朗盛新型混床樹脂，用于半導體生產(chǎn)中的超純水
- LewatitUltraPure?1296?MD?PLUS?現(xiàn)已上市
- 顯著降低離子交換樹脂成分中的金屬含量
- 將 TOC（總有機碳）和微粒的釋放量降至最低
- 高運行能力
2023年10月10日，上?！厥饣瘜W品公司朗盛研發(fā)出一種新型混床樹脂，用于半導體生產(chǎn)中的超純水。與已有的Lewatit UltraPure 1296 MD混床樹脂相比，新型UltraPure 1296 MD PLUS混床樹脂的鐵、鋅和鈉等金屬含量更低。該產(chǎn)品作為半導體生產(chǎn)中的終端拋光過濾器，其早期安裝結果已接近目前的分析檢測極限。
朗盛將在UltraPure Micro會議上向?qū)I(yè)觀眾展示其新型離子交換樹脂。該會議于2023年10月10日至12日在美國得克薩斯州奧斯汀舉行。
朗盛液體凈化技術業(yè)務部技術營銷經(jīng)理Hans-Juergen Wedemeyer表示："在德國生產(chǎn)的Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS離子交換樹脂對國際上蓬勃發(fā)展的半導體行業(yè)而言，是實現(xiàn)低成本、可持續(xù)和無故障生產(chǎn)的重要組成部分。
Lewatit?UltraPure?1296?MD?PLUS，用于最艱巨的任務
半導體和顯示器的生產(chǎn)需要進行復雜的水處理，以確保所用的水達到要求的純度。因此，最新一代的晶片和微芯片對所使用的離子交換樹脂系統(tǒng)的質(zhì)量要求也相應更高。此外，新的分析系統(tǒng)能夠分析低 ppt（萬億分之一）范圍內(nèi)的離子。對于某些類型的離子，它們可以達到ppq（千萬億分之一）范圍。要達到現(xiàn)代工業(yè)所需的半導體性能，可能需要多達 200?個處理步驟。為此所需的超純水是通過復雜的多級工藝提供的。操作過程中最重要的步驟包括使用標準離子交換樹脂進行常規(guī)一級脫鹽、反滲透、脫氣、超濾和過氧化氫去除，而最后一個階段則是使用超純混床樹脂進行終端拋光。新型 Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS 離子交換樹脂就是為這最后一步專門研發(fā)的，它對整個工藝的成功至關重要。
這樣處理后的超純水可用于微芯片生產(chǎn)中的蝕刻和清洗過程。Wedemeyer 說：“陰離子和陽離子交換樹脂的總?cè)萘看?，再生能力強，因此在去除硼、二氧化硅以及金屬離子方面也具有出色的運行能力。”
Wedemeyer 補充說：“單分散成分的微珠尺寸設計可避免陰陽離子交換樹脂意外分離。由于 Lewatit UltraPure 1296 MD PLUS離子交換樹脂采用了特殊的生產(chǎn)工藝，微粒和 TOC 的釋放量極低?！?/p>
有關液體凈化技術業(yè)務部產(chǎn)品的更多詳細信息，請訪問網(wǎng)站 www.lewatit.com。
關于朗盛
朗盛是全球領先的特殊化學品供應商，2022年銷售總額為81億歐元，在全球擁有約13,100名員工，分布在32個國家。朗盛的核心業(yè)務包括開發(fā)、生產(chǎn)及銷售化學中間體產(chǎn)品、添加劑與消費者保護產(chǎn)品。朗盛已被納入領先的道瓊斯可持續(xù)發(fā)展指數(shù)（DJSI全球及歐洲）中。
朗盛中國
2005年1月31日，朗盛股票首次在法蘭克福證券交易所掛牌上市，朗盛化學（中國）有限公司正式運營。如今朗盛在大中華區(qū)擁有13家下屬企業(yè)，5個研發(fā)中心以及5處生產(chǎn)基地。朗盛與當?shù)氐暮献骰锇槊芮泻献?，開發(fā)以市場為導向的解決方案以滿足當?shù)厥袌鲂枨蟆?/p>
原文始發(fā)于微信公眾號（艾邦半導體網(wǎng)）：朗盛新型混床樹脂，用于半導體生產(chǎn)中的超純水