6月7日，日本特殊陶業(yè)全資子公司NTK CERATEC?CO., LTD.宣布將在宮城縣富宮市高屋敷西區(qū)建設(shè)新工廠，并已簽訂了土地銷售合同。
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隨著社會(huì)和經(jīng)濟(jì)數(shù)字化的快速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體的需求越來越大。NTK CERATEC?通過新建工廠滿足半導(dǎo)體需求，優(yōu)化現(xiàn)有生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)高效率、高品質(zhì)制造。
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據(jù)介紹，該工廠占地面積約12.4公頃，主要生產(chǎn)靜電卡盤、結(jié)構(gòu)陶瓷制品，預(yù)計(jì)將于2025年4月投產(chǎn)。
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隨著半導(dǎo)體及集成電路制程設(shè)備和制程工藝的發(fā)展，傳統(tǒng)的以有機(jī)高分子材料和陽極氧化層為電介質(zhì)的靜電卡盤逐步被陶瓷靜電卡盤逐漸替代，陶瓷靜電卡盤擁有良好的導(dǎo)熱和耐鹵素等離子氣氛的性能，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及集成電路核心制程制作中，在高真空等離子體或特氣環(huán)境中起到對(duì)晶圓的夾持和溫度控制等作用，是離子注入、刻蝕等關(guān)鍵制程核心零部件之一。陶靜電卡盤按照主體材料材質(zhì)劃分，可分為氧化鋁和氮化鋁（一般應(yīng)用于靜電吸盤加熱器）兩大類。
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