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陶瓷因其良好的耐高溫、耐腐蝕、熱導(dǎo)率高、機(jī)械強(qiáng)度高、熱膨脹系數(shù)(CTE)與芯片材料匹配等特性,在電子封裝中得到廣泛應(yīng)用。隨著電子封裝技術(shù)發(fā)展,對(duì)器件的可靠性、氣密性和成本等提出了更高要求。目前市場(chǎng)上的三維陶瓷基板主要包括:

1)高溫/低溫共燒陶瓷基板(HTCC/LTCC),采用多層疊壓共燒工藝,可制備出含腔體的多層陶瓷基板。
2)多層電鍍?cè)龊裉沾苫?。利用電鍍?cè)龊窦夹g(shù)制備含金屬圍壩的三維陶瓷基板;

3)采用有機(jī)膠將金屬鏤空板和陶瓷基板粘接,得到含金屬圍壩的三維陶瓷基板。

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激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關(guān)鍵工藝
打孔是激光在HTCC和LTCC以及DPC等三維封裝基板制作過程中應(yīng)用最多的工藝加工方式。使用激光打孔機(jī)將上下兩面基板打通,作為上下板面連通的路徑,實(shí)現(xiàn)陶瓷基板上/下表面垂直互聯(lián),可實(shí)現(xiàn)電子器件三維封裝與集成。
1.激光打孔的原理
激光打孔的原理是利用激光器發(fā)出具有聚集的激光束,沿著通孔邊緣將連續(xù)分布的光脈沖發(fā)射到生瓷帶上,激光能量將有機(jī)物及陶瓷材料進(jìn)行汽化,從而形成一個(gè)通孔。激光打孔機(jī)鉆孔針對(duì)不同的陶瓷材料會(huì)使用紅外、綠光、紫外、CO2等不同波段激光束照射材料表面,每發(fā)出一次雷射脈沖就有一部分材料被燒灼掉。
激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關(guān)鍵工藝
圖 陶瓷基板激光高速鉆孔機(jī),來源:德中技術(shù)
激光打孔的整個(gè)流程包括激光加工的四個(gè)關(guān)鍵階段:
①首先是光能轉(zhuǎn)換為熱能,實(shí)現(xiàn)對(duì)工件材料的無損加熱;
②其次是材料的熔化、蒸發(fā)和汽化;
③再次是濺射和去除過程;
④最后是激光作用的終止和加工區(qū)域的快速冷凝。
2.激光打孔的優(yōu)勢(shì)
與機(jī)械打孔相比,激光鉆孔擁有很多優(yōu)勢(shì),可以實(shí)現(xiàn)更高的分辨率和更小的加工孔徑,擁有加工精度更高、打孔速度快、對(duì)多種材料的適用性、非接觸式操作、不存在刀具磨損,經(jīng)濟(jì)效應(yīng)更好、應(yīng)用領(lǐng)域廣的優(yōu)點(diǎn)。
激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關(guān)鍵工藝
隨著激光加工設(shè)備性能的提升和控制系統(tǒng)智能化的發(fā)展,激光打孔技術(shù)將向著更精細(xì)化、高效率和低成本的方向發(fā)展,預(yù)計(jì)其在微細(xì)加工領(lǐng)域的應(yīng)用將會(huì)越來越廣泛。
11月22-23日,第二屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇將于石家莊舉辦,屆時(shí),德中技術(shù)戰(zhàn)略發(fā)展與市場(chǎng)總監(jiān)張卓將帶來《超快激光AOD技術(shù)顛覆HTCC/LTCC精密鉆孔》主題報(bào)告演講,歡迎各位行業(yè)朋友與會(huì)交流!
推薦活動(dòng):【邀請(qǐng)函】第二屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇(11月22-23日·石家莊)
第二屆陶瓷封裝產(chǎn)業(yè)論壇
The 2nd Ceramic Packages Industry Forum

2024年11月22-23日

河北·石家莊
河北翠屏山迎賓館
HeBei Cuipingshan Guesthouse

地址:石家莊市鹿泉區(qū)迎賓館街8號(hào)

一、會(huì)議議程

 

會(huì)議簽到

11月21日

14:00-18:00

會(huì)議簽到

11月22日

07:30-08:45

會(huì)議簽到

會(huì)議報(bào)告

會(huì)主席兼報(bào)告嘉賓主持人杉 研究員 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第13研究所

11月22日

時(shí)間

演講主題

演講嘉賓

08:45-09:00

開場(chǎng)

艾邦創(chuàng)始人 江耀貴

09:00-09:30

系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)用陶瓷基板技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化

華中科技大學(xué) 教授/武漢利之達(dá)科技 創(chuàng)始人 陳明祥

09:30-10:00

超快激光AOD技術(shù)顛覆HTCC/LTCC精密鉆孔

德中(天津)技術(shù) 戰(zhàn)略發(fā)展與市場(chǎng)總監(jiān) 張卓

10:00-10:30

茶歇

10:30-11:00

厚薄膜混合型HTCC工藝技術(shù)的開發(fā)

六方鈺成 董事長(zhǎng) 劉志輝

11:00-11:30

高可靠封裝的機(jī)遇與挑戰(zhàn)

睿芯峰 副總經(jīng)理 陳陶

11:30-12:00

電子封裝陶瓷基板流延成型工藝及裝備

河北東方泰陽(yáng) 總經(jīng)理 吳昂

12:00-13:30

午餐

13:30-14:00

基于陶瓷材料在半導(dǎo)體器件封裝技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用

北京大學(xué)東莞光電研究院 鄭小平 研究員/項(xiàng)目總監(jiān)

14:00-14:30

B-Stage膠與芯片等溫空腔封裝工藝設(shè)備及其特點(diǎn)

佛大華康 高級(jí)工程師 劉榮富

14:30-15:00

薄膜技術(shù)在電子封裝中的應(yīng)用

七星華創(chuàng)微電子 工程師 任凱

15:00-15:30

Ceramic seed layer metallization 陶瓷種子層金屬化工藝技術(shù)

友威科技 經(jīng)理 林忠炫

15:30-16:00

茶歇

16:00-16:30

無鉛玻璃漿料在陶瓷和半導(dǎo)體封接中的應(yīng)用

上海越融科技 總經(jīng)理 崔煒 博士

16:30-17:00

高性能氮化硅陶瓷產(chǎn)業(yè)技術(shù)和應(yīng)用發(fā)展現(xiàn)狀

中材高新氮化物陶瓷 首席專家 張偉儒

17:00-17:30

信諾超分散劑在粉體材料納米化及氮化硅陶瓷漿料中的應(yīng)用

嘉智信諾 董事長(zhǎng) 陳永康

17:30-18:00

高品質(zhì)氮化硅粉體燃燒合成技術(shù)新進(jìn)展

中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所/中科新瓷 高級(jí)工程師/總經(jīng)理 楊增朝

18:00-21:00

答謝晚宴

11月23日

時(shí)間

演講主題

演講嘉賓

09:00-09:30

傳感器技術(shù)的發(fā)展及陶瓷封裝的應(yīng)用趨勢(shì)

鄭州中科集成電路與系統(tǒng)應(yīng)用研究院 先進(jìn)封測(cè)中心主管 周繼瑞

09:30-10:00

鈣鈦礦型鐵電介質(zhì)陶瓷開發(fā)及應(yīng)用 電子科技大學(xué) 唐斌 教授

10:00-10:30

陶瓷材料的玻璃連接工藝及機(jī)理研究 長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) 副院長(zhǎng) 朱巍巍

10:30-11:00

封接玻璃粉的開發(fā)與應(yīng)用 天力創(chuàng) 項(xiàng)目經(jīng)理 于洪林

11:00-11:30

集成電路陶瓷封裝外殼仿真設(shè)計(jì) 電子科技大學(xué) 研究員 邢孟江

11:30-13:30

午餐

贊助&參會(huì)報(bào)名請(qǐng)聯(lián)系李小姐:18124643204(同微信)

激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關(guān)鍵工藝

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激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關(guān)鍵工藝

二、報(bào)名方式

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激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關(guān)鍵工藝

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激光打孔——三維封裝陶瓷基板的關(guān)鍵工藝

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作者 gan, lanjie

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