邊調(diào)試邊生產(chǎn)！科友半導(dǎo)體碳化硅襯底產(chǎn)能加速釋放

科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項目大樓

據(jù)悉，科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項目由哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司（簡稱科友半導(dǎo)體）與哈爾濱新區(qū)共同投資10億元建設(shè)，將打造包括技術(shù)開發(fā)、裝備設(shè)計等在內(nèi)的全產(chǎn)業(yè)鏈的科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用研究集聚區(qū)，并以哈爾濱為總部，打造國家級第三代半導(dǎo)體裝備與材料創(chuàng)新中心、成為黑龍江省第三代半導(dǎo)體材料研發(fā)及裝備制造的新高地。從2021年7月正式開工以來，始終搶抓工期，短短一年多時間，就完成了項目一期2萬平方米廠區(qū)的建設(shè)。

科友半導(dǎo)體成立于2018年，是一家專注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制造、器件設(shè)計、技術(shù)轉(zhuǎn)移和科研成果轉(zhuǎn)化的國家級高新技術(shù)企業(yè)，具備解決我國在高端裝備和襯底材料制造上“卡脖子”問題的超強實力。目前，科友半導(dǎo)體研制的碳化硅感應(yīng)長晶爐已實現(xiàn)99%的部件國產(chǎn)化替代，電阻式長晶爐也具備投產(chǎn)條件。在碳化硅晶體生長方面，科友半導(dǎo)體在6英寸碳化硅單晶厚度上突破40毫米，達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先。同時，在長晶周期、生產(chǎn)成本、晶體良率等方面已經(jīng)達(dá)到并保持國際同行業(yè)先進水平。作為數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展底盤支撐，科友半導(dǎo)體大尺寸碳化硅襯底材料廣泛應(yīng)用在5G通訊、新能源汽車、芯片制造、照明光源等領(lǐng)域。

生產(chǎn)設(shè)備整齊擺放

“科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項目是哈爾濱新區(qū)大力優(yōu)化營商環(huán)境，吸引高學(xué)歷、高層次海外人才歸國創(chuàng)業(yè)的典型范例；是新區(qū)夯實數(shù)字經(jīng)濟硬實力，著力打造四大經(jīng)濟引擎，落實自創(chuàng)區(qū)創(chuàng)新發(fā)展的具體體現(xiàn)?！惫枮I新區(qū)招商集團副總經(jīng)理陶冠宇介紹說，項目籌劃至今，哈爾濱新區(qū)給予了“保姆式”護航，從項目謀劃、融資、審批、建設(shè)等全過程做好全方位保障工作。兩年來，哈爾濱新區(qū)支持科友半導(dǎo)體圓滿舉辦了兩屆國際半導(dǎo)體峰會，創(chuàng)立了中俄第三代半導(dǎo)體研究院、獲批黑龍江省新型研發(fā)機構(gòu)、哈爾濱市中外聯(lián)合創(chuàng)新中心，有力推動了黑龍江省半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展。目前，哈爾濱新區(qū)積極幫助企業(yè)謀劃下一階段發(fā)展，對企業(yè)提出的新的土地需求，已經(jīng)提前介入，超前服務(wù)。

在采訪中記者了解到，科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)的建成投用，將使科友半導(dǎo)體以更高的長晶良率、更快的長晶速度、更低的長晶成本，弄潮第三代半導(dǎo)體行業(yè)?！澳壳吧a(chǎn)車間里已經(jīng)安裝完100臺長晶爐，后續(xù)還要安裝100臺。預(yù)計全部達(dá)產(chǎn)后可形成年產(chǎn)10萬片6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)能力。”科友半導(dǎo)體副總經(jīng)理段樹國告訴記者，科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)將繼續(xù)深耕第三代半導(dǎo)體材料和裝備領(lǐng)域，努力實現(xiàn)碳化硅材料從提純-裝備制造-晶體生長-襯底加工-外延晶圓的全產(chǎn)業(yè)鏈閉合，成為行業(yè)內(nèi)頂尖的材料端全閉合企業(yè)。按照企業(yè)發(fā)展規(guī)劃，未來兩年科友半導(dǎo)體將實現(xiàn)年產(chǎn)20至30萬片碳化硅襯底的產(chǎn)能，致力成為全球第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵材料供應(yīng)商之一。