蘇州瑞霏光電科技有限公司，專業(yè)從事先進光學(xué)檢測及成像系統(tǒng)研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè)，2018年8月注冊于蘇州太倉，在上海設(shè)有研發(fā)中心及分公司，在深圳設(shè)有辦事處。
公司擁有清華大學(xué)等高校博士領(lǐng)銜的研發(fā)團隊，現(xiàn)公司已獲授權(quán)發(fā)明專利和實用新型專利50余項、軟件著作權(quán)7項；公司屬于全國光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化委員會、全國光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化委員會顯微鏡分標(biāo)委的委員單位。?
瑞霏產(chǎn)品涵蓋自由曲面三維面型檢測儀、晶圓翹曲薄膜應(yīng)力測量儀、多模式三維測量顯微鏡、化合物晶圓內(nèi)應(yīng)力檢測儀、晶錠三維輪廓測量儀、晶圓缺陷掃描顯微鏡以及精密光學(xué)鏡頭等，廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)制造、半導(dǎo)體晶圓、智能汽車電子系統(tǒng)、智能終端顯示、AR/VR產(chǎn)品等高端制造生產(chǎn)線，相關(guān)技術(shù)處于國內(nèi)領(lǐng)先水平，并已形成批量生產(chǎn)能力。??
蘇州瑞霏光電科技有限公司致力于成為三維檢測裝備的領(lǐng)軍企業(yè)，為先進制造提供精密的“眼睛”，基于為高端智能制造保駕護航的發(fā)展戰(zhàn)略，公司以提升客戶檢測效率與產(chǎn)品質(zhì)量為使命，以專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和對客戶業(yè)務(wù)的深入理解，為客戶提供從研發(fā)到生產(chǎn)到質(zhì)控的精密三維檢測方案。
晶圓內(nèi)應(yīng)力檢測儀 Strain Viewer
具備化合物晶圓和藍(lán)寶石晶圓內(nèi)應(yīng)力分布定量測量及缺陷定位篩查的功能。?
優(yōu)勢
√?基于雙折射應(yīng)力測量模型實現(xiàn)應(yīng)力瞬時測量，顯示應(yīng)力二維分布偽彩圖
√?采用雙遠(yuǎn)心檢測光路，內(nèi)應(yīng)力測量精度高
√?業(yè)界領(lǐng)先水平的內(nèi)應(yīng)力檢測橫向解析度，可實現(xiàn)微小缺陷定位
√?訂制化樣品托盤，適應(yīng)不同規(guī)格晶圓批量測試
結(jié)合納米級白光干涉測量，光譜共焦掃描和超景深圖像融合三種測量模式于一體，具有極高的應(yīng)用場景適應(yīng)性。? ?
優(yōu)勢
√?優(yōu)越的表面粗糙度測量能力（亞納米級至微米級）
√?高效率大區(qū)域三維輪廓測量能力 （數(shù)微米級測量區(qū)域至百毫米級測量區(qū)域）
晶圓翹曲應(yīng)力測量儀 Stress Mapper
具備三維翹曲（平整度）及薄膜應(yīng)力的檢測功能，適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn)，尤其具有測量整面翹曲曲率分布的能力。? ?
優(yōu)勢
√?全口徑均勻采樣測量，采樣間隔最少可至0.1mm
√?同時具備翹曲測量及應(yīng)力測量功能
√?直觀展現(xiàn)薄膜導(dǎo)致的晶圓形變，可計算整面應(yīng)力mapping和任意角度的曲率及應(yīng)力
√?強大的附加模塊：薄膜應(yīng)力變溫測量模塊（室溫到500℃）
√?豐富的軟件分析功能，包括：三維翹曲圖、晶圓翹曲參數(shù)統(tǒng)計（BOW，WARP等）、ROI分析、薄膜應(yīng)力及分布、應(yīng)力隨時間變化、薄膜應(yīng)力變溫測量、曲率計算、多項式擬合、空間濾波等多種后處理算法。?
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：瑞霏光電碳化硅晶圓內(nèi)應(yīng)力檢測儀介紹
