
在實際生產(chǎn)中,一枚小小的芯片需要經(jīng)歷成百上千步制造步驟,設(shè)備或工藝的小瑕疵會影響制造芯片的良度。Teflon?氟聚合物具有? 化學惰性,Teflon?聚四氟乙烯 (PTFE) 和四氟乙烯和全氟烷氧基共聚物 (PFA) 等產(chǎn)品與幾乎所有化學品都不會發(fā)生反應(yīng)。利用這種特性可以防止流體處理系統(tǒng)的污染、腐蝕和浸出,降低了污染和晶片缺陷的風險。

(Teflon?氟聚合物樹脂和涂料的典型化學特性)
節(jié)選自科慕Chemours《運用于電子產(chǎn)品的Teflon?氟聚合物》
原文始發(fā)于微信公眾號(艾邦半導體網(wǎng)):科慕Teflon?氟聚合物用于半導體領(lǐng)域