近日，電科材料下屬山西爍科晶體有限公司成功研制出8英寸碳化硅晶體，實(shí)現(xiàn)了8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)。
碳化硅具有的高硬度、高脆性、低斷裂韌性等特點(diǎn)，對(duì)溫度及壓力控制有著極其苛刻的要求，使得在大尺寸碳化硅單晶的制備及切割時(shí)成為非常棘手的問(wèn)題。
爍科公司專業(yè)深耕碳化硅材料領(lǐng)域。2021年8月，經(jīng)過(guò)刻苦攻關(guān)，研制出8英寸碳化硅晶體，成功解決大尺寸單晶制備的重要難題。2022年1月，再次取得重大突破，實(shí)現(xiàn)8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)，向8英寸國(guó)產(chǎn)N型碳化硅拋光片的批量化生產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步，進(jìn)一步縮小國(guó)內(nèi)外技術(shù)差距，為我國(guó)碳化硅事業(yè)的自主保障能力、自主創(chuàng)新發(fā)展夯基固本。
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