蘇州瑞霏光電科技有限公司,專業(yè)從事先進(jìn)光學(xué)檢測(cè)及成像系統(tǒng)研發(fā)與生產(chǎn)的高新技術(shù)企業(yè),2018年8月注冊(cè)于蘇州太倉(cāng),在上海設(shè)有研發(fā)中心及分公司,在深圳設(shè)有辦事處。
公司擁有清華大學(xué)等高校博士領(lǐng)銜的研發(fā)團(tuán)隊(duì),現(xiàn)公司已獲授權(quán)發(fā)明專利和實(shí)用新型專利50余項(xiàng)、軟件著作權(quán)7項(xiàng);公司屬于全國(guó)光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)、全國(guó)光學(xué)與光子學(xué)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)顯微鏡分標(biāo)委的委員單位。?
瑞霏產(chǎn)品涵蓋自由曲面三維面型檢測(cè)儀、晶圓翹曲薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x、多模式三維測(cè)量顯微鏡、化合物晶圓內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀、晶錠三維輪廓測(cè)量?jī)x、晶圓缺陷掃描顯微鏡以及精密光學(xué)鏡頭等,廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)制造、半導(dǎo)體晶圓、智能汽車電子系統(tǒng)、智能終端顯示、AR/VR產(chǎn)品等高端制造生產(chǎn)線,相關(guān)技術(shù)處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平,并已形成批量生產(chǎn)能力。??
蘇州瑞霏光電科技有限公司致力于成為三維檢測(cè)裝備的領(lǐng)軍企業(yè),為先進(jìn)制造提供精密的“眼睛”,基于為高端智能制造保駕護(hù)航的發(fā)展戰(zhàn)略,公司以提升客戶檢測(cè)效率與產(chǎn)品質(zhì)量為使命,以專業(yè)的技術(shù)服務(wù)和對(duì)客戶業(yè)務(wù)的深入理解,為客戶提供從研發(fā)到生產(chǎn)到質(zhì)控的精密三維檢測(cè)方案。
晶圓內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀 Strain Viewer
具備化合物晶圓和藍(lán)寶石晶圓內(nèi)應(yīng)力分布定量測(cè)量及缺陷定位篩查的功能。?
優(yōu)勢(shì)
√?基于雙折射應(yīng)力測(cè)量模型實(shí)現(xiàn)應(yīng)力瞬時(shí)測(cè)量,顯示應(yīng)力二維分布偽彩圖
√?采用雙遠(yuǎn)心檢測(cè)光路,內(nèi)應(yīng)力測(cè)量精度高
√?業(yè)界領(lǐng)先水平的內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)橫向解析度,可實(shí)現(xiàn)微小缺陷定位
√?訂制化樣品托盤,適應(yīng)不同規(guī)格晶圓批量測(cè)試
結(jié)合納米級(jí)白光干涉測(cè)量,光譜共焦掃描和超景深圖像融合三種測(cè)量模式于一體,具有極高的應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性。? ?
優(yōu)勢(shì)
√?優(yōu)越的表面粗糙度測(cè)量能力(亞納米級(jí)至微米級(jí))
√?高效率大區(qū)域三維輪廓測(cè)量能力 (數(shù)微米級(jí)測(cè)量區(qū)域至百毫米級(jí)測(cè)量區(qū)域)
晶圓翹曲應(yīng)力測(cè)量?jī)x Stress Mapper
具備三維翹曲(平整度)及薄膜應(yīng)力的檢測(cè)功能,適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、半導(dǎo)體制程工藝開(kāi)發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn),尤其具有測(cè)量整面翹曲曲率分布的能力。? ?
優(yōu)勢(shì)
√?全口徑均勻采樣測(cè)量,采樣間隔最少可至0.1mm
√?同時(shí)具備翹曲測(cè)量及應(yīng)力測(cè)量功能
√?直觀展現(xiàn)薄膜導(dǎo)致的晶圓形變,可計(jì)算整面應(yīng)力mapping和任意角度的曲率及應(yīng)力
√?強(qiáng)大的附加模塊:薄膜應(yīng)力變溫測(cè)量模塊(室溫到500℃)
√?豐富的軟件分析功能,包括:三維翹曲圖、晶圓翹曲參數(shù)統(tǒng)計(jì)(BOW,WARP等)、ROI分析、薄膜應(yīng)力及分布、應(yīng)力隨時(shí)間變化、薄膜應(yīng)力變溫測(cè)量、曲率計(jì)算、多項(xiàng)式擬合、空間濾波等多種后處理算法。?
原文始發(fā)于微信公眾號(hào)(艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)):瑞霏光電碳化硅晶圓內(nèi)應(yīng)力檢測(cè)儀介紹