住友金屬礦山株式會社的全資子公司SICOXS決定新建8英寸鍵合SiC基板開發(fā)線。該公司旗下大口電子株式會社內(nèi)已設立開發(fā)線，計劃于2024年3月竣工。此外，公司將根據(jù)不斷增長的需求加強生產(chǎn)線，力爭到 2025 年實現(xiàn)月產(chǎn) 10,000 片（6 英寸等效）的目標，包括現(xiàn)有的 6 英寸鍵合 SiC 基板量產(chǎn)示范線。
SiC是一種用于功率半導體的半導體材料，主要用于功率控制應用。與傳統(tǒng)的硅相比，它可以處理高電壓，并且可以顯著降低能量損失，因此，特別是近年來，它具有混合動力汽車和電動汽車等驅(qū)動控制裝置所需的大容量范圍（大電流和高耐壓）。作為可以支持整個裝置的小型化和電動汽車的續(xù)航里程提高的優(yōu)秀材料，引起廣泛關注。SiC功率器件市場正在迅速擴大，預計到2025年將增長到3500億日元左右，是2021年的5倍。
SICOXS制造并銷售的鍵合SiC基板（商品名"SiCkrest?"）通過應用獨特的鍵合技術(shù)形成兩層晶圓，實現(xiàn)了性能和成本并重的產(chǎn)品。通過在低電阻多晶 SiC 支撐襯底上薄層層壓高質(zhì)量的單晶，保持了單晶 SiC 的特性，整個襯底具有低電阻和高強度。
此外，由于可以從一個稀有且昂貴的單晶基板制造到 50 個或更多的層壓基板，可以靈活地滿足對 SiC 基板快速增長的需求，并為減輕環(huán)境負擔做出貢獻。
SICOXS從 2017 年開始建設 6 英寸 SiCkrest? 的量產(chǎn)示范線，并正在向部分客戶銷售，隨著這條 8 英寸開發(fā)線的推出，可以快速滿足客戶對大尺寸的需求。
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導體網(wǎng)）：日本SICOXS新建8英寸SiC基板開發(fā)線