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近日,邁為股份半導(dǎo)體晶圓研拋一體設(shè)備順利發(fā)往國(guó)內(nèi)頭部封測(cè)企業(yè)華天科技(江蘇)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“江蘇華天”),同步供應(yīng)的還有12英寸晶圓減薄設(shè)備以及晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備。本次合作標(biāo)志著公司自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首款(干拋式)晶圓研拋一體設(shè)備各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到預(yù)期,開(kāi)啟客戶(hù)端產(chǎn)品驗(yàn)證。

國(guó)內(nèi)首款,邁為股份半導(dǎo)體晶圓研拋一體設(shè)備成功交付華天科技
國(guó)內(nèi)首款,邁為股份半導(dǎo)體晶圓研拋一體設(shè)備成功交付華天科技

設(shè)備交付現(xiàn)場(chǎng)(左右滑動(dòng)查看更多)

國(guó)內(nèi)首款,邁為股份半導(dǎo)體晶圓研拋一體設(shè)備成功交付華天科技
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設(shè)備介紹(左右滑動(dòng)查看更多)

2021年起,邁為股份向華天科技(西安)有限公司供應(yīng)半導(dǎo)體晶圓激光開(kāi)槽設(shè)備,得益于激光能量控制、槽型及切割深度控制等多項(xiàng)技術(shù)優(yōu)勢(shì),該設(shè)備已實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可靠、行業(yè)領(lǐng)先的量產(chǎn)表現(xiàn)。兩年多的友好合作,贏得了華天科技對(duì)邁為股份產(chǎn)品和服務(wù)的充分認(rèn)可。以此為基礎(chǔ),雙方進(jìn)一步深化交流,達(dá)成了本次邁為股份與江蘇華天的合作。

 

此外,邁為股份正與華天科技(南京)有限公司建立關(guān)于“超薄存儲(chǔ)器晶圓磨切加工方案”的全面合作,現(xiàn)已簽訂晶圓研拋一體設(shè)備、擴(kuò)片設(shè)備等設(shè)備供應(yīng)訂單。

 

關(guān)于晶圓研磨

為半導(dǎo)體芯片制造的后道工藝——封裝測(cè)試中的重要一環(huán),研磨工藝的主要作用是在控制晶圓厚度,保證芯片強(qiáng)度的同時(shí),提高芯片集成度。

隨著半導(dǎo)體工藝進(jìn)入2.5D/3D時(shí)代,先進(jìn)封裝、Chiplet等技術(shù)的應(yīng)用大幅提升,對(duì)晶圓磨劃設(shè)備的精度和穩(wěn)定性提出了更高的要求。
對(duì)于研磨設(shè)備,需將晶圓的厚度減薄至50-100μm甚至50μm以下,以提升芯片的器件性能、散熱能力和封裝密度。因此,研磨技術(shù)的重要性愈發(fā)顯著,然而國(guó)內(nèi)芯片制造企業(yè)所需的研磨設(shè)備高度依賴(lài)進(jìn)口,影響著供應(yīng)鏈的安全與穩(wěn)定。
以核心高端裝備國(guó)產(chǎn)化為己任,通過(guò)自主研發(fā)創(chuàng)新,邁為股份重點(diǎn)攻關(guān)了高精密氣浮平臺(tái)、高功率高效率激光、SLM空間光調(diào)制等關(guān)鍵技術(shù),成功研制了半導(dǎo)體晶圓研拋一體設(shè)備,強(qiáng)化了磨劃設(shè)備陣容,保障并提升了客戶(hù)端封裝產(chǎn)品的質(zhì)量、良率和生產(chǎn)效率。
國(guó)內(nèi)首款,邁為股份半導(dǎo)體晶圓研拋一體設(shè)備成功交付華天科技

關(guān)于蘇州邁為科技股份有限公司

蘇州邁為科技股份有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng):邁為股份,股票代碼:300751)于2010年9月成立,是一家集機(jī)械設(shè)計(jì)、電氣研制、軟件開(kāi)發(fā)、精密制造于一體的高端裝備制造商,公司面向太陽(yáng)能光伏、顯示、半導(dǎo)體三大行業(yè),研發(fā)、制造、銷(xiāo)售智能化高端裝備,主要產(chǎn)品包括全自動(dòng)太陽(yáng)能電池絲網(wǎng)印刷生產(chǎn)線、異質(zhì)結(jié)高效電池制造整體解決方案、OLED 柔性屏激光設(shè)備、MLED 全線自動(dòng)化設(shè)備解決方案、半導(dǎo)體晶圓封裝設(shè)備等。

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文章來(lái)源:邁為股份

原文始發(fā)于微信公眾號(hào)(艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)):國(guó)內(nèi)首款,邁為股份半導(dǎo)體晶圓研拋一體設(shè)備成功交付華天科技

作者 li, meiyong

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