一)的氮原子,這是量子計算機、量子存儲器和量子傳感設備等量子應用所需的。新開發(fā)的金剛石晶片直徑為 2 英寸(約 55 毫米),遠大于目前可用的 4 mm×4 mm晶片。這項新技術有望推動量子應用的發(fā)展。Adamant Namiki 計劃在 2023 年將該產(chǎn)品商業(yè)化。
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2021 年 9 月 9 日,Adamant Namiki與佐賀大學合作,使用獨特的階梯式流程方法成功生產(chǎn)了直徑為 2 英寸的晶圓(商品名:KENZAN Diamond?)。然而,該方法利用氮氣實現(xiàn)了適合大規(guī)模生產(chǎn)的高生長速率,但留下了幾 ppm(百萬分之幾)的氮雜質,影響量子應用。從那時起,Adamant Namiki 改進了其生產(chǎn)方法,以實現(xiàn)其超高純度 2 英寸金剛石的氮含量不超過 3 ppb,使其適用于量子應用。
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相比之下,含氮不超過 3 ppb 的市售超高純度金剛石晶片只有 4mm×4mm。雖然這種晶圓尺寸可以用于基礎研究,但對于實際應用來說太小了。Adamant Namiki 開發(fā)了一種新的 2 英寸金剛石晶圓量產(chǎn)技術,幾乎消除了晶體生長過程中的氮污染,從而實現(xiàn)了超高純度。理論上,一塊 2 英寸的金剛石晶片可以提供足夠的量子存儲器來記錄 10 億張藍光光盤。這相當于一天內(nèi)分布在全球的所有移動數(shù)據(jù)。
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Adamant Namiki 計劃開發(fā)包括拋光技術在內(nèi)的外圍技術,為 2023 年的商業(yè)生產(chǎn)做準備。這將大大加快對使用大直徑金剛石晶片的量子器件的研究。
來源:Adamant Namiki

原文始發(fā)于微信公眾號(艾邦半導體網(wǎng)):日本公司成功開發(fā)超高純2英寸金剛石晶圓的量產(chǎn)技術

作者 li, meiyong

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