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據(jù)中電科官網(wǎng)消息,近日,中國電科46所成功制備出2英寸氧化鎵同質外延片,實現(xiàn)在該領域的再次突破。

走進緊張忙碌的新型半導體材料重點實驗室,一臺臺單晶和外延生長設備映入眼簾,在這些看似神秘的裝置里,白色氧化鎵粉末聚沙成塔默默生長,由它打磨而成的拋光片、外延片,制作成的各類器件,在消費電子、新能源汽車、特高壓輸電、軌道交通等領域有著廣闊應用前景。

氧化鎵作為第四代半導體材料可謂"天資卓越",超大禁帶寬度使其能用更少材料制造出更高耐壓、更強處理能力的半導體器件。面對氧化鎵自主創(chuàng)新重任,46所實施揭榜掛帥,突破2英寸、4英寸氧化鎵單晶生長技術,研制出高耐壓外延片,為實現(xiàn)氧化鎵批量生產打下堅實基礎。

中國電科46所成功制備出2英寸氧化鎵同質外延片

這是中國電科加快關鍵基礎材料自主創(chuàng)新的生動實踐。

堅持把科技命脈掌握在自己手中,46所以超寬禁帶半導體技術創(chuàng)新為引領,以硅外延產業(yè)優(yōu)勢為依托,加快突破先進硅材料和化合物半導體材料原創(chuàng)技術。

從率先研制出滿足深紫外探測要求的高透氮化鋁單晶,技術領先的同帶泵浦激光光纖,到大幅提升6英寸砷化鎵單晶材料電阻率,從形成硅單晶、硅片、硅外延等完整產業(yè)鏈,到光纖環(huán)圈產能產量實現(xiàn)翻番增長。近年來,立足電子功能材料領域深厚基礎,46所聚焦"打基礎、見成效、跨越式發(fā)展"三步走目標,全面布局一代、二代、三代、四代半導體"賽道",奮力實現(xiàn)系列創(chuàng)新突破。

創(chuàng)新實力穩(wěn)步提升,為產業(yè)應用提供了硬支撐。

全力推進科技成果轉化和產業(yè)化發(fā)展,46所加快布局第三代半導體材料產業(yè),不斷延鏈擴鏈強鏈,不斷提升行業(yè)地位和影響力,勇?lián)a業(yè)鏈"鏈長",奮力打造國內領先、世界先進的材料創(chuàng)新發(fā)展集群,支撐我國半導體材料產業(yè)蓬勃發(fā)展。

來源:中電科官網(wǎng)

原文始發(fā)于微信公眾號(艾邦半導體網(wǎng)):中國電科46所成功制備出2英寸氧化鎵同質外延片

作者 li, meiyong

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