2023年12月28日上午，廣州增芯科技有限公司舉行首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備搬入儀式。
本次搬入設(shè)備是由中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司制造的Primo D-RIE?刻蝕設(shè)備反應(yīng)臺(tái)，也是增芯12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目搬入的首臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備，運(yùn)用了中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，是國(guó)際主流芯片生產(chǎn)線上必不可少的設(shè)備。該設(shè)備的搬入，是繼項(xiàng)目“920封頂”以來(lái)的重要交付，標(biāo)志著增芯項(xiàng)目一期工程土建和機(jī)電安裝已經(jīng)完工，項(xiàng)目由建設(shè)期正式轉(zhuǎn)入運(yùn)營(yíng)前的生產(chǎn)準(zhǔn)備階段。本次活動(dòng)的圓滿成功，標(biāo)志著增芯正式邁入新起點(diǎn)、新征程。
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