7月9日，?天岳先進(jìn)發(fā)布公告稱(chēng)，公司擬以簡(jiǎn)易程序向特定對(duì)象發(fā)行股票，募集資金總額不超過(guò)3億元（含本數(shù)），扣除相關(guān)發(fā)行費(fèi)用后的募集資金凈額將用于投資8英寸車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅襯底制備技術(shù)提升項(xiàng)目，本次發(fā)行的發(fā)行對(duì)象不超過(guò)35名（含）。
根據(jù)公告顯示，本次項(xiàng)目主要研發(fā)方向包括碳化硅生長(zhǎng)熱場(chǎng)仿真、碳化硅單晶應(yīng)力控制、碳化硅單晶微缺陷控制、導(dǎo)電型碳化硅電阻率控制等，具體內(nèi)容如下圖。
本次募集資金主要用于建設(shè)投資，其建設(shè)周期為 24 個(gè)月，包括廠房?jī)艋g裝修改造、設(shè)備采購(gòu)安裝、新技術(shù)和工藝試驗(yàn)等三個(gè)階段。
而在近日，上海臨港管委會(huì)網(wǎng)站發(fā)布了上海天岳半導(dǎo)體材料有限公司（天岳先進(jìn)子公司） “碳化硅半導(dǎo)體材料二期（一階段）項(xiàng)目”的環(huán)評(píng)公示信息。
公示信息顯示，本項(xiàng)目為在現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)進(jìn)行改擴(kuò)建，主要從事碳化硅晶片的生產(chǎn)。上海天岳利用“現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)增加生產(chǎn)設(shè)備開(kāi)展8英寸碳化硅晶片生產(chǎn)線建設(shè)，并對(duì)現(xiàn)有6英寸碳化硅晶片部分工藝進(jìn)行改造”。
上海天岳公示環(huán)評(píng)表明該公司的上海臨港工廠二期8英寸碳化硅襯底產(chǎn)能建設(shè)已經(jīng)進(jìn)入實(shí)質(zhì)性階段。并披露，公司臨港工廠已經(jīng)達(dá)到年產(chǎn)30萬(wàn)片襯底產(chǎn)能規(guī)劃目標(biāo)。臨港工廠的8英寸碳化硅總體產(chǎn)能規(guī)劃約60萬(wàn)片，公司將分階段實(shí)施。
隨著碳化硅功率半導(dǎo)體在電動(dòng)汽車(chē)、光伏、儲(chǔ)能、5G 等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，當(dāng)前以 SiC 為代表的寬禁帶半導(dǎo)體正在隨著在終端領(lǐng)域的持續(xù)滲透而從導(dǎo)入期過(guò)渡到快速發(fā)展期?；谔蓟璋雽?dǎo)體廣闊的應(yīng)用前景，國(guó)際領(lǐng)先的襯底廠商已經(jīng)開(kāi)始向 8 英寸碳化硅襯底產(chǎn)能建設(shè)布局，國(guó)際一線芯片制造廠商也紛紛計(jì)劃擴(kuò)大 8 英寸碳化硅晶圓制造，以爭(zhēng)奪產(chǎn)業(yè)高地。
行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先公司 Wolfspeed 數(shù)據(jù)顯示，從 6 英寸升級(jí)到 8 英寸，襯底的制備 成本雖然有所增加，但從下游晶圓制造端看，合格芯片產(chǎn)量可以增加 80%-90%；同時(shí) 8 英寸襯底厚度增加有助于在加工時(shí)保持幾何形狀、減少邊緣翹曲度，降低 缺陷密度，從而提升良率，采用 8 英寸襯底可以將單位綜合成本降低 50%，進(jìn)一 步加快碳化硅功率器件在下游領(lǐng)域的滲透應(yīng)用。
從國(guó)際上看，8 英寸碳化硅技術(shù)已經(jīng)成為各國(guó)競(jìng)相布局的戰(zhàn)略布局高地。本項(xiàng)目天岳先進(jìn)以 8 英寸碳化硅襯底關(guān)鍵技術(shù)提升、工藝優(yōu)化的研發(fā)攻關(guān)目標(biāo)，進(jìn)行高品質(zhì)車(chē)規(guī)級(jí) 8 英寸碳化硅襯底關(guān)鍵技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新，以及進(jìn)行工程化研發(fā)試驗(yàn)。
天岳先進(jìn)在設(shè)計(jì) 8 英寸碳化硅單晶生長(zhǎng)熱場(chǎng)的基礎(chǔ)上，合理設(shè)計(jì)晶體生長(zhǎng)工藝， 解決大尺寸熱場(chǎng)下的成核均勻性及誘生的微管、多型等缺陷問(wèn)題，掌握低應(yīng)力 8 英寸碳化硅單晶制備技術(shù)以及襯底表面超精密加工技術(shù)等，實(shí)現(xiàn)具有良好面型、高平整度、低粗糙度的“開(kāi)盒即用”的高質(zhì)量車(chē)規(guī)級(jí)碳化硅半導(dǎo)體襯底，實(shí)現(xiàn)工程化大批量穩(wěn)定制備能力的技術(shù)優(yōu)化提升。
原文始發(fā)于微信公眾號(hào)（艾邦半導(dǎo)體網(wǎng)）：天岳先進(jìn)擬募集3億元投資8英寸碳化硅襯底項(xiàng)目
