日本東洋炭素（Toyo Tanso Co., Ltd.）擬投資約70億日元增加高純度石墨產(chǎn)品和 SiC 涂層石墨產(chǎn)品的生產(chǎn)能力，以滿足 Si（硅）半導(dǎo)體和 SiC（碳化硅）半導(dǎo)體需求。
東洋炭素生產(chǎn)和銷售用作半導(dǎo)體制造設(shè)備結(jié)構(gòu)件的高性能石墨產(chǎn)品。隨著IoT、AI、EV等的發(fā)展對半導(dǎo)體的強(qiáng)烈需求，石墨產(chǎn)品的需求也在增加。包括 Si 半導(dǎo)體和 SiC 半導(dǎo)體在內(nèi)的化合物半導(dǎo)體的晶圓制造工藝要承受 1000 度以上的超高溫。因此，大量使用經(jīng)過高純度處理的高耐熱石墨制成的產(chǎn)品。此外，高純度石墨產(chǎn)品還用于離子注入等半導(dǎo)體制造工藝，以及太陽能電池和光纖制造等各種應(yīng)用。
碳化硅涂層石墨產(chǎn)品是涂有 SiC 薄膜的各向同性石墨，可抑制石墨基材中顆粒和氣體的產(chǎn)生，用作處理高電壓和大電流的功率半導(dǎo)體代表的 Si 半導(dǎo)體和 SiC 半導(dǎo)體的外延工藝中的組件。特別是對 SiC 半導(dǎo)體的需求隨著電動汽車和節(jié)能市場的增長而持續(xù)增長。
基于把握中長期增長的半導(dǎo)體市場需求的增長戰(zhàn)略，東洋炭素將總共投資約70億日元，以提高高純度石墨產(chǎn)品和SiC涂層石墨的生產(chǎn)能力產(chǎn)品，繼續(xù)滿足市場需求。
在中期經(jīng)營計(jì)劃中，東洋炭素計(jì)劃在 2022 年至 2026 年的 5 年間總共進(jìn)行 370 億日元的資本投資，其中 60% 將是戰(zhàn)略投資。此次資金投入的目的不僅在于增加產(chǎn)量，還在于通過自動化等手段追求更高的質(zhì)量和節(jié)省勞動力，從而提高生產(chǎn)效率。因此，高純石墨產(chǎn)品（到2025年）和碳化硅涂層石墨產(chǎn)品（到2024年）的產(chǎn)能都將比 2022 財年增加約 1.5 倍。
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：東洋炭素擬70億日元擴(kuò)大半導(dǎo)體用高性能石墨產(chǎn)品產(chǎn)能