氮化硅陶瓷基板
AMB是在DBC技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的。DBC和AMB基板區(qū)別,主要是工藝不同。DBC基板（Direct Bonding Copper)；采用的是DBC制作工藝，是將銅箔燒結(jié)覆銅到陶瓷基板上面。AMB基板（AMB（Active Metal Brazing）采用的是AMB活性釬焊工藝，制作工藝技術(shù)較難，采用AMB工藝制備的陶瓷基板，不僅具有更高的熱導(dǎo)率、更好的銅層結(jié)合力，而且還有熱阻更小、可靠性更高等優(yōu)勢(shì)。目前，評(píng)估陶瓷材料性能主要包括外觀、內(nèi)部缺陷檢測(cè)、力學(xué)性能、熱學(xué)性能、電學(xué)性能、封裝性能(工作性能)和可靠性測(cè)試等。
DBC陶瓷覆銅板
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Hiwave和伍自研高頻超聲波掃描顯微鏡SAM設(shè)備，可以對(duì)工件內(nèi)部進(jìn)行高精度的超聲波掃描數(shù)字化掃描成像。檢測(cè)精度可達(dá)微米級(jí)，對(duì)陶瓷基板行業(yè)的內(nèi)部缺陷檢測(cè)問(wèn)題，提供了新的無(wú)損檢測(cè)設(shè)備及方法。
Hiwave和伍超聲波掃描顯微鏡
Hiwave和伍自研超聲波掃描顯微鏡所示。檢測(cè)時(shí)，由超聲波探頭發(fā)射出一束超聲波，通過(guò)耦合介質(zhì)進(jìn)入工件內(nèi)部。當(dāng)超聲波傳播過(guò)程中遇到兩種不同材料的界面時(shí)，超聲波發(fā)生反射。探頭接收反射回的超聲信號(hào)，通過(guò)接收到的超聲能量的大小與時(shí)間達(dá)到檢測(cè)焊接面質(zhì)量的目的。
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以DBC陶瓷基板為例，DBC直接鍵合銅工藝是利用高溫加熱將氧化鋁（AI2O3）和銅（Cu）板相結(jié)合。但即使它已是行業(yè)內(nèi)較為前沿的量產(chǎn)技術(shù)，結(jié)合面也不可避免地會(huì)出現(xiàn)微小的氣泡，在后續(xù)使用過(guò)程中產(chǎn)生的熱量會(huì)導(dǎo)致氣泡進(jìn)一步擴(kuò)大，最終導(dǎo)致產(chǎn)品失效。
DBC陶瓷基板內(nèi)部空洞缺陷檢測(cè)
氮化硅內(nèi)部界面超聲SAM檢測(cè)
Hiwave和伍利用超聲波掃描顯微鏡檢測(cè)各種陶瓷材料的內(nèi)部超聲圖像中，我們可以很直觀精確的發(fā)現(xiàn)缺陷的所在具體位置。超聲SAM設(shè)備成像優(yōu)點(diǎn)；檢測(cè)精準(zhǔn)，缺陷分辨力高、成像直觀。缺陷敏感度高、檢測(cè)材料范圍廣、支持分層掃描、斷層掃描，可對(duì)缺陷進(jìn)行定性定量分析，如缺陷面積、占比等。適合檢測(cè)陶瓷材料種各種類(lèi)型的缺陷如空洞、裂紋、氣泡、夾雜、分層、焊接、粘接、電鍍空穴等缺陷。
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陶瓷基板內(nèi)部典型缺陷
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Hiwave和伍超聲波掃描顯微鏡支持多種掃描成像模式；A、B、C、T、批量掃描、斷層掃描。與CT類(lèi)似，支持MES系統(tǒng)接入、并對(duì)缺陷尺寸面積進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)和計(jì)算、可對(duì)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)進(jìn)行編輯并輸出報(bào)告文檔。為陶瓷基板材料內(nèi)部質(zhì)量檢測(cè)方面提供了可靠的檢測(cè)方案及設(shè)備。
上海和伍精密儀器股份有限公司（證券簡(jiǎn)稱(chēng)：和伍精密 證券代碼：837263）毗鄰上海交通大學(xué)閔行校區(qū)，位于滄源科技園·零號(hào)灣內(nèi)，是一家專(zhuān)注于超聲無(wú)損檢測(cè)儀器設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)?，F(xiàn)已通過(guò)ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證。
公司現(xiàn)有產(chǎn)品已通過(guò)CE、CSA認(rèn)證，可有效滿(mǎn)足新能源、特高壓輸配電、軌道交通、石油鉆井、軍工、核工業(yè)等行業(yè)領(lǐng)域，可有效滿(mǎn)足水冷散熱、IGBT、陶瓷基板、晶閘管、IGBT、雷達(dá)、金剛石復(fù)合材料、電力電子等行業(yè)的質(zhì)量管控需求。
公司技術(shù)力量雄厚，獲得歐洲專(zhuān)利1項(xiàng)、日本專(zhuān)利1項(xiàng)，擁有國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利50多項(xiàng)，實(shí)用新型專(zhuān)利100多項(xiàng)，軟件著作權(quán)10多項(xiàng)，商標(biāo)注冊(cè)權(quán)30來(lái)項(xiàng)，先后承擔(dān)了上海市科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新資金8項(xiàng)、閔行區(qū)中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新計(jì)劃項(xiàng)目2項(xiàng)。
公司市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)已覆蓋全國(guó)大部分地區(qū)，公司產(chǎn)品已進(jìn)入華為、法國(guó)施耐德、美國(guó)西門(mén)子、TDK、正泰電氣、美泰樂(lè)、比亞迪、銀輪股份、美爾森、愛(ài)美達(dá)、攀時(shí)、富耐克、海明潤(rùn)等各行業(yè)龍頭企業(yè)，公司憑借優(yōu)異的產(chǎn)品性能，完善的應(yīng)用服務(wù)深受客戶(hù)好評(píng)。
原文始發(fā)于微信公眾號(hào)（和伍智造營(yíng)）：AMB/DBC陶瓷基板超聲SAM檢測(cè)
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