6月7日，日本特殊陶業(yè)全資子公司NTK CERATEC?CO., LTD.宣布將在宮城縣富宮市高屋敷西區(qū)建設新工廠，并已簽訂了土地銷售合同。
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隨著社會和經濟數字化的快速發(fā)展，對半導體的需求越來越大。NTK CERATEC?通過新建工廠滿足半導體需求，優(yōu)化現有生產線，實現高效率、高品質制造。
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據介紹，該工廠占地面積約12.4公頃，主要生產靜電卡盤、結構陶瓷制品，預計將于2025年4月投產。
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隨著半導體及集成電路制程設備和制程工藝的發(fā)展，傳統(tǒng)的以有機高分子材料和陽極氧化層為電介質的靜電卡盤逐步被陶瓷靜電卡盤逐漸替代，陶瓷靜電卡盤擁有良好的導熱和耐鹵素等離子氣氛的性能，廣泛應用于半導體及集成電路核心制程制作中，在高真空等離子體或特氣環(huán)境中起到對晶圓的夾持和溫度控制等作用，是離子注入、刻蝕等關鍵制程核心零部件之一。陶靜電卡盤按照主體材料材質劃分，可分為氧化鋁和氮化鋁（一般應用于靜電吸盤加熱器）兩大類。
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