晶圓載具是用來在加工制程中以及工廠之間晶圓的存儲(chǔ)、傳送、運(yùn)輸以及防護(hù)。晶圓載具種類很多，且各有應(yīng)用，如前開式晶圓傳送盒FOUP可用于制造工廠內(nèi)半導(dǎo)體制程中，前開式晶圓運(yùn)輸盒FOSB可用于制造工廠之間的運(yùn)輸，晶片花籃可用于晶片的清洗等。（https://www.ab-sm.com）
圖源：LAM RESEARCH
晶圓載具需要具有高潔凈度、良好的耐磨性、抗靜電、尺寸穩(wěn)定性、可回收再利用等特點(diǎn)。材質(zhì)有金屬、PFA、PTFE、PP、PEEK、PES、PC、PBT、PEI、COP等。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷發(fā)展，對(duì)晶圓載具的要求也更高，如更高的潔凈度、滿足自動(dòng)化需求，需要經(jīng)過嚴(yán)格的認(rèn)證等等，晶圓載具行業(yè)準(zhǔn)入門檻較高。全球市場(chǎng)集中度高，美、日、韓以及中國臺(tái)灣的幾家企業(yè)占據(jù)全球晶圓載具市場(chǎng)占據(jù)主要市場(chǎng)份額，如 Entegris 、Shinetsu Polymer、DAINICHI SHOJI K.K.、Miraial、３S KOREA、家登、億尚、中勤等。國內(nèi)晶圓載具企業(yè)多以生產(chǎn)晶圓包裝盒、晶舟等產(chǎn)品為主，技術(shù)難度較大的 FOUP、FOSB 少有生產(chǎn)，且市場(chǎng)占有率較低。
表 ? 主要晶圓載具企業(yè)
國家及地區(qū) | 生產(chǎn)企業(yè) | 產(chǎn)品 |
美國 | 應(yīng)特格Entegris | FOUP、FOSB、晶圓包裝盒、晶舟、提把等 |
Gel-Pak | 晶圓包裝盒、真空釋放盒 |
日本 | 信越聚合物Shinetsu Polymer | FOUP、FOSB、晶圓運(yùn)輸盒 |
大日商事株式會(huì)社DAINICHI SHOJI K.K. | FOUP、FOSB、晶圓儲(chǔ)存盒、晶舟盒、晶舟把 |
Miraial | FOUP、FOSB、單晶圓盒、晶圓運(yùn)輸盒、晶舟、晶舟把等 |
Fuji Bakelite | 晶圓運(yùn)輸盒 |
阿基利斯株式會(huì)社 | 晶圓包裝盒 |
韓國 | ３S?KOREA | FOSB、FOUP、晶圓包裝盒、晶圓運(yùn)輸盒 |
SEYANG | 晶圓傳送盒、晶圓運(yùn)輸盒 |
SANG-A FRONTEC | FOUP、晶圓儲(chǔ)存盒、晶舟 |
中國臺(tái)灣 | 家登精密 | FOUP、FOSB、晶圓傳送盒、晶圓盒、晶舟 |
億尚科技 | FOUP、FOSB、晶圓傳送盒 |
中勤實(shí)業(yè) | FOUP、FOSB、晶圓盒、晶舟 |
中國大陸 | 義柏深圳ePAK | 晶圓運(yùn)輸盒、晶圓框架、晶舟、單片晶圓盒 |
興宇宏 | FOUP、多片水平放置晶圓盒、晶舟傳送盒、八角盒、晶圓出貨盒、晶舟 |
榮耀電子 | 多片水平放置晶圓盒、多片立式放置晶圓盒、單片包裝盒、晶舟 |
近年來，半導(dǎo)體市場(chǎng)蓬勃發(fā)展，尤其是國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展迅速，國內(nèi)晶圓廠如中芯國際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹、士蘭微、合肥長(zhǎng)鑫等紛紛擴(kuò)產(chǎn)或新建，中國迎來晶圓建廠高峰期，晶圓載具市場(chǎng)需求必將隨之攀升。面對(duì)如此機(jī)遇，國內(nèi)晶圓載具企業(yè)如何能打破市場(chǎng)格局，實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，歡迎大家加入交流群，一起探討交流。
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下面我們就來了解一下這些晶圓載具企業(yè)，以下序號(hào)不代表排名。
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1、Entegris?
Entegris成立于1966年，總部位于美國馬薩諸塞州，是為半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)提供先進(jìn)材料和工藝解決方案的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)。Entegris為整個(gè)半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈生態(tài)系統(tǒng)，提供最廣泛解決方案組合，包括前開式晶圓傳送盒FOUP、前開式晶圓運(yùn)輸盒FOSB、晶圓盒、晶舟、把手等晶圓載具及配件，光罩盒，氣體過濾器，化學(xué)品輸送泵閥、管道、接頭、存儲(chǔ)容器，CMP拋光墊/拋光液等。官網(wǎng)：https://www.entegris.com/2、Gel-Pak
美國 Gel-Pak 公司成立于1980年，致力于創(chuàng)新包裝產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品有芯片包裝膠盒、凝膠托盤、凝膠玻片、晶圓包裝盒，真空釋放盒等。該公司專有的彈性體技術(shù)是其 Gel-Box、Gel-Tray、Film 和專利的真空釋放 (Vacuum Release) 產(chǎn)品的基礎(chǔ)。官網(wǎng)：https://www.gelpak.com/3、信越聚合物 Shinetsu Polymer
信越聚合物成立于1960年9月15日，是信越化學(xué)旗下子公司，提供半導(dǎo)體制程相關(guān)商品，如晶圓載具、載帶、膠帶、晶圓框架等，居于業(yè)內(nèi)領(lǐng)先地位。晶圓載具產(chǎn)品有FOUP、FOSB和晶圓運(yùn)輸盒。官網(wǎng)：https://www.shinpoly.co.jp/4、大日商事株式會(huì)社 DAINICHI SHOJI K.K.
大日商事株式會(huì)社成立于1959年12月2日，生產(chǎn)用于半導(dǎo)體工藝的塑料制品，包括前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓儲(chǔ)存盒、晶舟盒、晶舟把、光罩盒、晶片托盤用夾子、ID 標(biāo)簽/按扣等。官網(wǎng)：https://www.dainichi-shoji.co.jp/5、Miraial
Miraial成立于1968年7月，基于其多年開發(fā)的高功能塑料精密成型和加工技術(shù)，主要為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)產(chǎn)品，包括用于晶圓加工、運(yùn)輸?shù)妮d具及配件：前開式晶圓運(yùn)輸盒FOSB、前開式晶圓傳送盒FOUP、單晶圓盒、晶舟、晶舟把等。此外，還有半導(dǎo)體化學(xué)流體系統(tǒng)用管路接頭等產(chǎn)品。官網(wǎng)：https://www.miraial.co.jp6、Fuji Bakelite
Fuji Bakelite成立于1945 年，其半導(dǎo)體容器品牌為Paragon，半導(dǎo)體晶圓載具由高純度材料制成，以減少因脫氣或含金屬造成的晶圓污染。
?官網(wǎng)：https://www.fujibake.com/7、阿基里斯株式會(huì)社
阿基里斯株式會(huì)社成立于1947年5月，開發(fā)和提供在半導(dǎo)體、硬盤、液晶等所有電子零部件生產(chǎn)過程中不可缺少的靜電對(duì)策產(chǎn)品、包裝資材以及運(yùn)用獨(dú)家導(dǎo)電加工技術(shù)的各種導(dǎo)電性塑料產(chǎn)品。2008年，為向半導(dǎo)體市場(chǎng)擴(kuò)大生產(chǎn)，在臺(tái)灣設(shè)立阿基里斯先進(jìn)科技股份有限公司。半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品有：晶圓運(yùn)輸盒、晶圓運(yùn)輸盒內(nèi)緩沖海綿墊、晶圓運(yùn)輸盒內(nèi)晶圓隔離紙等。官網(wǎng)：https://www.achilles-at.com.tw/8、３S KOREA
3S KOREA 成立于1989年9月，半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品由安城工廠生產(chǎn)，包括前開式晶圓運(yùn)輸盒FOSB、前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓包裝盒、晶圓運(yùn)輸盒等。- 2007年開始涉足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)；
- 2008年安城工廠第一條FOSB生產(chǎn)線竣工；
- 2009年為韓國國內(nèi)晶圓廠供應(yīng)FOSB；
- 2011年安城工廠第二條FOSB生產(chǎn)線運(yùn)行；
- 2012~2013年，安城建成第二家FOSB工廠。?
官網(wǎng)：http://www.3sref.com/9、SEYANG
SEYANG成立于2000年1月，半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品有晶圓傳送盒、晶圓運(yùn)輸盒、晶圓平坦區(qū)對(duì)準(zhǔn)器、晶圓傳送設(shè)備、光罩盒以及相關(guān)設(shè)備等。官網(wǎng)：http://www.seyangin.co.kr/10、SANG-A FRONTEC
SANG-A FRONTEC 是以超高科技工程塑料為基礎(chǔ)，并有著相關(guān)產(chǎn)品生產(chǎn)需要的多樣的獨(dú)創(chuàng)加工技術(shù)。半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品有：晶圓傳送盒、前開式晶圓傳送盒FOUP、晶圓載具、晶圓儲(chǔ)存盒、流動(dòng)體/氣體的移送管、脫模膜等。官網(wǎng)：http://www.sftc.co.kr/11、家登精密工業(yè)股份有限公司
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家登精密成立于1998年，是一家全球關(guān)鍵性材料創(chuàng)新技術(shù)的整合服務(wù)商，自主研發(fā)的全方位晶圓載具以及光罩載具已然成為新進(jìn)制程不可或缺的重要產(chǎn)品。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)7納米以下之先進(jìn)制程高階光罩傳載解決方案-EUV Pod市占率全球第一。晶圓傳載產(chǎn)品有晶圓傳送車、前開式晶圓盒（FOUP/FOSB）、晶圓傳送盒、晶圓盒、晶舟等。家登開發(fā)前開式晶圓傳送盒(FOUP)多年，原供應(yīng)后段封測(cè)廠和海外晶圓代工廠為主，明年將打入臺(tái)灣晶圓代工大廠。官網(wǎng)：https://www.gudeng.com/12、億尚科技股份有限公司
億尚科技股份有限公司成立于2002年，是半導(dǎo)體晶圓盒專業(yè)制造服務(wù)的公司，研發(fā)及生產(chǎn)各式半導(dǎo)體設(shè)備及產(chǎn)品。主要產(chǎn)品將涵蓋晶圓傳送盒、前開式晶圓傳送盒 FOUP、前開式晶圓運(yùn)輸盒 FOSB、光罩盒 、晶圓載入機(jī) 、晶圓盒氮?dú)獬涮顧C(jī)等，邁向系統(tǒng)潔凈容器的產(chǎn)品領(lǐng)域，并做晶圓傳送盒清洗代工。官網(wǎng)：https://www.esunsys.com.tw/13、中勤實(shí)業(yè)股份有限公司
中勤實(shí)業(yè)股份有限公司成立于1988年，中勤開發(fā)在無塵室制程環(huán)境中搭配自動(dòng)化機(jī)臺(tái)的承載保護(hù)運(yùn)輸高分子材料裝置，包括各貴重金屬材、晶圓、光罩、面板保護(hù)承載及傳輸使用等。? ? ? ? ? ? ? ?產(chǎn)品有FOUP、FOSB、晶圓盒、晶舟、晶圓框架、光罩盒、IC托盤、檢測(cè)治具等。官網(wǎng)：http://www.ckplas.com/14、能宏工業(yè)股份有限公司
能宏工業(yè)股份有限公司成立于1997年，為塑料射出成型專業(yè)制造廠，除一般射出成型件外，近年來專注于醫(yī)療用器具及IC半導(dǎo)體晶圓用外圍包裝材制造。產(chǎn)品包括晶粒盤、晶圓環(huán)、晶舟盒、晶圓盒等。官網(wǎng)：https://hocom.tw/15、同泰科技有限公司
同泰科技為精密半導(dǎo)體晶圓／芯片制程加工的包裝材料及零件供應(yīng)商，產(chǎn)品包括晶圓包裝材料、晶圓包裝盒、晶圓圓盒、晶舟盒、晶圓堆棧盒、抗靜電間隔泡綿等。官網(wǎng)：https://www.tontech.com.tw/16、安天德百電股份有限公司
安天德百電股份有限公司成立于1970年,，是臺(tái)灣一家擁有超過50年經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)晶圓儲(chǔ)存盒生產(chǎn)制造服務(wù)商，半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品包括晶圓儲(chǔ)存盒、載帶、托盤等。官網(wǎng)：https://www.itweba.com/17、鎣陞實(shí)業(yè)股份有限公司
鎣陞實(shí)業(yè)股份有限公司創(chuàng)立于1986年，多年來持續(xù)致力于防靜電包裝緩沖材料的制造與研發(fā)，產(chǎn)品有抗靜電的晶圓盒。官網(wǎng)：https://www.romg.com.tw/18、申玥科技股份有限公司
申玥科技股份有限公司成立于2006年，是臺(tái)灣一家擁有超過13年經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)鐵氟龍晶舟(PTFE Wafer Boat)服務(wù)供應(yīng)商。官網(wǎng)：https://www.sy-tech.com.tw/19、嵩慶欣業(yè)有限公司
嵩慶欣業(yè)有限公司成立于1997年，致力于鐵氟龍抽管、CNC自動(dòng)化加工、噴涂、內(nèi)襯、焊接等產(chǎn)品制造。專業(yè)定做鐵氟龍PFA顯影花籃、蝕刻花籃以及提手等，用于半導(dǎo)體中的刻蝕，蝕刻，顯影，耐酸耐堿制程中。官網(wǎng)：https://www.liakoptfe.com.tw/20、ePAK
ePAK 成立于1999 年, 制造和設(shè)計(jì)總部位于中國深圳，是一家專注于為半導(dǎo)體自動(dòng)化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運(yùn)輸產(chǎn)品的制造商。產(chǎn)品覆蓋晶片的前端處理、后端IC的封裝/測(cè)試、終端系統(tǒng)部件的組裝處理。2021年11月，智路資本宣布收購ePAK。
產(chǎn)品包括晶圓運(yùn)輸盒、晶圓框架、晶舟、單片晶圓盒、IC托盤、載帶、緩沖墊等。官網(wǎng)：https://www.epak.com/21、興宇宏半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
興宇宏半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司成立于2017年，是一家專注于為半導(dǎo)體自動(dòng)化制造工藝提供全方位/高精度的承載/運(yùn)輸產(chǎn)品的制造商。產(chǎn)品包括前開式晶圓傳送盒FOUP、多片水平放置晶圓盒、晶舟傳送盒、八角盒、晶圓出貨盒、晶舟、光罩盒、真空吸筆、晶圓夾具等。22、榮耀電子材料有限責(zé)任公司
榮耀電子材料有限責(zé)任公司成立于2018年，是 Metaline工業(yè)有限公司旗下的高新技術(shù)企業(yè)，為半導(dǎo)體設(shè)備在超潔凈的制造和運(yùn)輸過程中提供全方位包裝產(chǎn)品設(shè)計(jì)和制造服務(wù)。產(chǎn)品有光罩盒、多片水平放置晶圓盒、多片立式放置晶圓盒、單片包裝盒、晶舟、晶圓框架以及泡沫襯墊等。官網(wǎng)：http://www.semiglory.com/23、深圳市邁捷微科技有限公司
深圳市邁捷微科技有限公司成立于2002年4月2日，是集半導(dǎo)體包裝材料的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售一體的深圳高新技術(shù)企業(yè)，是半導(dǎo)體產(chǎn)品包裝方案系統(tǒng)解決的服務(wù)商。產(chǎn)品包括晶舟盒、晶圓儲(chǔ)運(yùn)盒、晶圓包裝盒、清洗花籃、單片盒等。官網(wǎng)：http://www.majorway.com.cn/24、深圳海納新材應(yīng)用技術(shù)有限公司
深圳海納新材應(yīng)用技術(shù)有限公司(Hiner-pack)成立于2013年，是一家集設(shè)計(jì)、制造、銷售半導(dǎo)體IC封裝測(cè)試及半導(dǎo)體晶圓制造工藝當(dāng)中自動(dòng)傳送、承載、運(yùn)輸產(chǎn)品的全方位供應(yīng)商。晶圓載具產(chǎn)品包括立式放置晶圓盒、水平放置晶圓盒、八角盒、罐式晶圓包裝盒、單片晶圓包裝盒、晶舟等。官網(wǎng)：https://www.hiner-pack.com/25、深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
深圳市科晶智達(dá)科技有限公司成立于2001年，為半導(dǎo)體、精密光學(xué)器件提供潔凈存儲(chǔ)和安全轉(zhuǎn)移所使用的包裝制品，產(chǎn)品包括各種塑料膠盒、膜盒、晶圓盒、海綿盒、清洗花籃等。官網(wǎng)：https://www.szkejing.com/26、深圳市東虹鑫靜電器材有限公司
深圳市東虹鑫靜電器材有限公司專業(yè)從事半導(dǎo)體承載用具系列，防靜電周轉(zhuǎn)車存儲(chǔ)系列產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)為一體的實(shí)力生產(chǎn)廠家，主要產(chǎn)品有晶圓框架盒、晶圓貼片環(huán)、半導(dǎo)體料盒、鋁料管、芯片檢測(cè)設(shè)備、擴(kuò)晶環(huán)、非標(biāo)夾具等。官網(wǎng)：http://www.dohone.com/27、北京市塑料研究所有限公司
北京市塑料研究所始建于1964年，現(xiàn)所屬于北京市隆達(dá)輕工控股有限責(zé)任公司。主要是從事塑料加工成型技術(shù)及其應(yīng)用開發(fā)方面的研究，生產(chǎn)含氟塑料、通用塑料及工程塑料注塑和擠出制品。產(chǎn)品包括晶片花籃、硅片包裝盒及其配件等。官網(wǎng)：http://www.slyjs.com.cn/28、成都昊瀚科技有限公司
成都昊瀚科技有限公司專注于半導(dǎo)體電子產(chǎn)品抗靜電包裝包材生產(chǎn)服務(wù)。產(chǎn)品包括晶圓包裝盒及各類承載架等。官網(wǎng)：http://immensitytech.com/29、南京瑞尼克科技開發(fā)有限公司
南京瑞尼克科技開發(fā)有限公司是一家集生產(chǎn)，研發(fā)，銷售為一體的現(xiàn)代化企業(yè)，研發(fā)生產(chǎn)PFA、FEP、PTFE系列產(chǎn)品，包括鏡片清洗花籃等。官網(wǎng)：http://www.njrnkyq.com/
南京濱正紅儀器有限公司是專門生產(chǎn)、研發(fā)、銷售高科技痕量分析實(shí)驗(yàn)器皿的廠家，主營產(chǎn)品有FEP、PFA、PTFE特氟隆系列產(chǎn)品，消解罐，微波消解罐，反應(yīng)釜等，半導(dǎo)體產(chǎn)品有聚四氟乙烯清洗花籃等。官網(wǎng)：http://www.njbzh.cn/31、無錫市瑞氟高分子材料有限公司
無錫市瑞氟高分子材料有限公司成立于2014年，是一家致力于氟塑料原材料銷售及其制品的生產(chǎn)和研發(fā)的企業(yè)。瑞氟可以生產(chǎn) PTFE、TFM、PFA 等大型組件，包括晶片花籃等。官網(wǎng)：http://www.rayflon.com/32、福建省三州光電科技有限公司
福建省三州光電科技有限公司成立于2017年，是一家集半導(dǎo)體包裝材料研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的科技企業(yè)，是半導(dǎo)體產(chǎn)品包裝方案系統(tǒng)解決的專業(yè)服務(wù)商，投建三州晶舟盒項(xiàng)目生產(chǎn)晶圓芯片轉(zhuǎn)運(yùn)包裝盒。原文始發(fā)于微信公眾號(hào)（艾邦高分子）：30家晶圓載具企業(yè)盤點(diǎn)
